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成像系统>包括光栅 l*eA
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`>*P(yIN <[q)2 5RL 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) B5cTzY.h- 严格分析光栅衍射效率 #Ky0` n 考虑入射光的方向分布 (X8N?tJ Eg9502Bl~8 说明:光源 _k}b r'8e"pTi suVS!}
C RPrk]<<1 说明:光束分束器 `XD$1> 2|cIu ' U ~$cw]R58,9 q"Xls( 说明:检测透镜系统 acH.L_B: [7B&<zY/?
A=,m ^O?$}sr 说明:微型晶片 V6!oe^a7' !xlVyt5e j04Q3d
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