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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 zzmZ`Ya  
    5m2`$y-nb  
    任务/系统说明 W[B%,Km%]  
    pZ4]K xX@  
    ` @.  
    7)iB6RB K  
    亮点 P%HvL4R  
    4-l G{I_S:  
    MLD-uI10{  
    CZE!rpl  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) LObS 7U  
     严格分析光栅衍射效率 9nW/pv  
     考虑入射光的方向分布 %N}O Mc.W  
    w#V{'{DKp  
    说明:光源 ma4Pmk  
    bpq2TgFj  
    0}'  
    *5KV DOd  
    说明:光束分束器 jY^wqQls  
    oq00)I1  
    7PE3>cD  
    q:Lw!'Z h  
    说明:检测透镜系统 :5kgJu  
    ;uw`6 KJ  
    E+XpgR5  
    9G)Sjn`AQ  
    说明:微型晶片 gcLwQ-  
    Twscc"mK  
    S 6e<2G=O  
    +<cvyg5U  
    说明:检测物镜 I_vPGafMx  
    ~lB im$o  
    3@u<Sa  
    tnx)_f  
    说明:探测器 j1{ @?  
    1<Vc[p&  
    \;"$Z 9W  
    %EC{O@EAk  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 53y,eLf  
    F_8 < tA6  
    ]-  
    $L|YllD%  
    结果:3D光线追迹(所有级) f<!3vAh  
    g? 7%  
    8)(<U/  
    iTb k]$  
    结果:光线追迹 ;Od;q]G7L  
    x,kZ>^]&b  
    Z<j(ZVO  
    fC!]MhA"i  
    结果:场追迹 }lN@J,q  
    ,`<w#  
    j\V9o9D  
    [3Qu @;"&  
    结果:线性偏振光的场追迹 AEjkqG4qv  
    NzRpI5\.  
    JryCL]  
     
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