k%c ?$n" 高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用
VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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b/<4\f y*_g1q$ 建模任务 bx`(d@ #r0A<+t{T
#bf^Pq'8 概观 M*@MkN*u& BXm{x6\
Ik~5j(^E- 光线追迹仿真 qOkw6jfluh c[ =9Z;| •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
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w: •点击Go!
C%G-Ye|@ •获得3D光线追迹结果。
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|RHX2sso 7dxY07yu 光线追迹仿真 3",6 E( 92eS*x2@ YIjBKh •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
wxvt:== •单击Go!
Jg: Uv6eN+ •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
V@T G"YF _U'edK]R
R%SsHu"> SyTcp?H 场追迹仿真 YW>|gE vFy/ "xYMv"X •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
]ujH7T •单击Go!
'g( R4deCX 4W$53LP8
@4hxGk= 0vDP-qJV- 场追迹结果(摄像机探测器) RrGS$< awo=%vJ& vPpbm •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
c]&(h L •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
[Fjh Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
:9]23'Md J:pnmZ`X
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: B.|2w 场追迹结果(电磁场探测器) ^#XxqVdPk p8o%H-Xk •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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