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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-02-27
    成像系统>包括光栅 =qvn?I^/  
    Zd| u>tn  
    任务/系统说明 9=J 3T66U  
    :*M2@  
    ')T*cLQ><  
    00LL&ot  
    亮点 mGpBj9jr1  
    mg< v9#  
    \WqC^Di  
    N(e>]ui  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) Z,-J tl  
     严格分析光栅衍射效率 e= XC$Jv  
     考虑入射光的方向分布 Y .E.(\  
    tl 9`  
    说明:光源 %+((F +[  
    hWiHKR]  
    >uo=0=9=  
    -k  }LW4  
    说明:光束分束器 8M0<:p/  
    %(S!/(LWW  
    th{ie2$  
    nf-6[dg  
    说明:检测透镜系统 ^jXKM!}-E  
    Vp1Q^`a{G  
    _&N:%;9uD  
    }R~C<3u\2  
    说明:微型晶片 </B:Zjn  
    T2A74>Nw  
    jgqeDl\=+  
    BC85#sbl  
    说明:检测物镜 /uPMzl  
    cR&d=+R&  
    _7R6%^  
    oore:`m;  
    说明:探测器 f7a"}.D $  
    #^_7i)=~  
    &Z}}9dd  
    Q>xp 90&.n  
    结果:3D光线追迹(只有0级) @.=2*e.z|b  
    l}FA&c"  
    -%Jm-^F I  
    t Kjk<  
    结果:3D光线追迹(所有级) P@<K&S+f  
    ?'>[n m  
    Ko!a`I2M}  
    iA4VT,  
    结果:光线追迹 R0yp9icS  
    <899r \  
    KhPDXY]!  
    `uc`vkVZ  
    结果:场追迹 =T$2Qo8  
    BPy pA $  
    qvs[Gkaa@  
    IFXnGDG$  
    结果:线性偏振光的场追迹 (9)uZ-BF,  
    ^fU,9  
    ?#:!!.I:  
     
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