K%g\\uo 高NA物镜广泛用于
光学光刻,
显微镜等。因此,在聚焦
仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用
VirtualLab对这种
镜头进行
光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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m&\Gz*)3 &A9+%kOk> 建模任务 k"U4E
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kb6v2 ^8H 概观 3_-# EAI[J&c
1@ina`!1O 光线追迹仿真 r~;N(CG *vb)d0}P •首先选择“光线追迹
系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
V~wmGp.e w5;EnI •点击Go!
8 2qe|XD4p •获得3D光线追迹结果。
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'71btd1 83h3C EQ 光线追迹仿真 $@xkKe" pxF!<nN1, 9D<HJ( •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
{\e}43^9N •单击Go!
G pd:k •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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ieI-_]|[ joG>=o 场追迹仿真 ..t=Y# BpC Sf.zZ "&%Hb's •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
g :EU\ •单击Go!
_H,RcpyJ 1K`A.J:Uy
*"
)[Srbg J]UHq$B 场追迹结果(摄像机探测器) ~IXfID!8 twn@~$
Ojs\2('u •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
`et<Z •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
yV. P.Q Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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l.BNe)1!22 PjHm#a3zg% 场追迹结果(电磁场探测器) 6yb<4@LOb UO wNcY •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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