B> i^ w1 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
6T~+vT IA1O]i
S % O%;\t +>ituJ 本用例展示了......
4V@0L •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
`,pBOh|' - 矩形光栅界面
]igCV - 过渡点列表界面
gjT`<CW - 锯齿光栅界面
@:hWahMy - 正弦光栅界面
&flcJ` •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
hHw1<! M )r A\+XT7 光栅工具箱初始化 .ZQXY%g •初始化
Zq1> M'V; - 开始
K'e!BZm6Q 光栅
[uie]*^ 通用光栅光路图
\iEJ9V •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
)`5-rm~* 可直接选择特定的光路图。
m|cRj{xZF S#+ _HFUK{ !5m~qet. N]c:8dOj 光栅结构设置 *Z"Kvj;>u •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
+W>tdxOh (o6u^#6 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
qy\SOAh •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
Rx%kAt2X AsZyPybq QIN# \ jAt65a •例如,选择第一个界面上的堆栈。
K1<l/
s z9#jXC#OdN 堆栈编辑器 [MC}zd'/ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
U_B`SS •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
rUiUv(q 5U<o%+^El i3Nt?FSN H<b4B$/ 矩形光栅界面 ^eYJ7&t r:^`005 •一种可能的界面是矩形光栅界面。
yNx"Ey dk` •此类界面适用于简单二元结构的配置。
MT&q~jx* •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
)^^}!U#|e •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
[qt^gy) •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
N)z]
F9Kg }>j1j^c1=' V|0UwS\n Ox/va]e7" 矩形光栅界面 }% |GV •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
R91u6r# •所选界面在视图中以红色突出显示。
] @1ncn7N p7O4CP>9[ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
9Bmgz =8 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
!lB,2_ wA)R7%& •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
Fn%:0j •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
wY}+d0Ch •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
{la^useg[ t!Av[K 3?/} &l|B>{4v q`;URkjk N=L
urXv 矩形光栅界面参数 *XzUqK •矩形光栅界面由以下参数定义
1r w>gR - 狭缝宽度(绝对或相对)
9p$q@Bc - 光栅周期
;6)|'3.B9 - 调制深度
Kd,m;S\ •可以选择设置横向移位和旋转。
bmddh2 'XQv> J khu,P[3> Qg oXOVo6 高级选项和信息 qx? lCz a" •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
eZJOI1wNp •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
@o^sp|k ! •可以设置总级次数或衰逝波级次数
If#7SF)n' (evanescent orders)。
I2l'y8)d •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
-s!PO;qm •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
wLUmRo56aR =XS'V* 02S(9^= {S&&X&A`v •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
,[hJi3xM •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
@+!d@`w:z2 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
g%[Ruugu •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
<(t<gS # Wl2>U(lj ffhD+-gTU Y\x
Xo? 过渡点列表界面
^~ I •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
Fu><lN7 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
tr} $82Po •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
*ZEs5`x .lnD]Q Te13Af~ 过渡点列表参数 d16PY_ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
Te/)[I'Tn •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
%qv7;E2C /][U$Q;Ke vNt2s)J$ 0&-sz=L •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
Y#5S;?bR •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
S {H8}m|MW •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
Vqr&)i"b$ DQ}]'*@? BMW4E 5 y%y#Pb| 高级选项及信息 +Lr0i_al •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
Tk:y>P!%a x1et,&, h^)2:0#{I o_5@R+& 正弦光栅界面 EKf4f^< •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
BkF[nL*| •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
a`uT'g[* •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
/_|1,x-Kx - 脊的材料:基板的材料
#]'xUgcE9 - 凹槽材料:光栅前面的材料
(qrT0D6 {m?x}, +1%6-g4" )qIK7; 正弦光栅界面参数 (!(bysi9 - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
FRW.
•光栅周期
$9~1s/(' •调制深度
qG qu/$bh - 可以选择设置横向移位和旋转。
AQ5v`xE4 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
wMoAvA_oS KPhqD5,
( BTyVfq
sx ^q`*!B9@ 高级选项和信息 P.:T
zk6 •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
mI%/k7:sf O#\>j I .ty-X] ?+\,a+46P_ 高级选项及信息 A@OV!DJe] •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
Ul
Iw&U De_</1Au!2 [)A#9L~s= 锯齿光栅界面 ~aG-^BAS •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
O|~'-^ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
$EIkk= z •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
wrU[#g,uvr - 脊的材料:基板的材料
vp@+wh]# - 凹槽材料:光栅前面的材料
gOM`I+CwT @\?f77Of6 3#[I_ z
sPuLn9G 锯齿光栅界面参数 j+hoj2( •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
N3<Jh - 光栅周期
CdO-xL6F - 调制深度
KoJG!Rm •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
+kL(lBv' •可以选择设置横向移位和旋转。
iurB8~Y •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
o=QF>\\ N sL"p2w~ ,m,vo_Ub :F=nb+HZ 高级选项和信息 ;G]'}$`/q •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
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jp&g9Q p%1m&/`F 探测器位置的注释 ud D[hPJd 关于探测器位置的注释 us%RQ8=k •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
!++62Lf •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
w>_EM&r6~u •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
N-E`go •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
t8 "-zd8 •可以避免这些干涉效应的不良影响。
<v k$eB8EC z_@zMLs