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光学测量 > 干涉测量 dUI3erO 2TE\4j 任务/系统说明 bh{E& 1sLh
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t-'I`I 亮点 Tnf&pu#5
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c]GQU •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； >/( i3) •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； &,^mM'
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CR%D\I$o 具体要求：光源 mYntU^4f yb[{aL^4%  976E3u"Vt
s.|!Ti!] 具体要求：用于准直的消色差透镜 C /SapX &B?@@ 6 kTr6{9L  @~ JB \j9 7bctx_W&6 or?0PEx\  >`<Ued X(4s;i 具体要求：分束器 J@oEV=L 7xX;MB &  ^wvH,>Yo
:&xz5c`"04 具体要求：参考光路反射镜 AQE
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$KoPGgC[ 具体要求：测试光路反射镜 aQz|!8Is i58ZV`Rk`  t#fs:A7P?}
D+bB G 具体要求：探测器 mle_*Gy8 It#h p,@e  @N,:x\
f$:7A0 结果：3D光线追迹 |pfhrwJp z7O Z4R:  A8 =e?% .OVW4svX 结果：场追迹 AZh@t?) =gxgS< bde
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i_j9/k 结果：移动样品的场追迹结果 F Q8RK~?` 7Vz[ji  i /O1vU# 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 b@nri5noBm
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