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光学测量 > 干涉测量 6d:zb;Iz f}6s
Q5 任务/系统说明 rr/B= O7
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!H#bJTXB 亮点 i|c'Lbre`
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\1d ( 9j R •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； "_P ;2N6 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； ,y1PbA0m
1f%1*L0>@ 具体要求：光源 [2>yYr s_= zy?.u.4L  "33Fv9C#bK eP.wOl 具体要求：用于准直的消色差透镜 hZdoc< EJj.1/]|r Uq[>_"}  ,k.3|aZE czA5n >~#yu&*D  ^/)^7\@ D!@Ciw 具体要求：分束器 5c9 ^-|-T y?rPlA_  Jlri*q"hE
*RDn0d[ 具体要求：参考光路反射镜 -O1>|y2rU ng[Ar`  [O$Wa:< 0x
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!6n_}I-W 具体要求：测试光路反射镜 R"4Vtww 8H;t_B  oNr-Q& C,
Ua<5U5 具体要求：探测器 3("_Z% d<% z
1Dj2  @u.58H& }R b v G/|U 结果：3D光线追迹 cq5jP Z} 8N !b>??  = w;F<M|Y k;2GEa]w 结果：场追迹 vmi+_] &?W0mW(
 l u n#^ J
;t'5} ,(FP 结果：移动样品的场追迹结果 .nB0 h <
nXL  ! \"EFVH 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 # G .ulX
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