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成像系统>包括光栅 S+ebO/$> B< hEx@
任务/系统说明 j Nc<~{/ ,I`_F, e$wt&^W yM ,VrUh 亮点 ? )_7U 0d4cE10
w$>3pQ8d {/ &B!zvl 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) |$e:* 严格分析光栅衍射效率 0S.?E.-&0 考虑入射光的方向分布 WZ?!!
H]Wp%"L 说明:光源 #ElejQ|? 5pJ*1pfeo R1'`F{56 1;Xgc@ 说明:光束分束器 $]*d#`Sy{% A5XR3$5P ({M?Q>s [5Y<7DS 说明:检测透镜系统 D{C:d\ e)$ JJ5C}`( (q~0XE/ a TpP8=8_Lh 说明:微型晶片 io4aYB\ 0=;YnsY kG^dqqn6 xvDI 4x& 说明:检测物镜 A]?^ H< 2OalAY6RS :3?|VE F p4wr`"Zz 说明:探测器 Bq!cY Wj M<[?g5=# U)[ty@zyF )(bxpW 结果:3D光线追迹(只有0级) ~>%DKJe <v$QM;Ff Wsm`YLYkt! 5f{|"LG& 结果:3D光线追迹(所有级) G$5m$\K %S#WPD'Y 9#rt:&xo0 FFe)e>bH 结果:光线追迹 <4mQ*6 qI2'u %
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