2 !;4mij, 摘要 s3+O=5
Eq8OAuN
9>i6oF]Oq $k`8Zx w 在
VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
KFZ[gqW8YY xapkhIW2\ 建模任务 @zJI0_Bp =O;SXzgE
\OU+Kl< N6J$z\
P 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
4]B3C\
v ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
CD&m4^X5D ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
Vd?v"2S(9 /B!m|)h5~ 示例 EORRSP,$2 zJnVO$A'
P+b^;+\1s {;4PP463 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
4w
z
6% ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
DO\EB6xH>% ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
'u3+k. ─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
vv0zUvmT WvJ?e 关于z轴旋转的图示 =P#!>*\ar yQA[X}
=a!6EkX
* OV/FQH;V 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
) ,hj7 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
$McO'Bye{h - X_w& 指向(关于z轴旋转):0° _B1uE2j9 2wBU@T1
YW{V4yW 68c;Vb 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
^<VE5OM ziycyf.d 指向(关于z轴旋转): 30° +lT]s#Fif s4$m<"~
:'dc=C M([H\^\: 注意:方向角度的定义为:
I.u,f:Fl' ─ 关于界面坐标轴。
YgiGI
<U ─ 逆时针方向。
Z]S0AB.Z@ _cw^5 指向(关于z轴旋转): -90° "J5Pwvs- `fkrik
tlERis h<K;VpL6 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
JYr7;n'! Kk9 8FI0] 关于y轴旋转180°示例 "|'`'W VQ?H:1R
8~)[d!' y+scJ+< 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
0:Y`#0qK i`aG 关于y轴旋转180°(未选中) -NPkN%h c2\vG
/V<`L gyQ9Z} 注意:
4_%FSW8- 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
GQ0 (&I 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
G^ZkY ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
ePRM v ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
'D"K`Vw !;*2*WuO; 关于y轴旋转180(选中) D
Ok^ON
}PIB b
'HWgvmw( !(_xu{(DL 注意:
J8v:a`bX& 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2.
;v+uv f ZU.)K>' 例1和例2的附加信息 9T,QWk
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