+R3\cRM 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
bEoB;] 49iR8w?k
:<'i-Ur8 j;$6F/g 本用例展示了......
l{M;PaJ`} •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
2V#c[%vI - 矩形光栅界面
/&S~+~]n - 过渡点列表界面
PU,6h} - 锯齿光栅界面
GhSL%y - 正弦光栅界面
m~Kch~~] •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
!N@S^JD6 pCB
5wB 光栅工具箱初始化 ;PuyA •初始化
vB&F_"/X2 - 开始
*u:;:W&5y 光栅
J3]qg.B%z 通用光栅光路图
.(TQ5/
~ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
fxLE ]VJQ 可直接选择特定的光路图。
t~+{Hr) #y f.U0E6-(3N
XhHel|!g: Wto@u4 光栅结构设置 XvfcPI6 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
%J/fg<W1
N'lGA;}i •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
INN/VDsJ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
=UI,+P: -dc"N|.
'$2oSd X]3l| D •例如,选择第一个界面上的堆栈。
kuKnJWv c5T~0 'n 堆栈编辑器 <wd4^Vr!2 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
PsF- 9&_ •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
Ti9:'I
C{d8~6
-@gJqoo> %~~z9 6( 矩形光栅界面 !9e\O5PmO iECC@g@a •一种可能的界面是矩形光栅界面。
+[X.-,yW •此类界面适用于简单二元结构的配置。
!R] CmK •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
BCa90 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
34+)-\ xt: •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
m-Z'K_oQ WcZo+r
+[ZMrTW!0C Z,N7nMJf 矩形光栅界面 I9Edw] •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
[pRVZV •所选界面在视图中以红色突出显示。
3;t@KuQ66
(:j+[3Ht •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
Ul7pxzj •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
r+V(1<`2X
iaaH9X
% •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
eK=m0 2 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
Mi%1+ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
ki*79d"$ f/IRO33
L8?Z!0D/h ,,wyydG
0?&aV_:;X sa0^1$(< 矩形光栅界面参数 =A6u= •矩形光栅界面由以下参数定义
"$,}|T?Y` - 狭缝宽度(绝对或相对)
om*tdG - 光栅周期
KOAz-h@6 - 调制深度
"PDSqYA •可以选择设置横向移位和旋转。
)z4kP09 KH@) +Rj
]'
"^M &]"_pc/>m 高级选项和信息 qu#@F\gX •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
S#0|#Z5qD •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
LF-+5` •可以设置总级次数或衰逝波级次数
*"wD&E? (evanescent orders)。
}HA2ce\ •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
1,;qXMhK`; •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
v^lm8/}NO 9q0,K" x)
;hfG${l; hF=V
?\ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
JG+g88 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
<+i`W7 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
x"C93ft[ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
%.atWX`b A0N ;VYv
B"E (Y M Jk6/i;4| 过渡点列表界面 >`,#%MH# •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
HNHhMi`w •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
1rm$@L •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
enD C#
UgP=k){ BS<>gA
R;/ 过渡点列表参数 aY1#K6(y •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
-"JE-n •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
Vo9)KxR dE9aE# o
\8>N<B) fY+ .#V •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
J<P/w%i2 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
:#!F 7u •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
cX=b q_ /RULPd
PH
8-g$HXqs_# gu.))3D9 高级选项及信息 nrD=[kc!w •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
C`1\$U~% ~zOU/8n
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;uo|4?E:\( [r<
Y0|l,m 正弦光栅界面 xyJgHbml •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
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]gfF •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
1.OXkgh •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
);.<Yf{c - 脊的材料:基板的材料
S~5 =1b - 凹槽材料:光栅前面的材料
N@`9 ~JS LF,c-Cv!jL
~(doy@0M bA9dbe 正弦光栅界面参数 Ei(`gp - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
'~6CGqU* •光栅周期
>a]
s •调制深度
MS^hsUj} - 可以选择设置横向移位和旋转。
PT*@#:MA - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
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GISI8W^ ewlc ^` 高级选项和信息 BOcEL%+ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
2!& ;ZcT, `fE:5y
HQ#L
|LN JU`'?b 高级选项及信息 5suSR;8 •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
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gGz_t,= 锯齿光栅界面 #+Gs{i Xr •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
~CTRPH •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
w9?wy#YI •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
-kS5mR - 脊的材料:基板的材料
CMf~Yv - 凹槽材料:光栅前面的材料
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1>F$o )uJ`E8>-
C2%3+ 6B P%&RL 锯齿光栅界面参数 <5L` d} •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
@?NLME - 光栅周期
vb2O4%7tw - 调制深度
y,eoTmaI •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
jtC ob'n8 •可以选择设置横向移位和旋转。
t#Yh!L6> •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
Z19y5?uR fH{$LjH(
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~bU7.Cd Ppn ZlGQ6 高级选项和信息 ag4^y& •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
G`K7P`m
,=yIfbFQ 探测器位置的注释 JugQ +0 关于探测器位置的注释 (.t:sn"P •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
3Jit2W4 •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
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•但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
m#(x D~V •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
z@LP9+?dE •可以避免这些干涉效应的不良影响。
R5~m"bE
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