[技术]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 F\pw0^K;N  
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建模任务 >| d^  
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概观 a2:Tu  
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光线追迹仿真 FN$hEc!  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 ]J=S\  
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•点击Go！ qg7] YT&  
•获得3D光线追迹结果。 ?(8z O"  
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光线追迹仿真 ,H{ /@|RW  
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•然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 $Cu/!GA4.>  
•单击Go！ 6{O#!o*g  
•结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。 jgiP2k[Xom  
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场追迹仿真 uj.~/W1,!  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 Z=: oIAe  
•单击Go！ >40B Fxc  
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场追迹结果（摄像机探测器） T7;)HFGeW  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 uCK!lq-  
•下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 ujcS>XN,1  
Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 mB(*)PwZ  
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场追迹结果（电磁场探测器） PVO9KWv**  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 =#XsY,r  
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