[技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 ?X?&~3iD%  
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建模任务 B^D(5  
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概观 HyiFy7j  
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光线追迹仿真 [#YE^[*qK  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。  htY=w}>  
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•点击Go！ ":3 VJ(eY  
•获得3D光线追迹结果。 e4OeoQ@ >  
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光线追迹仿真 J
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•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 i~J;G#b  
•单击Go！ *=Z26  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 &/.hx(#d  
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场追迹仿真 ~8`:7m?  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 uR6w|e`  
•单击Go！ 6{d6s#|%  
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场追迹结果（摄像机探测器） -G &_^"=R  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 RnfXN)+P  
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 y'ja< 1I>  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 2Ha5yaTL  
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场追迹结果（电磁场探测器） i54md$Q^  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 l^NC]t  
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