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高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用
VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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5~U:@Tp y||@?Y 建模任务 O<`,,^4w/ 0!_*S )
k*Pz&8| 概观 fYn{QS? bpp*
7E(%9W6P 光线追迹仿真
f`J|>Vk Yrsp%<qj •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
u>|"28y 3agNB F2 •点击Go!
$iHoOYx]< •获得3D光线追迹结果。
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1|/'"9v L=m:/qQL 光线追迹仿真 0[9I0YBJ /{R3@,D[] oZ-FF' •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
A$<>JVv •单击Go!
lR}%)3_k •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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k9&@(G[K3 @>:i-5 场追迹仿真 XNlhu^jh CO'ar, J[r^T&o •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
?`aTu:1#Z •单击Go!
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`Hd9\;NJ 7V'Le2T' 场追迹结果(摄像机探测器) !&JiNn(' R+F,H` ]v GgJ< •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
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2q1 •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
yZ~b+=UM Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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$ @(C 场追迹结果(电磁场探测器) C
Oa.xyp Z8fJ{uOIL •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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