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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 T8U[xu.>  
    CJp-Y}fGEA  
    任务/系统说明 4Q;<Q"  
    \*uugw,\y  
    hcyn  
    PB+\jj  
    亮点 AP0|z  
    Xtkw Z3  
    yxvjg\!&  
    k {a)gFH O  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) YZ< NP  
     严格分析光栅衍射效率 'j}g  
     考虑入射光的方向分布 G]-%AO{K  
    4`s)ue  
    说明:光源 : W~f;k  
    as(*B-_n~  
    7H%_sw5S.  
    zka?cOmYF[  
    说明:光束分束器 bE d?^h  
    8b7;\C~$p  
    8"i/wMP]  
    F$h'p4$T  
    说明:检测透镜系统 G?<pBMy  
    ")ED)&e  
    E67XPvo1+@  
    Z(HZB  
    说明:微型晶片 &:No}6  
    V9T 4 +  
    Fj^AW v^/  
    gLD{1-v  
    说明:检测物镜 ^X &)'H  
    "y$ qrN-  
    MqdB\OW&  
     , ]7XMU3  
    说明:探测器 vU}: U)S  
    1"O&40l  
    b@ 6:1x  
    Xhse~=qA  
    结果:3D光线追迹(只有0级) >jMH#TZaX  
    2h )8Fq_"  
    BC({ EE~R)  
    >S'>!w  
    结果:3D光线追迹(所有级) 4.Z(:g  
    ~KRnr0  
    #ZlM?Q  
    :tLbFW[  
    结果:光线追迹 X`1p'JD  
    Cw#V`70a  
    2r;GcjezH  
    <tuS,.  
    结果:场追迹 u!Bk,}CE`  
    lR@& Z6lw  
    ~^7r?<aKc  
    Pq?*C;D  
    结果:线性偏振光的场追迹 tpo>1|  
    S?4KC^Y5  
    dIJGB==  
     
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