M5gWD==uP 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
rj(T~d4 $Y69@s %f
yw];P
o, :VTTh
|E%# 本用例展示了......
lOtDqb& •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
*G*
k6.9W! - 矩形光栅界面
D$t k<{)oB - 过渡点列表界面
vZ.x{"n'~ - 锯齿光栅界面
phM>.y_ - 正弦光栅界面
ep)>X@t •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
,l<6GB2\ ~\ J}Kqg 光栅工具箱初始化 .l.a(_R •初始化
/~zai} - 开始
` @nl 光栅
;q*e=[_DF 通用光栅光路图
#B4%|v;`E? •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
=Xo
=Qcr 可直接选择特定的光路图。
O)[1x4U z CvKDlL
B)0i:"q 30SW\@ 光栅结构设置 4O35"1 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
V$ps>
BocSwf;v. •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
ouuuc9x] •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
Za1QC;7 6_FE 4RR[
2AMo:Jqv /pT=0= •例如,选择第一个界面上的堆栈。
Ymg|4%O@ 0N$v"uX@ 堆栈编辑器 dw*_(ys •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
!O<)\)|g •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
(L/_^!ZX h2XfC.f
"thdPZ ]"?)Z 矩形光栅界面 [k/@E+; S[J}UpV •一种可能的界面是矩形光栅界面。
JsODzw •此类界面适用于简单二元结构的配置。
c9&xe"v •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
tP$<UKtU •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
K1M%!JKh)x •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
`~By)?cT_> Zcx`SC-0
0"f\@8r( L6|oyf 矩形光栅界面 rR(X9i •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
$xPaYf •所选界面在视图中以红色突出显示。
oY H^_V
}khV'6"'| •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
5Ou`z5S\k •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
%5"9</a&G
DK:o]~n •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
Na]:_K5Dp •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
) QU •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
kY-N>E: ]1#e#M]#
D$I5z.a JehrDC2N
rWR}Stc@] >JFO@O5 矩形光栅界面参数 :LW4E9O=H •矩形光栅界面由以下参数定义
m8d!<
h - 狭缝宽度(绝对或相对)
B#Vz#y - 光栅周期
l~w2B>i) - 调制深度
f'EuY17w •可以选择设置横向移位和旋转。
#Y
a4ps_ CYY=R'1:G{
_x(o*v[Pt UCB/=k^m 高级选项和信息 Oi8.8M •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
'h|DO/X~L •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
128EPK •可以设置总级次数或衰逝波级次数
KBx6NU?;PO (evanescent orders)。
~j}cyHg •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
g| I6'K!< •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
[+n*~ JfLqtXF[&"
v$?+MNks mwHB(7YS, •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
jaII r06 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
PNgY>=Y •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
K*LlW@ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
:LF? DgId_\Ze
`yrB->|vG qr"3y 过渡点列表界面 ;g+N&)n •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
"O3tq=Q •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
Lo{
E:5q •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
+hg3I8q:
I_}SB| %Nlt H/I 过渡点列表参数 ^c"jH'#.L •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
[8 ]z|bM •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
xpV|\2C BC&S> #\
.o(fe\KHf wh$sn:J •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
X(
\AB •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
LM~[@_j •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
]!?;@$wx J=9FRC
e$<0
7Oc ^a0um/+M} 高级选项及信息 g:g\>@Umo •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
%(3|R@G. FtP0krO(
I| w"/"U n{n52][J] 正弦光栅界面 <'y?KiphL •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
8]M ;T>n[ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
aH)}/n •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
V#2+"(7h - 脊的材料:基板的材料
deBY5| - 凹槽材料:光栅前面的材料
,1~"eGl! n4;.W#\
=upeRY@u5 k9sh @ENy 正弦光栅界面参数 kJ'[K!r - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
'\l" •光栅周期
>*~L28Fyn •调制深度
SD"FErJ - 可以选择设置横向移位和旋转。
@Q)OGjaq - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
TV)h`\|Z* 132{#tG]
PS)4 I&;U \tf<B\oa 高级选项和信息 v|XTr,# •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
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%<\vGqsM $O&b`` 高级选项及信息 $Xv* ,Bq •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
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CKYc\<zR0l 锯齿光栅界面 {2O1"|s , •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
zGb|) A~, •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
MK%9:wZ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
RuLi,'u - 脊的材料:基板的材料
R/~p>apg8 - 凹槽材料:光栅前面的材料
f(>p=%=O [<lHCQXJ/
;5]Lf$tZ ,`'Qi%O 锯齿光栅界面参数 zJq~!#pZ •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
q }i]'7 - 光栅周期
tURu0`]( - 调制深度
l.67++_ •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
wT6"U$cV •可以选择设置横向移位和旋转。
h{)kQLuzT •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
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t|w_i-&b, Vh'P&W?[ 高级选项和信息 |B?cVc0 •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
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;,hwZZA 探测器位置的注释 F|'>NL-= 关于探测器位置的注释 ef8s<5"4 •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
%R}qg6dL •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
"M<8UE \n •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
P{8iJ`rBG •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
ui<N[ •可以避免这些干涉效应的不良影响。
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