*ai~!TR 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
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R}yt5
; R+>}6 T&'Jc 本用例展示了......
<(jk}wa< •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
ck{S - 矩形光栅界面
v-z%3x.f - 过渡点列表界面
EN2t}rua - 锯齿光栅界面
Pjs=n7 - 正弦光栅界面
N=\zx^w, •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
D-BT`@~l 6U ! P8q 光栅工具箱初始化 r5~W/eE •初始化
[L+*pW+$\. - 开始
AE77i,Xa 光栅
^ 0YQlT98 通用光栅光路图
O"'xAPQW •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
l9f_NJHo 可直接选择特定的光路图。
H\QkU`b {nwoJ'-V
<8b1OdA zE/l 光栅结构设置 (-WRZLOQ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
Jo\MDyb]
1jd{AqHl •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
cZBXH*-M! •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
nv_v FK 8+[Vo_]
T9V=#+8#" I/njyV)H •例如,选择第一个界面上的堆栈。
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N 6r 6
^3RfF^W 堆栈编辑器 {d[Nc,AMb •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
^Ye(b7Gd •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
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~QbHp|g [<53_2]~ 矩形光栅界面 06]3+s{{ K2Abu? •一种可能的界面是矩形光栅界面。
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6Qsah •此类界面适用于简单二元结构的配置。
jM$bWtq2 •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
fc3 nQp7 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
OY{fxBb •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
nz?[ ,RR{Y-
HZAT_ u*@R`,Y
矩形光栅界面 +JtK VF •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
yDqwz[v b •所选界面在视图中以红色突出显示。
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P6GTgQ<'BA •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
"j_iq"J •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
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>;4q •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
u9f^wn •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
U6/7EOW, •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
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&+q *:H,-@
;9j ]P56 0;TiNrzg
eWDXV-xD Zeg'\&w0s 矩形光栅界面参数
Hy3J2p9. •矩形光栅界面由以下参数定义
W5Z-s.o - 狭缝宽度(绝对或相对)
*Vl#]81~ - 光栅周期
<}WSYK,zUY - 调制深度
my A;Y •可以选择设置横向移位和旋转。
f)_<Ih\/7_ $Xwk8<
S} UYkns* @;eH~3P 高级选项和信息 ?Vg~7Eu0 •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
c(=>5 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
[UXVL}tk •可以设置总级次数或衰逝波级次数
:Ob4WU (evanescent orders)。
6ZIPe~` •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
HjK8y@j •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
q+9^rQ ouCh2Y/_
^rfR<Q` .eIs$ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
y<6Sl6l* •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
<2]h$53y! •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
'|]}f }Go •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
9mHCms XcoX8R%U
]@9W19=P!P a&G{3#l 过渡点列表界面 `>\
~y1 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
=iW hK~S •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
^*l
dsc •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
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kKF=%J?X Kv*
1=HES 过渡点列表参数 \{<ml n •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
)*}\fmOv{ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
EC$F|T0f &]a(5
(QIU 3EN }BS
EK<W •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
e-`9-U%6 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
$DH/ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
Fw[1Aa# iyCH)MA
x(u.(:V BsXF'x<U* 高级选项及信息 \
&|xMw[ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
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] *w1 ;s,1/ kA
$xW9)) EUt2S_2P 正弦光栅界面 I*U7YqDC9 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
4;~xRg;u&* •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
NblPVxS •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
'exR;q\ - 脊的材料:基板的材料
JGq9RB]D$ - 凹槽材料:光栅前面的材料
g&/lyQ+G dKPXs-5
"d/54PKWx 1y[~xxgE 正弦光栅界面参数 x!I@cP#O - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
ZWyf.VJ •光栅周期
uq6>K/~D •调制深度
|7|'JTy - 可以选择设置横向移位和旋转。
kxe{HxM$Z - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
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XU"G Y_$!XIJ4 高级选项和信息 IH*G7; •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
g#{7qmM ~yN>9f U
g NE"z T^8`ji 高级选项及信息 }6u}?>S •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
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*@lVesC2 锯齿光栅界面 FFwu$S6e •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
;YokPiBy •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
}}Q h_( •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
@pvQci - 脊的材料:基板的材料
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e - 凹槽材料:光栅前面的材料
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