wNmC1HOh 摘要 @7{.err!
s5)y%,E
f85~[3
J eDvh3Y<D 在
VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
)RQQhB z|\n^ZK= 建模任务 FW{K[km^P zU_dk'&,
Hlpt zez c6SXz%'k 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
[8K :ml ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
Q2F20b ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
6E.[F\u (*AJ6BQWa 示例 6;;2e> e U\M9sTqo
DhD##5a h.NCG96S 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
.}:*tvot ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
f>3)}9?xc} ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
|I{3~+E h ─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
$9:
@M. D|^N9lDaQ 关于z轴旋转的图示 ,LDL%<7t W_,7hvE?"H
~ H/ZiBL@ JVr8O`>T 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
c c/nzB 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
M }q;\} L!,@_ 指向(关于z轴旋转):0° b~@+6? OXn-!J90P
hTmJ
~m'J yB 'C9wEH 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
;'
H\s u7j,Vc'~ 指向(关于z轴旋转): 30° F/3L^k] }Z<Sca7
}w-M. G5 RdytK 注意:方向角度的定义为:
.?LRt ─ 关于界面坐标轴。
Q{an[9To~P ─ 逆时针方向。
GSd:Plc% W1Ye+vg/s 指向(关于z轴旋转): -90° B]Ec ZSyXzop
N">#fYix 8si{|*;hL 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
@u:` zQ<;3+* 关于y轴旋转180°示例 k8%@PC$ O f-xGoYZ
F^S]7{ .k
+>T*c{ 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
pS}IU{#; 1LAd5X 关于y轴旋转180°(未选中) oN%zpz;OR axq~56"7E
.GL@`7" &\b( 注意:
O'{kNr{u 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
#f/4%|t: 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
9)o@d`*
─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
)=MK&72r ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
rK`^A Q
w - z 关于y轴旋转180(选中) {9.UeVz
o4Cq /K
h.KgHMV` ;Krb/qr4_ 注意:
+
#E?) 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2.
a|.IAxJ l&:8 'k+%= 例1和例2的附加信息 5\w*W6y
^u1Nbo