rS8a/d~;0 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
&W `xZyb3 0p.bmQSH
c:R?da XtF
m5\U 本用例展示了......
lame/B&nc •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
U"oNJ8&%| - 矩形光栅界面
@hLkU4S - 过渡点列表界面
YJi%vQ*] - 锯齿光栅界面
\P\Z<z7jy - 正弦光栅界面
qnm_#!&uHT •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
JAbUK[:K ,d
G. 67 光栅工具箱初始化 1MelHW •初始化
t=_^$M,yr - 开始
q5'S<qY^ 光栅
">A<%5F2 通用光栅光路图
*Cy54Z# •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
&&ioGy}1 可直接选择特定的光路图。
.nV2n@SR DM.lQ0xk
oy+|:[v:Fk |dRVSVN 光栅结构设置 {C1crp>q •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
JJ.8V72;!Z
Z\0Rw># •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
LZ*8YNp1' •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
mh
}M|h5Im XTol|a=
f%Q)_F[0D4 R!nf^*~ •例如,选择第一个界面上的堆栈。
A|A~$v("R 6r7>nU&d 堆栈编辑器 )0{`}7X •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
rTD +7
)E •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
:Mx =w2 4(S
Lx"GBEkt7 $:ush"=f8^ 矩形光栅界面 8-$t7bV5 3^xUN|.F*V •一种可能的界面是矩形光栅界面。
\j8vf0c5b •此类界面适用于简单二元结构的配置。
_k84#E0 •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
r924!zdbR •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
=C\Tl-$\f •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
F^ q{[Z HB07 n4 |
'g v0;L *dBy<dIy 矩形光栅界面 sqkWQ`Ur •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
FaHOutP •所选界面在视图中以红色突出显示。
(f/(q-7VWt
^W |YE72Y •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
*D5 xbkH=. •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
WP<L9A
{UNH?2 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
K.tNV{OL •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
wmVmGa
R •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
Y2|i> 5/|< $H:!3-/
y:G%p3h)[ 1\hLwG6Jj
(m]l -Re /ViY:-8s 矩形光栅界面参数 LF|0lAr •矩形光栅界面由以下参数定义
zAgX{$/Fg - 狭缝宽度(绝对或相对)
*A-_*A - 光栅周期
w[~G^x& - 调制深度
(
eV,f •可以选择设置横向移位和旋转。
%ms%0% LI,wSTVjC
$b8[/], hgU;7R,?ir 高级选项和信息 qHt/,w='Q •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
a~}q]o?j •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
$5nMD= •可以设置总级次数或衰逝波级次数
?kjQ_K (evanescent orders)。
jIh1)*]054 •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
r$jWjb •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
*WE8J#]d CmEqo;Is
J[/WBVFDf xAmtm" •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
8SRR)O[)} •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
41
F;X{Br •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
k1&9 bgI •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
^eW<-n@^ !do`OEQKR
@yp0WB m8n) sw,, 过渡点列表界面 ~^wSwd[ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
_^ hg7&dF •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
zB.cOMx •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
=Rd`"]Mnfb
2|pTw5z~ 0`/G(ukO 过渡点列表参数 p
fc6;K:d •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
fWHvVyQ. •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
~yv7[`+Tgg Ai/X*y:[?
91OxUVd y3~=8!Tj?Q •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
5c- P lm% •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
s5~k]"{j •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
v9(5HY !73y(Y%TE
tYA@J[" ^ "i&)+dr- 高级选项及信息 Q2
q~m8( •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
0O3O^
0 gt{kjrTv&
s`yzeo "GMU~594 正弦光栅界面 U]hqRL •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
~J\qkQ
•此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
?
AfThJc •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
s8-RXEPb - 脊的材料:基板的材料
o30C\ - 凹槽材料:光栅前面的材料
Q68~D.V%r Q,?_;,I}
BN*:*cmUl i'fw>-0 正弦光栅界面参数 7FH(C`uKi - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
[>ghs_?dZ •光栅周期
"ESc^28 •调制深度
APu$t$dmm - 可以选择设置横向移位和旋转。
f' A$':Y - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
oh5'Isb$ 99yWUC,
2 "&GH1 Yxq!7J 高级选项和信息 s;A7:_z#7 •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
?/|Xie M?l v
bPVk5G*ruP ~'M<S=W 高级选项及信息 aRTy=~ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
v_KO xV:<` (xgw';g
$RDlM 锯齿光栅界面 suE K;Bk9 •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
>zJHvb)b\ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
)N 3^r>(e< •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
oAO{4xP - 脊的材料:基板的材料
y[N0P0r l: - 凹槽材料:光栅前面的材料
$;5Q
mKQ' 2^[dy>[y0
YR'F]FI |_?e.}K 锯齿光栅界面参数 b8d0]YS •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
l"ms:v - 光栅周期
<::lfPP - 调制深度
kQkc+sGJf •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
[}szM^ •可以选择设置横向移位和旋转。
GDSV:]hL •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
!hVbx#bXl Snk+ZQ-
$0$sM/ % MpOU>\ 高级选项和信息 [9
MH"\ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
ULiRuN0 6
v,i|:;G 探测器位置的注释 -
lX4; 关于探测器位置的注释 4Y(@
KUb •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
0+SDFh •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
\3hA_{ w •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
Qvp"gut)%X •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
SnE^\I^O •可以避免这些干涉效应的不良影响。
SIp)&
.D@J\<,+l