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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 8/~@3-9EK  
    "J `#  
    任务/系统说明 DP!8c  
    BM87f:d  
    Z'd]oNF  
    2N.!#~_2D  
    亮点 s1X?]A  
    Ctk1\quz  
    $]a*ZHd;2&  
    gU?M/i2  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) d-I=xpB  
     严格分析光栅衍射效率 MI`<U:-lP  
     考虑入射光的方向分布 $4]4G=o  
    _OK!/T*FBt  
    说明:光源  7uzc1}r  
    tNAmA  
    >=3oe.$)  
    q%XjJ -s:  
    说明:光束分束器 Q0L1!}w   
    #6#%y~N  
    Seq ^o=  
    mw83pU6  
    说明:检测透镜系统 [9y y<Z5  
    pQ8f$I#v  
    t ;y@;?~  
    |"}rC >+  
    说明:微型晶片 ]zI*}(adu  
    9zpOp-K6  
    V}h)e3X  
    l_ LH!Tu  
    说明:检测物镜 6dRvx;d  
    !{A#\~,  
    FyV $`c$  
    rt\.|Hr4s  
    说明:探测器 M2A_T.F=H  
    A=np ?wc  
    =!($=9  
    i,l$1g-i  
    结果:3D光线追迹(只有0级) `L3{y/U'  
    :]8!G- Z  
    L; <Pod  
    eqyUI|e  
    结果:3D光线追迹(所有级) &#'.I0n  
    =r~ExW}+  
    &E-q(3-  
    M[0NB2`Wp  
    结果:光线追迹 2>xEE  
    2hb>6Z;r]K  
    D<T:UJ  
    QPB ^%8  
    结果:场追迹 0 l+Jq  
    6N/6WrQEeg  
    AzSmfEaU0  
    ?p>m ;Aq  
    结果:线性偏振光的场追迹 5W09>C>OC  
    H9[0-Ur5  
    zo1 fUsK?  
     
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