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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 l*eA ?Qz  
    %F7aFvl*  
    任务/系统说明 fkYQ3d,`  
    %guot~S|  
    @.0,k a,X  
    l20q(lb  
    亮点 oeIS&O.K  
    H\S,^)drJ?  
    `>*P(yIN  
    <[q)2 5RL  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) B5cTzY.h-  
     严格分析光栅衍射效率 #Ky0` n  
     考虑入射光的方向分布 (X8N?tJ  
    Eg9502Bl~8  
    说明:光源 _k}b  
    r'8e"pTi  
    suVS!} C  
    RPrk]<<1  
    说明:光束分束器 `XD$1>  
    2|cIu 'U  
    ~$cw]R58,9  
    q"Xls(  
    说明:检测透镜系统 acH.L _B:  
    [7B&<zY/?  
     A=,m  
    ^O ?$} sr  
    说明:微型晶片 V6!oe^a7'  
    !xlVyt5e  
    j04Q3d \f  
    C /E3NL8  
    说明:检测物镜  [W;14BD7  
    LP87X-qkjW  
    y0Tb/&xN  
    *f[`Yv  
    说明:探测器 f="}.  
    |k)u..k{>  
    ! 87ebo  
    N5s_o0K4TU  
    结果:3D光线追迹(只有0级) * T-XslI  
    |XsW)/  
    ]/a?:24[  
    R38 w!6{  
    结果:3D光线追迹(所有级) 0+L5k!1D  
    HiWZ?G  
    2q#$?qs_b  
    J@$>d  
    结果:光线追迹 Ywni2-)<  
    cB<Zez  
    c>^_4QQ  
    snK/,lm.  
    结果:场追迹 \&cVcA g  
    3B_S>0H"$  
    7(oxmv}#Q  
    %=| I;kI?  
    结果:线性偏振光的场追迹 !ine|NM  
    AXJC&O}`  
    ^c2 8Q.<w(  
     
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