czIAx1R9 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
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"P#1= 8Yk*$RR9 本用例展示了......
.B<Bqr@?8 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
Dq~;h \=' - 矩形光栅界面
NjZ~b/ - 过渡点列表界面
NW5OLa")J< - 锯齿光栅界面
o$</At - 正弦光栅界面
?-:2f#bC •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
>Y8\f:KQ FHU6o910 光栅工具箱初始化 P~{8L.w!>W •初始化
gZ^Qt.6Z - 开始
(o IGp 光栅
V6P-?Nd 通用光栅光路图
^D+^~>f •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
:p}8#rb 可直接选择特定的光路图。
CR'%=N04^ w -o#=R_
\X&8EW T 'c39 光栅结构设置 wjl )yo$z •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
f0SrPc v
3E*m.jX •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
gep#o$P •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
hm73Zy -MS#YcsV
uEJ8Lmi B
}%2FUv •例如,选择第一个界面上的堆栈。
!Nx1I !5lV#w!vb 堆栈编辑器 YS^!'IyG/B •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
T8A(W •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
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w1"+HJd L_Gw:"-+Q 矩形光栅界面 0pMN@Cz6 Oq.ss!/z •一种可能的界面是矩形光栅界面。
[-$
Do •此类界面适用于简单二元结构的配置。
K{ar)_V/ •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
??p%_{QY~b •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
G~<UP(G •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
oV:oc, 0uDDaFS
ZEI,9`t! Ll|_Wd.K, 矩形光栅界面 q_.fVn:! •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
'?9zL* •所选界面在视图中以红色突出显示。
6`CRT TJ7
.^{%hc*w4 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
RA[j=RxK •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
#3qeRl
j-ej7 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
7tcadXk0 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
nf
/*n •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
G@H!D[wd 4=tR_s
iwJ_~ h )
Wp
4MS<t FH) [HQ)4xG 矩形光栅界面参数 3{3@>8{w •矩形光栅界面由以下参数定义
w95M
B*N - 狭缝宽度(绝对或相对)
}'x;J - 光栅周期
<PpvVDy3 - 调制深度
tz@MZs09 •可以选择设置横向移位和旋转。
)JS6W sFFQ]ST2p
R
p&J!hlA LQR2T5S/Q, 高级选项和信息 |GnTRahV. •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
SQ>i:D; •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
|Ghk8 WA •可以设置总级次数或衰逝波级次数
+Dy^4p?o (evanescent orders)。
1Nt
&+o •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
`}PYltW •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
u;_~{VJ- EraGG"+
I$7eiW @ R_PF*q2 ' •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
{.:$F3T •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
p
u(mHB •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
vamZKm~p •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
@z@%vr=vX x z_sejKB
xR1G +Y%6y]8 过渡点列表界面 glMHT, •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
$,4h\>1WP •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
TQ4@|S:OF •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
(9'^T.J
zU?O)w1' Vx_33";S\ 过渡点列表参数 @[n#-!i •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
UPh#YV 0/, •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
K!-OUm5A <gp?}Lk
VPUVPq~& 3"y 6|e/5 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
bHwEd%f •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
i5 rkP`)j •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
\/NF??k,jk T D_@0Rd
Q7s@,c!m_ js_`L#t 高级选项及信息 [oLV,O|s|j •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
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THYw_]K
@5%&wC vQMBJ& 正弦光栅界面 g$nS6w|5H •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
kWzN {]v •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
8%[pno
|0I •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
WK>F0xMs1 - 脊的材料:基板的材料
qLN\%}69/ - 凹槽材料:光栅前面的材料
=kd$??F qA)OkR'm
"`vRHeCKN Ke$_l]} 正弦光栅界面参数 m@4Dz| - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
Cx7-I0! •光栅周期
6}4})B2 •调制深度
QU).q65p - 可以选择设置横向移位和旋转。
4qQ,1&!]S - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
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:L[>!~YG_n {K,In)4 高级选项和信息 2xI|G
3U •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
OviS(}v4@ a{5SOe;;
%$!3Pbui 7{;it uqX 高级选项及信息 1vj/6L •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
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Ni,nQ;9 锯齿光栅界面 c`a( •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
R@vcS=m7 •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
%Sr+D{B •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
V`V\/s gj - 脊的材料:基板的材料
{Cx5m - 凹槽材料:光栅前面的材料
tdy2ZPVtTV M+/xw8}a
Cm}2 >eH
r* *zjv> 锯齿光栅界面参数 wKV4-uyr •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
NTg@UT< - 光栅周期
n<I{x^! - 调制深度
w:~*wv •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
-fR:W{u •可以选择设置横向移位和旋转。
ZO0 Ee1/ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
W yL+HB} tK#R`AQ
XX6Z|Y5. k+3qX'fd 高级选项和信息 O7K.\ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
A4K.,bZ
).k DY?s 探测器位置的注释 x(_[D08/TT 关于探测器位置的注释 jlEz]@
i •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
}f}. >B0# •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
je4l3Hl •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
.g*j]!_] •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
@f!X%)\;x •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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