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光学测量＞显微 )SWLX\b @A8@j%CK1 任务/系统描述 #HmZe98[% %1kI aYZ
 !,cfA';S cFlo aCz 亮点 %bgUU|CdA
(Ujry =f
 ' )KuLVE}S l
!:kwF 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 )cB O_
对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 +E
}q0GV 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 1R7w
D Ax 1 说明：光源 D[p`1$E-1v J*+[?FXRL  ^_G@a, =nE^zY 2m% 说明：透镜系统 XW q@47FR 4~z-&>%  rE9Nt9 }
*w[ 0uQL5Z 说明：样品结构 o'|B|oZ x5eSPF1  v] hu5t )H[Pz.'ah0 说明：探测器 o&#!W( L=V.@?  Jqz K5)
t-)d*|2n}o 结果：3D光线追迹 zAH6SaI$ -qdt$jI M
 cng166}1A b>L?0p$ej 结果：场追迹矩形光栅 p|Nh:4iN A/ 88WC$v  tYCVVs`?
CRPE:7,D 结果：场追迹锯齿形光栅 YZ^mH <  |Ju d*z
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