5\quh2Q_ 光栅结构广泛用于
光谱仪、近眼显示
系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。
I(~([F2 M8WjqTq
Fw&ImRMk SnFyK5 本用例展示了......
cF15Mm2 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
y{mt *VA4 - 矩形光栅界面
,byc!P - 过渡点列表界面
=A6*;T"W - 锯齿光栅界面
QHO n?e
- 正弦光栅界面
b_ZvI\H •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。
0 j!<eN= }~@/r5Zl 光栅工具箱初始化 ZUHW*U. •初始化
3\m! - 开始
$jh$nMx)! 光栅
Q.B)?w m 通用光栅光路图
;?HP/dZLz •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
|k6+-
1~_ 可直接选择特定的光路图。
Z]b;%:>= QoxYzln
SV t~pE+Y N:U}b1$L6 光栅结构设置 (k!7`<k!Y •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和
材料。
Jt]RU+TB
K]$PRg1|3 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。
k5-4^ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
xwD` R* #>aq'47j
kNWTM%u9 Gz{%Z$A~o •例如,选择第一个界面上的堆栈。
{ax]t-ZwJ5 f{VV U/$ 堆栈编辑器 lGYW[0dy •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。
}w4OCN\1
•VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
.\$A7DD+A /A0_#g:2*#
zl8M<z1`1 Nxt:U{`T' 矩形光栅界面 *D%w r'!> )@DDs(q=i •一种可能的界面是矩形光栅界面。
9oc_*V0< •此类界面适用于简单二元结构的配置。
L3\#ufytb •在此示例中,由银制成的光栅位于
玻璃基板上。
npzp/mcIe) •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。
1#3|PA#> •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。
')q4d0B`" \ejHM}w3,
QErdjjgE $`GlXiV 矩形光栅界面 jA9uB.I,"b •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。
O'98OH+u •所选界面在视图中以红色突出显示。
$Z)u04;&@
4#>Z.sf •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
eef&ZL6g •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
u_NLgM7*
lv/im/]v •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
k F^4kCJ@ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。
C)j/!+nh •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
!{+CzUo@ 6HBDs:
NUVKAAgMX ;8PO}{rD
^X{U7?x 0'6ai=W 矩形光栅界面参数 4F.,Y3 •矩形光栅界面由以下参数定义
+0U=UV)U - 狭缝宽度(绝对或相对)
o#6QwbU25 - 光栅周期
z<9C- - 调制深度
BNJ0D •可以选择设置横向移位和旋转。
{E%c%zzQ &o x
eZa7brC| o3+s.7 " 高级选项和信息 zx<PX •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
rkji#\_-FV •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。
;SI (5rS? •可以设置总级次数或衰逝波级次数
Nzgi)xX0HX (evanescent orders)。
<vWP_yy •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。
) ??N]V_U •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
O EaL2T n[e C
/UK?&+1qE +&)/dHbL`] •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。
P\K#q%8 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。
=&08s(A •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。
0IqGy}+VU •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。
(${:5W (N&i4O-I
&,<,!j)Jr ppn 8 过渡点列表界面 'cc8xC •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。
.gfi9J •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
uMva5o •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
d #1&"(
xdbzpU
aHu0z: 过渡点列表参数 MzUKp" •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
;b65s9n^b •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
'kj
q C uQH]
\(
V1-, Dks n •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。
UfPB-EFl$D •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
)t+pwh!8 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。
8D`+3 Wjq9f;
J \|~k2~ p5E
okh 高级选项及信息 ($`IHKF1.l •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。
lHM}
E$5 QyL]-zNg
7.VP7;jys M887 Q'HSi 正弦光栅界面 J?TCP% •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。
K_Y{50# •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。
*JX$5bZsI •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
`^{G`es - 脊的材料:基板的材料
VtzZ1/JE - 凹槽材料:光栅前面的材料
]t!v`TH >WZ%Pv*
'fK=;mM IWi0? V 正弦光栅界面参数 i_m&qy<v - 正弦光栅界面也由以下参数定义:
r6\g#} •光栅周期
R5QW4i9 •调制深度
xib}E[-l# - 可以选择设置横向移位和旋转。
!]s=9(O - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
mY"Dw^) Tx&H1
MHWc~@R 8*&-u +@% 高级选项和信息 ;DX{+Z[ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。
X~m57bj -SD:G]un
6[XaIco=C &u|t{C#0 高级选项及信息 :|k!hG •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。
}P%gwgPK U7fpaxc-
M6MxY\uM 锯齿光栅界面 V9<E`C •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
Z\C"/j<y •此界面允许配置闪耀结构的光栅。
0P$19TN •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
z|AknEE, - 脊的材料:基板的材料
_3wJ;cn. - 凹槽材料:光栅前面的材料
+1qvT_ "fNv(> -7s
_6.@^\; o|n;{zT" 锯齿光栅界面参数 Us "G X_ •锯齿光栅界面也由以下参数定义:
@.cord` - 光栅周期
~hk!N!J\ - 调制深度
( AA@sN •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。
9VaSCB •可以选择设置横向移位和旋转。
#|769=1 •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。
p({|=+bl :.H@tBi*E
r{yIF~k@ ]igCV 高级选项和信息 sdXchVC •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。
oIE(`l0l
`mAYK)N 探测器位置的注释 ~O./A-l 关于探测器位置的注释 8_>:0(y •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。
=#TQXm']Gi •如果光栅包含在复杂的
光学装置中,则必须这样做。
FhH*lO& •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
-$s1k~o •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估
软件)。
p(4Ek" •可以避免这些干涉效应的不良影响。
0=`aXb-
rf$[8d