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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 hB?U5J  
    X%RQB$  
    任务/系统说明 rGQ86L<  
    +#&el//  
    ABd153oW"  
    t sC z+MP  
    亮点 NdaVT5RB  
    lr)G:I#|  
     *Cc$eR]-  
    :YkDn~@  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ?z*W8b]'  
     严格分析光栅衍射效率 (, ;MC/l  
     考虑入射光的方向分布 B3ohHxHu  
    #g5't4zqx  
    说明：光源 wWp?HDl"M  
    nS?S6G5h  
    Z&2 &wD  
    Yj|c+&Ng  
    说明：光束分束器 Br_3qJNVP  
    %D%e:se  
    1\"BvFE*E~  
    AX!Md:s  
    说明：检测透镜系统 h8Dtq5t4  
    Q*TQ*J7".X  
    CNpCe-%&  
    $i5G7b  
    说明：微型晶片 XFLjVrX[  
     mP`,I"u  
    AmUe0CQ:k'  
    .)oQM:F (h  
    说明：检测物镜 |\yDgs%EGy  
    \oD=X}UQw(  
    [U+<uZzOC  
    '6Rs0__  
    说明：探测器 72B zvY.  
    h0ZW,2?l  
     )^QG-IM  
    =}6Z{}(TT  
    结果：3D光线追迹（只有0级） RMs1{64:  
    kC,DW%Ls  
    dqK  
    ]xVL11p  
    结果：3D光线追迹（所有级） <3J=;.\6  
    =qVAvo'  
    8k*k  
    ~h~r]tV*+  
    结果：光线追迹 ]2u7?l  
    0Zp<=\!;  
     f(zuRM^5  
    =r@ie>* U  
    结果：场追迹 'p{Y{ $Q  
    ' ]H#0.  
     d<^6hF  
    rkER`  
    结果：线性偏振光的场追迹 LXOF{FG  
    ZS 7)(j$.  
    rUJSzLy  
     
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