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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 (ZsR=:9(  
    Mc^7FWkw  
    任务/系统说明 /a)=B)NH  
    8 z7,W3b  
    Vtk|WV?>P+  
    izo $0  
    亮点 nP5fh_/  
    3o^M%  
     !qv;F?2 <g  
    nmrk-#._@9  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） (LPD  
     严格分析光栅衍射效率 *&MkkI#  
     考虑入射光的方向分布 RjHpC7b*%  
    o)WSMV(&f  
    说明：光源 ^2@~AD`&h  
    FQl|<l6  
    }Cf[nGh|B  
    x*V<afLY[  
    说明：光束分束器 IBsn>*ja<  
    ^q2zqC  
    _"`h~jB  
    *?Y6qalSy  
    说明：检测透镜系统 2 wvDC@  
    [hbIv   
    X:/t>0e  
    ?yK\L-ad  
    说明：微型晶片 OSk9Eb4ld  
    H:6$) #  
    uD3_'a  
    JnJz{(c  
    说明：检测物镜 ?>&Zm$5V  
    DcHMiiVM  
    ry"zec B  
    H skN(Ho  
    说明：探测器 HbVLL`06*  
    p7er04/}\  
    O?Tg`]EX  
    | &vuK9q  
    结果：3D光线追迹（只有0级） {c; 3$  
    [%kucGC7  
    -}o;Y)  
    +6atbbe}   
    结果：3D光线追迹（所有级） Hc9pWr "N  
    9v0|lS!-  
    gG>>ynn  
    g(k|"g`*  
    结果：光线追迹 /G;yxdb  
    cK&oC$[r-  
     OFv} jT  
    p6'8l~W+  
    结果：场追迹 AAcbY;  
    ri ~2t3gg  
     g_U69 z  
    Lw`\J|%p  
    结果：线性偏振光的场追迹 ~l~g0J  
    |{T2|iJI  
    8vK&d>  
     
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