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    [技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-01-18
    >[*4Tjg  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 <`g3(?   
    )fh0&Y; R  
    F;D1F+S  
         C9KWa*3  
    建模任务 -fIc4u[  
    5 d ;|=K  
    MC=G"m:_  
    概观 [N|xzMe  
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    {K7YTLWY  
    光线追迹仿真 6f] rQ9  
    y @apJ;_R-  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 F=&;Y@t  
    @"1}16b#f  
    •点击Go! ]h~o],:  
    •获得3D光线追迹结果。 8sw,k   
    A 0#Y, 1  
    3eg5oAZ)G8  
    lfS;?~W0k  
    光线追迹仿真 BXTN>d27  
    {j6g@Vd6lx  
    vg^Myn   
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 #@_ 1fE  
    •单击Go! |< N frz  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 v*P[W_.  
    o'qm82* =  
    c#\-%h  
         |%ZpatZA5  
    场追迹仿真 /PC` 0/b  
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    u7muaSy  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 wD=am  
    •单击Go! 5\G)Q<A]*L  
    .3g&9WvN!Z  
    ?L`ZKRD  
         k!13=Gh  
    场追迹结果(摄像机探测器) cV]y=q 6  
    Ed=}PrE  
    @"8~Y|L93  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ylkqhs&  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 /c^e& D  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 :r39wFi  
    K\X: G-C9  
    "/y|VTV"  
    n2E4!L|q  
    场追迹结果(电磁场探测器) l"L+e!B~  
    ji##$xC  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 3M$X:$b  
    0Bu*g LY  
     
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