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成像系统>包括光栅 b:O_PS5h ooa"Th< 任务/系统说明 p+nB@fN/ T{3-H(-gA OWr\$lm@z$ UY *Z`$ 亮点 ;x|?N* bjwl21;{
g("[wqgG c.-dwz 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) hE,-CIRg 严格分析光栅衍射效率 UBnHtsM 考虑入射光的方向分布 |1!OwQax ~}D"8[ABj 说明:光源 A)SnPbI-p +4IaX1. w2!5TKZ` K.? S,qg 说明:光束分束器 9,>c;7s X }*P;kV s<C66z v~dUH0P<>e 说明:检测透镜系统 F&+_z&n |