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    [技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-01-18
    Q8O38uZ  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 7dLPy[8";t  
    7G xNI  
    @|M10r9E  
         +`ZcYLg)#  
    建模任务 v{I:Wxe  
    RNPqW,B!0  
    A ="h}9ok  
    概观 >q}EZC  
    @0aUWG!k  
    ^+pmZw9 0  
    光线追迹仿真 b"J(u|Du`  
    TJCoID7a8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 3Z`oI#-x  
    *l|CrUa  
    •点击Go! ~-,<`VY  
    •获得3D光线追迹结果。 1iz\8R:0  
    _3`{wzMA  
    r"xo9&|  
    " jy'Dpy0m  
    光线追迹仿真 :R _(+EK1  
    R+5x:mpHy  
    X(/W|RY{@  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 Hkpn/,D5  
    •单击Go! %H:!/'45  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 W}KtB1J  
    >%xJ e'  
    <53~Y  
         e+S%` Sg  
    场追迹仿真 H -`7T;t~  
    `w&|~xT  
    k;"=y )@o  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 ?g!py[CrE  
    •单击Go! *.20YruU;j  
    B4I|"5G2y  
    x3]es"4Q  
         #Ez>]`]TB  
    场追迹结果(摄像机探测器) Lt_7pb%  
    D=e&"V a  
    ,1od]]>(O  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 RXh/[t+  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 \4mw>8wA  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 6kHAoERp  
    s fazrz`h  
    >0{{ loqq  
    ze]2-B4  
    场追迹结果(电磁场探测器) =d`,W9D  
    D guAeK  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 ,xNuc$8Jd  
    Qu!Lc:oM?  
     
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