&5L<i3BX 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
2[gFkyqe _{|D
BIj=!! yAN=2fZm 本用例展示了......
jzK5-;b •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
~n/
$ - 矩形光栅界面
h!m_PgRSs - 过渡点列表界面
BYKoel - 锯齿光栅界面
FE o269Ur - 正弦光栅界面
\(">K •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
?h!i0Rsm ?2Kt'1s# 光栅工具箱初始化 .6OgO{P: •初始化
a
{ab*tM - 开始
+1~Z#^{& 光栅
4 QZ?}iz 通用光栅光路图
1jX3ey~ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
5Q=P4w!' 可直接选择特定的光路图。
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/4k7X}y ,TRTRb;
5E0eyW z]3 `*/B 光栅结构设置 Erk?}E •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
$3,ryXp7
Va$Pi19 O •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
QORN9SY •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
Z#.f&K )xX {Q<$Uo6V
Zatf9yGD 8t=(,^c •例如,选择第一个界面上的堆栈。
:pRpvhm 6:%
L![FX 堆栈编辑器 A6oq.I0 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
i55x`>]&sb •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
v=95_l ?6!]Nl1gr
qOaQxRYm%Y $F.kK%-* 矩形光栅界面 {_U
Kttp {iG@U=> •一种可能的界面是矩形光栅界面。
gKg-O •此类界面适用于简单二元结构的配置。
M. td^l0 •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
+wW@'X
•为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
1.q_f<U •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
,^8 MB. VGqa)ri"
yFhB>i _owjTo} 矩形光栅界面 `c+/q2M •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
umLb+GbI4 •所选界面在视图中以红色突出显示。
%c)[
kAU!
7DlOW1| •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
h3gWOU •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
vKoP|z=m
#'4OYY. •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
vB!|\eJ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
hO[3 Z^X •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
N -w(e 3/JyUh?
[\R>Xcu> O--7<Q\
c<#<k}y wve=.n 矩形光栅界面参数 o/o:2p. •矩形光栅界面由以下参数定义
H6aM&r9} - 狭缝宽度(绝对或相对)
n-QJ;37\ - 光栅周期
8[ry|J - 调制深度
D@X+{ •可以选择设置横向移位和旋转。
-RJE6~>'\ m=qOg>k
7-_vY[)/ vw<K}z 高级选项和信息 2q}.. •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
buk=p-oi •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
pUl8{YGS •可以设置总级次数或衰逝波级次数
)
uP\>vRy (evanescent orders)。
G%#05jH •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
Lv1{k\aw •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
Eaad,VBtU Fl>]&x*~
^%y`u1ab g<\z= H •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
nws"RcP+Z •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
8Z85D •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
A\te*G0:S •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
O7aLlZdg~ 6g>)6ux>aV
q;AT>" = ) ^+?|Qfi 过渡点列表界面 "Mmf6hu •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
cjULX+h •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
d`Q7"}uZ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
|dadH7
L4f7s7rJ #k5#j4!b 过渡点列表参数 }1+%_|Y-E •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
?TEK=mD#u •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
@kD8^,( oH 9>,Qgp,w
'~-IV0v9 %c^ m\E •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
xk~Nmb} •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
n<V1|X •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
FquFRx L&Qi@D0P
%Ny) ?B lj &>cScC 高级选项及信息 {,O`rW_eS •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
CBD_a#K{ ;7G_f
%hT4qzJj J.M.L$ 正弦光栅界面 k ~6-cx •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
Ri?\m!o •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
1"K*._K •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
[ug,jEH"S - 脊的材料:基板的材料
&A50'8B2A - 凹槽材料:光栅前面的材料
CdhSp$> |#5 e|z5(
{`.O|_b nx4P^PC 正弦光栅界面参数 >mIg@knE - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
/3^P_\,>f •光栅周期
E;-qP)yU •调制深度
!jh%}JJ - 可以选择设置横向移位和旋转。
Ex($ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
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Di??Q_$ak |ViU4&d* 高级选项和信息 &`:rp!Lc •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
`B#Z;R 4'At.<]jL
, Fytk34 Sr
y,@p) 高级选项及信息 dl/X."iv! •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
3;BvnD7 ?ei%RWo
P79R~m` 锯齿光栅界面 ]O@"\_} •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
_p4}<pG •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
mCb 9*| •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
tjb/[RQ - 脊的材料:基板的材料
_ 5\AS+[x
- 凹槽材料:光栅前面的材料
~ v1W VJ1*|r,
8gpB z'/, Hcl"T1N* 锯齿光栅界面参数 IrO+5 w •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
Wu{&;$ - 光栅周期
o8D{dS>,PL - 调制深度
A
+!sD5d •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
^]rxhpS •可以选择设置横向移位和旋转。
!`C?nY •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
7s]Wq6 R@ QQNYU.D
UA0tFeH W'G{K\(/ 高级选项和信息 %1jdiHTaL •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
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(n=Aa; 探测器位置的注释 /oDpgOn 关于探测器位置的注释 g5TkD~w" •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
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ZD •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
s-5wbi.C •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
T:#S86m •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
6<76O~hNZ •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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