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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 h|`R[  
    so/0f1R?~  
    任务/系统说明 B4*y-Q.*  
    fE&s 6w&  
    ^q0`eS  
    +xsGa{`  
    亮点 6BEpnw>p(  
    jt: *Y  
     jvD_{r  
    =1(7T.t  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） v}D0t]  
     严格分析光栅衍射效率 9ZatlI,  
     考虑入射光的方向分布 V[]Pya|s+  
    1LhZmv  
    说明：光源 .3VL  
    *PB/I4>{  
    }bdoJ5  
    LpSF*xm  
    说明：光束分束器 iQT0%WaHl  
    J7%rPJ  
    SDNRcSbOD6  
     98^7pa  
    说明：检测透镜系统 .a(G=fk  
    dTu*%S1Z  
    MLM/!N 7  
    /0Qo(  
    说明：微型晶片 OI78wG  
    < 3*q) VT  
    Qp)?wny4  
    ZWzr8oY)  
    说明：检测物镜 ^,vFxN--q  
    A #m_w*  
     "^BA5  
    >.9V`m|  
    说明：探测器 S1@r.z2L  
    4g}r+!T  
    <SOG?Lh~  
    IR:{{ (  
    结果：3D光线追迹（只有0级） 2@pEiq3  
    02tN=}Cj)  
    iC^G^~V+H  
    Qt_KUtD  
    结果：3D光线追迹（所有级） jq8TfJ|   
    h8Oj E$ H  
    ZqpK}I  
    |8[!`T*s  
    结果：光线追迹 HINk&)FC  
    V?) V2>]  
     w^ofH-R/  
    f<nK;  
    结果：场追迹 =_g#I  
    t0v >J9  
     [q_62[-X  
    qdKqc,R1{  
    结果：线性偏振光的场追迹 Ie=gI+2  
    x%goyXK  
    \v<S:cTf  
     
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