emA!Ew(g 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
5QWNZJ&}d g3?U#7i
8Xm@r#Oy5 S9Yt 1qb 本用例展示了......
R.1Xst &i •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
|Zq\GA - 矩形光栅界面
O(OmGu4% - 过渡点列表界面
}G1&]Wt_ - 锯齿光栅界面
77:'I - 正弦光栅界面
Y&'8VdW •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
Ws49ImCB h#3m4<w(9 光栅工具箱初始化 !g0cC.' •初始化
IvW@o1Q - 开始
LBX%H GH 光栅
KC&`x| 通用光栅光路图
^@}#me@ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
pX<a2FP 可直接选择特定的光路图。
\/Ij7nD`l% *PM}"s
PX 3 .T3=Eq&"W 光栅结构设置 cj(X2L •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
=wA5P@
B2hfD-h,> •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
{~GR8
U •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
Ob(leL>ow } 21j
|ft:|/^F& U4wpjHg •例如,选择第一个界面上的堆栈。
|@`"F5@, 9p>
/?H| 堆栈编辑器 t]TyXAr~ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
\X@IkL$r •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
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Uh+jt,RB` org*z!;. 矩形光栅界面 PqhlXqX9 aii'}c •一种可能的界面是矩形光栅界面。
O:u%7V/ •此类界面适用于简单二元结构的配置。
Wg1tip8s •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
31 ]7z •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
qWB%),`j> •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
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z]>9nv`b h[l{ 5Z* 矩形光栅界面 f8!l7{2%q •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
Cj$H[K}> •所选界面在视图中以红色突出显示。
tQ0=p|
T]
&PWf:y{R` •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
|+/$ g. •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
;xW{Ehq-h
n^6TP'r •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
aL$j/SC •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
s?<!&Y •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
HWR&C O<a3DyUa;
kGj]i@(PA4 L{K*~B -p
Y\>\[*.v r!M#7FDs( 矩形光栅界面参数 !pS~'E&q •矩形光栅界面由以下参数定义
$9m5bQcV - 狭缝宽度(绝对或相对)
={xqNRVd - 光栅周期
t;XS;b% - 调制深度
TA9dkYlE/ •可以选择设置横向移位和旋转。
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?:F4Q r1hD
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D`fc7m \#_@qHAG 高级选项和信息 <
[w++F~ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
cqHw^{'8 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
Y(W{Jd+ •可以设置总级次数或衰逝波级次数
Vd[2u (evanescent orders)。
;y,NC2Xj •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
4Qhx[Hv>( •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
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P~X Qq>ElQ@
Obg@YIwn K5+!(5V~ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
SZI7M"gf/+ •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
\)s3b/oap •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
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Ri!\Fx •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
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1y(iE C =QTmK/(|B 过渡点列表界面 n=r=u'oi •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
yvS^2+jW •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
H7J`]nr6 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
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e8 v; D r8<JX5zyuo 过渡点列表参数
Ckw83X •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
i$g|?g~] •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
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ltP Bac?'ypm •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
*(>Jd|C •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
D@2Ya/c •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
YlG;A\]k "C?:T'dW
MyK^i2eD z{@=_5; 高级选项及信息 d!w1t=2H •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
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![qRoYpbg8 K@y-)I2] 正弦光栅界面 ,&-S?| •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
J: L -15 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
g2!0vB> •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
NEZH<# - 脊的材料:基板的材料
32TP Mk - 凹槽材料:光栅前面的材料
Cl%V^xTb yl[2et
A!n~8zcmp} ;>cLbjD 正弦光栅界面参数 /IrKpmbq - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
5ENov!$H •光栅周期
x|&[hFXD •调制深度
Y=PzN3 - 可以选择设置横向移位和旋转。
B b$S^F(Xq - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
(*LTqC Q1]V|S;)X
p{+tFQy +>n.T 高级选项和信息 ajf_)G5X P •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
K'>P!R:El /W7&U
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pb,{$A h[vAU 9f)
高级选项及信息 2l]C55p)s •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
TG""eC!E *g}vT8w'}
zS&7[:IRs' 锯齿光栅界面 @G^j8Nl+J} •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
37.)@ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
/&y,vkZTT •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
5%vP~vy_} - 脊的材料:基板的材料
/DgT1^&0 - 凹槽材料:光栅前面的材料
DN2hv2 (gs`=H*d;
0Og/47dO.2 F(0pru4u 锯齿光栅界面参数 PX+"" # •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
#JX|S'\x - 光栅周期
D3,t6\m - 调制深度
ylo]`Nq •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
PW(_yB; •可以选择设置横向移位和旋转。
P}w^9=;S •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
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6%Cna0x:& SLbavP#G 高级选项和信息 _rWTw+
L •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
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si+5h6I.} 探测器位置的注释 2n"*)3Qj 关于探测器位置的注释 &q"uy:Rd •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
[qc6Q: •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
J:M<9W •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
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J/jD •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
# UP,;W •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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