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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 }*t~&l0  
    51,m^veO  
    任务/系统说明 aF=VJ+5  
    2uHp%fv;  
    **"P A8   
    L!G3u/  
    亮点 "<(~  
    +W1rm$Q  
     ,rdM{ r  
    IviWS84  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ;$i'A&)OC  
     严格分析光栅衍射效率 IW#(ICeb  
     考虑入射光的方向分布 x'qgpG}?]  
    ^n]s}t}csV  
    说明：光源 <gy'@w?  
    |H4'*NP"  
    ZZ(@:F  
    1:t>}[Y  
    说明：光束分束器 b+hY^$//  
    bsm,lx]bH^  
    &)l:m.  
    rU O{-R  
    说明：检测透镜系统 7`}z7nk  
    +\%zy=  
     V("1\  
    +9X[gef8  
    说明：微型晶片 ;k8}D*?8  
    OOCeZ3yF(  
    !iw 'tHhR  
    3^Zi/r  
    说明：检测物镜 z#4g,)ZX  
    "Tv7*3>  
    +*V; f,  
    ob{pQx7  
    说明：探测器 ?>Aff`dHY  
    Sx2j~(pOr  
    0 *\=Q$Yy  
    c0 |p34  
    结果：3D光线追迹（只有0级） q~n2VU4L*  
    "ivqh{ ,  
    sfa'\6=O  
    4lA+V,#  
    结果：3D光线追迹（所有级） 4B`Rz1QBy  
    "}! rM6 h  
    Z3dd9m#.]  
    ^|C|=q~:  
    结果：光线追迹 lND[anB!  
    }U9jsm  
     Qx;A; n!lw  
    u*{ _WL[(  
    结果：场追迹 arZIe+KW  
    !U_L7  
     %5%Wo(W'  
    #A; Z4jK  
    结果：线性偏振光的场追迹 YW<2:1A|  
    __j8jEV  
    UD{/L"GG  
     
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