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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 L:nZ_O;  
    5,cq-`  
    任务/系统说明 es 8%JTi  
    % 3d59O  
    u|&"l  
    f]W$4f {  
    亮点 -f@~{rK.L  
    Jte:U*2  
     ZX[ @P?A+-  
    `qnSq(tNq  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） XZde}zUWn  
     严格分析光栅衍射效率 Yj)H!Cp.xD  
     考虑入射光的方向分布 =Y Je\745  
    \CNv,HUm3  
    说明：光源 ))- B`vi  
    B*!{LjXV  
    EVZuwbO)|  
    %MGbIMpY  
    说明：光束分束器 d#xi_L!  
    P>n}\"z4  
    aqJ>l}{  
    Mhp6,JL  
    说明：检测透镜系统 d+[GMIxg  
    gg $/  
    +NWhvs  
    vncLB&@7  
    说明：微型晶片 Q{-T;T  
    O(q1R#n-}+  
    Hj\>&vMf  
    WX<),u2@  
    说明：检测物镜 :'p+Ql~c  
    F7[ 55RcP  
    'b(V8x  
    Iow45R~]  
    说明：探测器 1~rZka[s  
    (jhDO7  
    0 ~K4vSa  
    7HfA{.|m  
    结果：3D光线追迹（只有0级） PCKgdh},  
     {}x{OP  
    s.ywp{EF  
    +9Vp<(  
    结果：3D光线追迹（所有级） vk;]9o j*  
    <E/"v  
    P(h[QAM  
    c*R?eLt/  
    结果：光线追迹 vu7F>{D  
    sX_6qKUH  
     5}-e9U  
    U4PnQ K,  
    结果：场追迹 o m9zb&{tu  
    hHXTSk2  
     Z'/sZ3Q}  
    +7%}SV 2)  
    结果：线性偏振光的场追迹 #>)OLKP  
    |Iq#Q3w  
    FQ6jM~  
     
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