aSK$#Xeu 高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用
VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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-!}1{ X:e'@]Z)? 建模任务 !PQRlgcG $"UAJ -
N&ddO-r[s 概观 (*;u{m= AVJF[t ,
pTN_6=Y" 光线追迹仿真 Jg Xbs+. ^Gyl:hN •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
es6e-y@e rcbixOT •点击Go!
vIG,!^*3 •获得3D光线追迹结果。
MUo?ajbqOd bc"{ZL!C
r'!l`
gm,S #2MwmIeA 光线追迹仿真 3dM6zOK YW'Y=* 'v,W
gPe •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
"d#s|_n,d) •单击Go!
givK{Yt<B •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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980+Y QxkfP %_g 场追迹仿真 BNByaC ;'Y?wH[ 1dq.UW\ •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
v_ J.M ] •单击Go!
5 4OYAkPCk F;ZLoG*U
Zb1v oO|^ [b# 场追迹结果(摄像机探测器) .dygp"* ;klDt|%3j WDX?|q9rCt •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
f&`*x t/ •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
U!'lc}5 Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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r" D |1 lz*PNT{E 场追迹结果(电磁场探测器) CxRp$;rk u7;A` •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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