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    [技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-01-18
    |.y>[+Qb*  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 |VTWw<{LX  
    BO8%:/37[4  
    M_qP!+Y  
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    建模任务 _2]e1_=  
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    tU9rCL:P  
    概观 <+<)xwOQ ]  
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    光线追迹仿真 & 6`  
    $/4Wod*l  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 mw:3q6  
    v>JB rIb$  
    •点击Go! <FXQxM5"  
    •获得3D光线追迹结果。 Bx\#`Y  
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    7'-)/Pk  
    光线追迹仿真 {fAh@:{@  
    z2rQ$O -#  
    ;6DR .2}?>  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。  ~Y1"k]J  
    •单击Go! tfi2y]{A  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 wlm3~B\64  
    j)6@q@P/  
    Q.j-C}a  
         M3hy5 j(b  
    场追迹仿真 sL!;hKK  
    &@mvw=d  
    ^JYF1   
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 >g5T;NgH9  
    •单击Go! 0-8ELX[#  
    $=\oJ-(!@S  
    @/_XS4  
         (Q}PeKM?jq  
    场追迹结果(摄像机探测器) ]3gYuz|  
    )OARO  
    / e~  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 `77;MGg*  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 S#dyRTmI  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 !1ie:z>s  
    tEi@p;Z>  
    [+ %p!T  
    m _t(rn~f6  
    场追迹结果(电磁场探测器) Pur"9jHa4  
    S+` !%hJ  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 >i><s>=I`  
    w3>Y7vxiz`  
     
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