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光学测量>显微 %&V%=-O_7 hv\Dz*XTs0 任务/系统描述 K1]3zLnS B##X94aTT
'!,(G3 wArfnB& 亮点 qE]e+S?57a V@O)7ND
\/V#,O K(d+t\ca 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 v+SdjFAY 对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 F*>#Xr~/ 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 v7`{6Pf_$ K,%CE
]. 说明:光源 kOq8zYU| 8?YeaMIBB BfVh\lkH :g^
mg-8 说明:透镜系统 "dvo@n| +"=ydF.9 HiH<'m"\. j:/Z_v' 说明:样品结构 {>~9?Xwh |d*a~T0 J.M&Vj: DrC"M*$! 说明:探测器 t4/ye>P & &/"a
E )c'E9ZuZ>d [ ;sTl~gC 结果:3D光线追迹 e
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$;1a 结果:场追迹矩形光栅 RwOOe7mv \x]\W#C 5$N#=i`V V %D1Q}X 结果:场追迹锯齿形光栅 n\JI7A} kw]?/s`
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