[技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 jYxmU8  
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建模任务 Vlf=gP  
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概观 gm1 7VrC  
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光线追迹仿真 D|gI3i  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 0kiV-yc   
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•点击Go！ d^:(-2l-  
•获得3D光线追迹结果。 <cUaIb;(4  
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光线追迹仿真 L>X39R~  
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•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 ;p] f5R^  
•单击Go！ \*r]v;NcP  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 -6yFE- X/  
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场追迹仿真 x4e8;A(y  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 n| [RXpAp3  
•单击Go！ 5.o{A#/NTl  
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场追迹结果（摄像机探测器） lRr={ >s  
go[(N6hN  
NUjo5.7  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 0f]LOg  
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 8Z1pQx-P2C  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 *j/[5J0'M  
cUPC8k.1  
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场追迹结果（电磁场探测器） S-D=-{@  
l;'#!hC)  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 *LZ^0c:r  
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