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    [技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-01-18
    aSK$#Xeu  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 /z'j:~`E  
    A5/h*`Q\\  
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         X:e'@]Z)?  
    建模任务 !PQRlgcG  
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    N&ddO-r[s  
    概观 (*;u{m=  
    AVJF[t,  
    pTN_6=Y"  
    光线追迹仿真 Jg Xbs+.  
    ^Gyl:hN  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 es6e-y@e  
    rcbixOT  
    •点击Go! vIG,!^*3  
    •获得3D光线追迹结果。 MUo?ajbqOd  
    bc"{ZL!C  
    r'!l` gm,S  
    #2MwmIeA  
    光线追迹仿真 3dM6zOK  
    YW'Y=*  
    'v,W gPe  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 "d#s|_n,d)  
    •单击Go! givK{Yt<B  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 hlVP_h"z  
    &B.r&K&  
    980+Y  
         QxkfP%_g  
    场追迹仿真 BNByaC  
    ;'Y?wH[  
    1dq.UW\  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 v_ J.M]  
    •单击Go! 54OYAkPCk  
    F;ZLoG*U  
    Z  b1v  
         o O|^ [b#  
    场追迹结果(摄像机探测器) .dygp"*  
    ;klDt|%3j  
    WDX?|q9rCt  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 f&`*x t/  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 U!'lc} 5  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 u1"e+4f  
    646ye Q1  
    r" D|1  
    lz*PNT{E  
    场追迹结果(电磁场探测器) CxRp$;rk  
    u7;A`  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 pqs)ueu  
    vW_A.iI"e  
     
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