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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 K;Qlg{v  
    FGY4u4y  
    任务/系统说明 LxaR1E(Cc'  
    &~Qi+b0!  
    FMMQO,BU  
    w7aC=B/{?i  
    亮点 N]f"+  
    [9dW9[Z+!  
    N) D;)ZH  
    |zhVl  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) J%]< /J  
     严格分析光栅衍射效率 OIP JN8V  
     考虑入射光的方向分布 ?hu}wl)  
    QS.t_5<U  
    说明:光源 Y~@@{zP  
    ?Ho~6q8O@  
    r/E'#5 Q  
    F*Lm=^:  
    说明:光束分束器 Dg(882#_  
    #;,dk(URo  
    >(nb8T|  
    w$%d"Jm#X  
    说明:检测透镜系统 ]@YBa4}w  
    $KDH"J  
    P(B:tg  
    uXD?s3Wv  
    说明:微型晶片 )r X["=  
    =To}yJ#  
    IjJO;  
    kex4U6&OQB  
    说明:检测物镜 7&-i :2  
    RE~:+.eB  
    Reci:T(_  
    mhTi{t_fHM  
    说明:探测器 ZmM/YPy  
    cF6eMml;  
    rm}OVL  
    8JYF0r7  
    结果:3D光线追迹(只有0级) W6cA@DN$#  
    ;#c=0*.  
    Dxj&9Ra  
    ?8 dd^iX/  
    结果:3D光线追迹(所有级) nSUQ Eho<  
    NJ" d`  
    #bk[Zj&  
    dk}T&qZ~p  
    结果:光线追迹 v(PwE B]  
    L#)F00/`  
    Hqsj5j2i  
    ibe#Y  
    结果:场追迹 =/_tQR~  
    yffg_^fR  
    6KT]3*B   
    g~,"C8-H  
    结果:线性偏振光的场追迹 xz9x t  
    cPQUR^!5  
    >;|~ z\8  
     
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