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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 )zxb]Pg+  
    fx|d"VF[  
    任务/系统说明 "|X'qKS(H{  
    }B'-*)^|e{  
    dE"_gwtX  
    O5r8Ghf )  
    亮点 '! ^7 *@z  
    =Q<VU/  
     LVg#E*J  
    k( Sda>-  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） %"v:x?d$$o  
     严格分析光栅衍射效率 lC#wh2B6  
     考虑入射光的方向分布 dXxf{|gk>  
    PV#h_X<l%  
    说明：光源 7nT|yL?  
    Jpduk&u  
    y^ skE{  
    //c6vG  
    说明：光束分束器 2FuV%\p  
    i!2k f  
    }@HgFM"  
    :j`f%Vg~x  
    说明：检测透镜系统 `"65 _?B i  
    ^gcB+  
    =J1V?x=l@  
    X[$h &]  
    说明：微型晶片 YA pC|R,^  
    "9P @bA  
    ~u$ cX1M  
    9KX% O-'  
    说明：检测物镜 HK :K~h  
    Xb:* KeZq  
    Z5TA4Q+Q  
    =u}~\ 'd  
    说明：探测器 {{G3^ysa  
    !AXLoq$SY  
    xy:Mb =r  
    b\JU%89  
    结果：3D光线追迹（只有0级） :oy2mi;  
    JE}VRMNr  
    'l(s)Oa{M:  
    xwo *kFg  
    结果：3D光线追迹（所有级） 6MM\nIU)/  
    1av#u:jy~>  
    f5F-h0HF`[  
    w\i]z1  
    结果：光线追迹 .I~:j`K6  
    q>(?Z#sB  
     GcN}I=4|  
    N4;g"k b  
    结果：场追迹 K9ia|2f  
    \bT0\ (Js\  
     JYWoQ[ZO#>  
    )w4U]inJ$"  
    结果：线性偏振光的场追迹 a0)w/A&  
    P Ptmh. }e  
    U+'zz#0qN  
     
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