@faf 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
U=Z@Ipu5T 5w}xjOYIjV
(niZN_qv }mu8fm' 本用例展示了......
"9LPq •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
&Radpb2p6 - 矩形光栅界面
MMhd -B1O& - 过渡点列表界面
BAX])~_ - 锯齿光栅界面
8'^eH1d' - 正弦光栅界面
Y)BKRS~ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
ut3jIZ1] %m+Z rH( 光栅工具箱初始化 5Tn4iyg;B •初始化
5:iril - 开始
eC[g"Ef 光栅
uKpl+> 通用光栅光路图
kZUuRB~om •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
G?3S_3J2 可直接选择特定的光路图。
G|3OB: %6Hn1'7+v
~{2@-qcm [USXNe/
光栅结构设置 r)+dK}xl •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
EnwiE
{7(h%] •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
Plm3vk= •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
-BEPpwb<g "_?^uymw
$PrzJc tG%R_$* •例如,选择第一个界面上的堆栈。
c^Wm~"r >4h4t/G 堆栈编辑器 1$".7}M4$ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
f fE%{B? •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
nr s!e HL 88
T0tG1/O\ Z>CFH9 矩形光栅界面 I, ^QYI`u` 4 •一种可能的界面是矩形光栅界面。
?#FAa, •此类界面适用于简单二元结构的配置。
_`D760q} •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
_fMooI)U1 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
jj.]R+.G •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
^.-P]I] $1Xg[>1g5
f oL`{fA @B&hR} 4 矩形光栅界面 q!O~* •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
J4S2vBe16 •所选界面在视图中以红色突出显示。
-p%=36n
PN\2 ^@>_ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
sjaG%f&h •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
1XHGW=n
*YtITyDS3> •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
\OY2| •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
@]2cL •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
ipU"|{NK {p2%4
x6$P(eN #p_ ~L4iW
751\K`L wHIS}OONz 矩形光栅界面参数 lzwr]J%|? •矩形光栅界面由以下参数定义
}F1^gN&QF - 狭缝宽度(绝对或相对)
Z ,T TI>P - 光栅周期
%/sf#8^m - 调制深度
nY~CAo/: •可以选择设置横向移位和旋转。
7J 0!vq i5_gz>
TcGxm7T ,u\M7,a^ 高级选项和信息 .@[+05Yw •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
lI&0
V5 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
fY-{,+ `' •可以设置总级次数或衰逝波级次数
I[F.M}5:z (evanescent orders)。
koAc-o
•如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
sS+9ly{9J •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
-M/ny-;`} 43P?f+IYrk
g(<@r2p _{ ?1+ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
sRYFu% •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
Hi|Oeu •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
.e]!i(5I •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
`aSz"4Wd &