e"sv_$* 高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用
VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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ircL/: ]QHZ[C 建模任务 TZ
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wS7Vo{#@\ 概观 tNZZCdB c(8>oeKyD
P$h) Y 光线追迹仿真 +[i r7?Y. 438r]f?0|{ •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
I=[0 9o c@]G;> o •点击Go!
s`,g4ce` •获得3D光线追迹结果。
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7}c[GC)F
86qQ"=v "[z/\l8O 光线追迹仿真 ^-~=U^2tC Ha ZV7 Ya<KMBi3 •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
"=40%j0 •单击Go!
M,{; xf •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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lB 场追迹仿真 91a);d TOqxl ,@N.v?p> •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
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7dRA •单击Go!
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I(j{D>v qM^y@B2MO 场追迹结果(摄像机探测器) Bz:Hp{7& =3V4HQi V j)"?|V •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
O7&OCo|b%> •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
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e^s`dsG Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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iLqMSq %2G3+T8*x 场追迹结果(电磁场探测器) C<^S$ 9Y2(.~w6X •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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