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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 @gM}&G08  
    ~&+a.@T  
    任务/系统说明 [/l&:)5W>  
    oq|`;k   
    z+CX$.Z  
    d>Nh<PqH6  
    亮点 c6y>]8_  
    `O;4 b#!g  
     5g$>J)Ry  
    IS;[oJef  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Ttp%U8-LJR  
     严格分析光栅衍射效率 YD{N)v  
     考虑入射光的方向分布 8U4In[4  
    2iO{*cB  
    说明：光源  Vo%Z|  
    _+~&t9A!  
    "<%J^Z9G  
    0;`+e22  
    说明：光束分束器 qZv@ULluc  
    {vZAOz7#  
    9\=SG"e(  
    3preBs#i  
    说明：检测透镜系统 k `5K&  
    Y]uVA`%"b  
    S1m5z,G  
    f/4DFs{  
    说明：微型晶片 whrDw1>(  
    Kc#1H|'2N  
    o)DO[  
    ?5,I`9  
    说明：检测物镜 tDfHO1pS  
    )UVekkq>Q  
    |YfJ#Agm+  
    /W LZyT2  
    说明：探测器 OPogH=vf  
    {K?e6-N(z  
    ?8U]UM6Tu4  
    bw+IH-b  
    结果：3D光线追迹（只有0级） z^WY5~?  
    Kxz|0l  
    D0TFC3.k}  
    u]ps-R_$G  
    结果：3D光线追迹（所有级） 5@I/+D  
    !(Q@1 c&z  
    sBqOcy  
    peOoZdJd  
    结果：光线追迹 P97i<pB Y_  
    -dfs8[i  
     #CB Kt,  
    =En1?3?  
    结果：场追迹 R\/tKZJjb  
    ~C3Ada@4  
     yx;K&>  
    $d,{I8d  
    结果：线性偏振光的场追迹 uss!E!_%,  
    CJs ~!ww  
    ^),t=!;p  
     
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