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光学测量 > 干涉测量 }R5EuR m\
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xN 任务/系统说明 O;McPw<&\: ,`!lZ|
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<1m` -MsL>F.] 亮点 F$|:'#KN Qb%;
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qwnVtD h6<i,1gQ1 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; ZGI<L •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; 2J$vX( +Zr~mwM=x 具体要求:光源 w9RBT(u uTPAf^| =3SJl1w1 ips)-1 具体要求:用于准直的消色差透镜 CyHHV ZG#:3d*) 9n_RkW5g 3fXrwmBT8 k $8Zg*) kq?:<!z i^Jw`eAmT aK| 具体要求:分束器 qp#Euq6 hu"-dT;4] KSEKoHJo f?GoBh< 具体要求:参考光路反射镜 Ex*{iJ;\ F s=x+8'M 6@FhDj2X }aXS MxCd
qxHn+O!h kRb JK 具体要求:测试光路反射镜 QfPw50N; pr4y*!|Y$ 4^nHq 4_ Iw(
wT_ 具体要求:探测器
(V'w5&f(L .'38^ yI07E "9 )8}k.t>'s 结果:3D光线追迹 &?5)Jis: ya^8mp- H_x}- f O+lD 结果:场追迹 '/0e!x/8 Z(R0IW
h<$%y(lP xt"-Jmox 结果:移动样品的场追迹结果 =ONM#DxH S# baOO 5T( cy 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 ~Jsu"kr
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