[技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 RD,`
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建模任务 .p <!2  
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概观 k`xPf\^tf  
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光线追迹仿真 dTS7l02  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 I+ydVj(Op  
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•点击Go！ /2WGo-  
•获得3D光线追迹结果。 Wc#4%kT  
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光线追迹仿真 arRbq!mO  
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E%2]c?N5  
•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 FAo\`x  
•单击Go！ HZ )z^K?1  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 RQ!kVM@  
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场追迹仿真 &r doMc;  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 >-0Rq[)  
•单击Go！ 4*P#3 B'@V  
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场追迹结果（摄像机探测器） e?,n>  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 e ^2n58  
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 `-/-(v+ i  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 ]{s0/(EA  
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场追迹结果（电磁场探测器） 8BE] A_
X  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 nl5A{ s
 
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