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光学测量 > 干涉测量 v*e=oyx[ <.6$zcW 任务/系统说明 ( (_v>{
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*W<g%j-a 亮点 u:4?$%r B
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 SbpO<8}8
C[(Exe •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； v~HfA)#JK •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； [k6 5i
,t>/_pI += 具体要求：光源 FY]z *= nbz?D_  ~4~>; e L~( `zO3f 具体要求：用于准直的消色差透镜 T\Q) "GB Eq/%k $6#1 3& JsYQu  l4Y}<j\; :j,e0#+sA b$ )XS  ^?tF'l` +hS}msu' 具体要求：分束器 L pdp'9>I "%Eyb\V!  wXsA-H/`
i'9 具体要求：参考光路反射镜 PDssEb7 a|@^ N  N5[fw z
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nPUq+cXy]C
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Ey u?T 具体要求：测试光路反射镜 yeNC-U< }3! .e  b9([)8
x3my8'h@ 具体要求：探测器 =lG5Kc{B U vOB`Vj  BY$%gIB6> [ 0} ^w[ 结果：3D光线追迹
B9^@] N LC}XL  ?H3xE=<X %zB
`Sd< 结果：场追迹 #s Ebu^ t
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E}mzi 结果：移动样品的场追迹结果 mOyBSOad4 u U>Bun
 Qp${ / 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 '
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