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光学测量 > 干涉测量 tV,zz;* Oe 8)tyn'~i 任务/系统说明 mzw*6e2T
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Sh*P^i.]+ 亮点 x!jhWX
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avz 4 & •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ie ,{C •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； ;'Q{ ywr
d{m0 uX56 具体要求：光源 =@z"k'Vl` }* t~& l0  *o#`l H aF=VJ+5 具体要求：用于准直的消色差透镜 fI|1@e1 6GN'rVr!Z KJ~pY<a?  F )IP~BE-k 9e5UTJ `otQ'e~+t  f1{ckHAY55 # 9t/j`{ 具体要求：分束器 3IkG*enI LQjqwsuN{  )/JC.d#
;1 fM L,8 具体要求：参考光路反射镜 )'g vaT %'HUC>ChN  3:( `#YY
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24Fxx9 g 具体要求：测试光路反射镜 m+=!Z|K . <B1i  Xy{+=UY
cPbz7 具体要求：探测器 +\%zy= y)}aySQK^  9PAp*`J@kr ;k8}D*?8 结果：3D光线追迹 OOCeZ3yF( !iw
'tHhR  3^Zi/r z#4g,)ZX 结果：场追迹 "Tv7*3> + *V;
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?>A ff`dHY 结果：移动样品的场追迹结果 Sx2j~(pOr 0 *\=Q$Yy  |@BN+o;`Om 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 q~n2VU4L*
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