b.mjQ 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
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F?RCaj S+_A
<p 本用例展示了......
. T6_N •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
&;NNUT>Q - 矩形光栅界面
J]=aI>Ow - 过渡点列表界面
l(krUv - 锯齿光栅界面
,z0~mN - 正弦光栅界面
UijuJ(Tle •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
QN2*]+/h ;i-D~Np| 光栅工具箱初始化 7N} \1Di5 •初始化
:N*q;j> - 开始
"EOk^1,y 光栅
m5'__< 通用光栅光路图
<M=W)2D7 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
)<}VP&:X 可直接选择特定的光路图。
=XRgT1>e tvj'{W
QRg"/62WCD Y>dg10= 光栅结构设置 %CsTB0Y7n, •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
N)
V7yo?
r0Y?X\l* •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
b]so9aCz •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
Ivt)Eg :nbW.B3GV
35@Ibe~ c~0VNuN •例如,选择第一个界面上的堆栈。
m|#(gX|F *xZQG9`kt 堆栈编辑器 <Hr@~<@~ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
{Gb)Et]< •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
1CS]~1Yp:
6>N u=~
e u=f-HW] E3.W#=o 矩形光栅界面 >ihe|WN UQji7K } •一种可能的界面是矩形光栅界面。
`MpC<sit •此类界面适用于简单二元结构的配置。
k. ?
T.9 •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
D)/XP •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
z5o9\.y({ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
(PT?h>|St ("P mB?20
L/ICFa.G n4r( Vg1GS 矩形光栅界面 whg4o|p •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
R=Ly49 •所选界面在视图中以红色突出显示。
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^kR^
QL$ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
E*T84Jh6 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
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L[AgCg
d8 BK/b •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
@SQ*/sw (c •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
GE3U0w6WbK •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
cwW~ *90# KxTYc
Ci#5@Q9#w \%4+mgiD
M3Z Jt' | ##+8GLQM 矩形光栅界面参数 }HQT@&= •矩形光栅界面由以下参数定义
G'}_ZUy# - 狭缝宽度(绝对或相对)
)i6U$,] - 光栅周期
>0;"qT - 调制深度
? Ge*~d •可以选择设置横向移位和旋转。
;Q,).@<C T I7Ty+s
y88}f&z#5 7!yF5+_d 高级选项和信息 Nxs%~wZ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
w-Q 6
- •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
Ef*.}gcU •可以设置总级次数或衰逝波级次数
uA}FuOE6 (evanescent orders)。
+sbacMfq •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
vheAh`u^& •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
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{o+B^^ Ug'nr
LAVt/TcZS| "s6_lhu=E7 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
u(G;57ms •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
jvKaxB;e •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
7u3b aM •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
Q@.9wEAJ {8p?we3l1
<.%8j\j(
! +VN 过渡点列表界面 X1z0'gvh •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
9M~$W-5 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
jxOVH+?l% •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
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?G^
Xol
*M!YQ<7G^d ^EBM;&;7 过渡点列表参数 {kO:HhUg •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
S@2Jj>3D? •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
iC0,zk4 & V'h z1roe
#w?%&,Kp A(sx5Ynp •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
5Fm?,^ •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
nk,Mo5iqV •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
n[S*gX0 nPX'E`ut-V
Tu#k+f*s f2e$BA 高级选项及信息 m<LzB_G\ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
gY^TBR0?m !Kqj&y5
GIl{wd
qvE[_1QCc 正弦光栅界面 w)SxwlW} •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
-ns a3P •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
U5%]nT"[] •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
n8D;6#P^ - 脊的材料:基板的材料
JM9Q]#'t - 凹槽材料:光栅前面的材料
6 FxndR; Vk=<,<BB
_IGa8=~ t7%Bv+Uo 正弦光栅界面参数 tD482Sb= - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
nE.s •光栅周期
R2f,a*> •调制深度
s"!}=kX - 可以选择设置横向移位和旋转。
|}Z"|-Z - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
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yAkN2 %Ne>'252y 高级选项和信息 I}3K,w/7mi •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
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EB<tX`Wp MNE)<vw> 高级选项及信息 62E(=l •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
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GgZf6~b1J 锯齿光栅界面 O3GaxM\x •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
KywT Oq •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
!t{!. •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
\K=PIcH - 脊的材料:基板的材料
U^S:2 - 凹槽材料:光栅前面的材料
c=E.- QCnVZ" !(
I#e*,#'S LM`#S/h 锯齿光栅界面参数 +& Qqu`)?F •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
1S@k=EKM - 光栅周期
\dbtdhT;Z - 调制深度
g
0=t9J •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
5mBk[{ •可以选择设置横向移位和旋转。
f
8U;T$) •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
'*.};t~;"d 1 .k}gl0<
P3>2=qK"E( +}'K6x_ 高级选项和信息 I9 aber1 •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
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Z)4P>{ 探测器位置的注释 qA[}\8}h 关于探测器位置的注释 -v&srd^ •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
}k~0R-m •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
pp _ddk •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
%%u4('= •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
Xb;`WE gC •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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