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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 S+ebO/$>  
    B< hEx@  
    任务/系统说明 jNc<~{/  
    ,I`_F,  
    e$wt&^W  
    yM ,VrUh  
    亮点 ? )_7U  
    0 d4cE10  
    w$>3pQ8d  
    {/ &B!zvl  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) |$e:*  
     严格分析光栅衍射效率 0S.?E.-&0  
     考虑入射光的方向分布 WZ?!!   
    H]Wp%"L  
    说明:光源 #ElejQ|?  
    5pJ*1pfeo  
    R 1'`F{56  
    1;Xgc@  
    说明:光束分束器 $]*d#`Sy{%  
    A5XR3$5P  
    ({M?Q>s  
    [5Y<7DS  
    说明:检测透镜系统 D{C:d\ e)$  
    JJ5C}`(  
    (q~0XE/ a  
    TpP8=8_Lh  
    说明:微型晶片 io4aYB\  
    0=;YnsY  
    kG^dqqn6  
    xvDI 4x&  
    说明:检测物镜 A]?^ H<  
    2OalAY6RS  
    :3? |VE F  
    p4wr`" Zz  
    说明:探测器 Bq!cY Wj  
    M<[ ?g5=#  
    U)[ty@zyF  
    )( bxpW  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ~>%DKJe  
    <v$QM;Ff  
    Wsm`YLYkt!  
    5f{|"LG&  
    结果:3D光线追迹(所有级) G$5m$\K  
    %S#WPD'Y  
    9#rt:&xo0  
    FFe) e>bH  
    结果:光线追迹 <4mQ*6  
    qI2'u%  
    {$fsS&aPg  
    n}J^6:1  
    结果:场追迹 s#^pC*,'  
    7& 6Y  
    HXks_ix )  
    Pp_V5,i\  
    结果:线性偏振光的场追迹 @ yxt($G  
    Y\?j0X;  
    ax@H"d&  
     
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