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光学测量>显微 NuRxk eEO rwWs\~.H 任务/系统描述 ODyK/Q3 O(2)A>} D1}Bn2BM$ (j@3=-%6 G 亮点 z@R:~ 5
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?8Hi 56Z 1jN^U 2MS1<VKZ@ 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 Uo>pV9xRG 对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 j"{|* _6E_ 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 'H+H4( /GCI`hx>" 说明:光源 2R66 WKQ o?BcpWp ~>2@55wElp JKN0:/t7Q 说明:透镜系统 H`odQkZ! u/-ul l*V]54|ON3 `irz'/"p 说明:样品结构 a NhI<.v -'ePx f Y3KKskhLx q$6fb)2I]e 说明:探测器 i P gewjx do@`(f3g )!M %clm. o?%1^6&HE 结果:3D光线追迹 AJ1(q:P f"My;K $l; : $4
atm 53=5xE= `D 结果:场追迹矩形光栅 /D2
cY> wq+% O, mhU ?N *Y'nDv6_P 结果:场追迹锯齿形光栅 W?is8r: =pSuyM'
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