Q8O38uZ 高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用
VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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@|M10r9E +`ZcYLg)# 建模任务 v{I:Wxe RNPqW,B!0
A="h}9ok 概观 >q}EZC @0aUWG!k
^+pmZw90 光线追迹仿真 b"J(u|Du` TJCoID7a8 •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
3Z`oI#-x *l|CrUa •点击Go!
~-,<`VY •获得3D光线追迹结果。
1iz\8R:0 _3`{wzMA
r"xo 9&| "jy'Dpy0m 光线追迹仿真 :R_(+EK1 R+5x:mpHy X(/W|RY{@ •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
Hkpn/,D5 •单击Go!
%H:!/'45 •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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<53~Y e+S%`Sg 场追迹仿真 H -`7T;t~ `w&|~xT k;"=y)@o •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
?g!py[CrE •单击Go!
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x3]es"4Q #Ez>]`]TB 场追迹结果(摄像机探测器) Lt_7pb% D=e&"V a ,1od]]>(O •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
RXh/[t+ •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
\4mw>8wA Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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>0{{loqq ze]2-B4 场追迹结果(电磁场探测器) =d`,W9D D guAeK •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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