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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 W{z.?$ SH  
    yJuQ8+vgR}  
    任务/系统说明 AE: Z+rM*  
    ]v[|B  
    x@mL $  
    jF`BjxrG  
    亮点 l1ZY1#%j  
    f>'Y(dJ'W  
     A5,t+8`aci  
    8x`.26p  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Iff9'TE  
     严格分析光栅衍射效率 C]^H&  
     考虑入射光的方向分布 dd2[yKC`  
    _%'},Xd.z  
    说明：光源 !=;XBd-  
    k6`6Mjbc  
    '=][J_  
    XC{eX&,2x  
    说明：光束分束器 zf3v5Hk  
    5cx#SD&5/  
    <2C7<7{7  
    .CP& bJP%  
    说明：检测透镜系统  $R<Me  
    0G!]=  
    I ZQHu h  
    ceNix!P  
    说明：微型晶片 E .1J2Ne  
    /0\ mx4u  
    `1:{0p2q  
    h|X^dQb]  
    说明：检测物镜 q2HYiH^L  
    ]v+31vdf:O  
    >u9Nz0?j  
    gGfoO[B  
    说明：探测器 ;Eu3[[V  
    zB yqD$  
    0M\D[ mg  
    1CLL%\V  
    结果：3D光线追迹（只有0级） <\?wAjc,  
    R$zH]  
    \h8 <cTQ  
    &/,|+U[  
    结果：3D光线追迹（所有级） r'gOVi4t1*  
    qZ@s#UiB  
    C]Q8:6b  
    k4 F"'N   
    结果：光线追迹 !?Wp+e6  
    DBP9{ x$  
     SwZA6R&  
    ~/j\Z  
    结果：场追迹 a22XDes=  
    3_A *$  
     YuB+k^  
    f 2l{^E#h  
    结果：线性偏振光的场追迹 +^;JS3p@\  
    $AHQmyg<  
    *hcYGLx r  
     
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