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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 b:O_PS5h  
    ooa"Th<  
    任务/系统说明 p+nB@fN/  
    T{3-H(-gA  
    OWr\$lm@z$  
    UY *Z`$  
    亮点 ;x|? N*  
    bjwl21;{  
    g( "[wqgG  
    c.-dwz  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) hE,-CIRg  
     严格分析光栅衍射效率 UBnHtsM  
     考虑入射光的方向分布 |1!OwQax  
    ~}D"8[ABj  
    说明:光源 A)SnPbI-p  
    +4IaX1.  
    w2!5TKZ`  
    K.?S,qg  
    说明:光束分束器 9,>c;7s X  
    }*P;kV  
    s<C66z  
    v~dUH0P<>e  
    说明:检测透镜系统 F&+_z&n)  
    dqt}:^L*0g  
    |M?VmG/6  
    apxq] ! `  
    说明:微型晶片 5NK yF  
    <&1hJ)O  
    l@<Jp *|  
    ,/p .!+  
    说明:检测物镜 d$MewDW UN  
    M}" KAa  
    Q^lgtb  
    DQN"85AIZ  
    说明:探测器 NU7k2`bqAk  
    J<iiA:&J  
    u69G #  
    Hg(nC*#/Q  
    结果:3D光线追迹(只有0级) Zqg AgN@  
    P=4o)e7E!  
    <;Td8T;  
    n3hlo@gYW  
    结果:3D光线追迹(所有级) y<8o!=Tb5  
    OBM&N  
    C !Lu`y  
    ?+{qmqN  
    结果:光线追迹 3=lQZi<]%  
    Xr|e%]!**  
    U4y ?z  
    a/q8vP  
    结果:场追迹 `v Ebm Xb  
    u |ru$cIo  
    AT^MQvn  
    x@VZJrQQ  
    结果:线性偏振光的场追迹 LaIH3!M3  
    n]_<6{: U  
    _7-P8"m  
     
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