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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 :8_`T$8i4  
    Zw5\{Z0  
    任务/系统说明 bmAgB}Ior  
    [hg|bpEG  
    2.2Z'$W  
    ndm19M8Y|  
    亮点 fJ Ch  
    wE75HE`gW  
    dv0TJ 0%  
    eh'mSf^=p  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) W RAW%?$  
     严格分析光栅衍射效率 v.1= TBh  
     考虑入射光的方向分布 >:]fN61#  
    x~GV#c  
    说明:光源 \2<2&=h?  
    ~MY (6P  
    mm=Y(G[_%y  
    'KGY;8<x]  
    说明:光束分束器 $/C<^}A  
    2t { Cpw  
    {K'SOh H4?  
    81_3{OrE<  
    说明:检测透镜系统 N,ik&NIWy  
    L\og`L)5\  
    yj$S?B Ee  
    .Qh8I+Q%  
    说明:微型晶片 Hcd>\0  
    7o z(hO~  
    A!k}  
    ke>\.|HT}  
    说明:检测物镜 l1cBY{3QD  
    Wsz='@XvB  
    U>;itHW/  
    !E_uQ?/w]Z  
    说明:探测器 l``1^&K  
    ):78GVp  
    YLd 5  
    N0RFPEQ~  
    结果:3D光线追迹(只有0级) sW2LNE  
    b+p!{  
    z%/ww7H  
    &`L5UX  
    结果:3D光线追迹(所有级) \N#)e1.0P  
    SA>;]6)`(  
    ap%o\&T;  
    )dL?B9d:  
    结果:光线追迹 jX&&@zMq  
    Y0B*.H Ae  
    g&0GO:F`  
    8)POEY4  
    结果:场追迹 paBGJ~{=  
    T %a]3  
    Bh' vr3|  
    ^YIOS]d>8#  
    结果:线性偏振光的场追迹 T4!]^_t^  
    ` `;$Kr  
    Ok`U*j  
     
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