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Lw>B:3e 内容简介 LDlYLsF9 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 P<]U 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]Ur/DRNS 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 W'./p"2g 5|H;%T3_ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 l~r;Grd/5 目录 $C[z]}iOi Preface 1 hi8q?4jE 内容简介 2 f8Hq&_Pn 目录 i cE\w6uBR1 1 引言 1 t<!m4Yd|# 2 光学薄膜基础 2 KdEvu? 2.1 一般规则 2 (!}N&!t 2.2 正交入射规则 3 cIU2 qFn[ 2.3 斜入射规则 6 g NI1W@) 2.4 精确计算 7 6<&A}pp 2.5 相干性 8 dSGdK
$ XA 2.6 参考文献 10 s%jBIeh 3 Essential Macleod的快速预览 10 '.Y,VJaL
4 Essential Macleod的特点 32 uN%Cc12 4.1 容量和局限性 33 lx`?n<-X 4.2 程序在哪里? 33 K"!rj.Da 4.3 数据文件 35 aq?bI:>8 4.4 设计规则 35 G@7^M} 4.5 材料数据库和资料库 37 7P{= Pv+ 4.5.1材料损失 38 Id=20og 4.5.1材料数据库和导入材料 39 b<u\THy# 4.5.2 材料库 41 g0,~|. 4.5.3导出材料数据 43 j7P49{ 4.6 常用单位 43 $JFjR@j 4.7 插值和外推法 46 <-`bWz=+ 4.8 材料数据的平滑 50 a
,mgM&yD 4.9 更多光学常数模型 54 KMhrw s{&B 4.10 文档的一般编辑规则 55 zdP?HJ=F 4.11 撤销和重做 56
qCI&H7u@ 4.12 设计文档 57 PF4[;ES' 4.10.1 公式 58 }u^bTR?3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 h[(YH ;Y 4.10.3 沉积密度 59 ]5'*^rz ^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 x.1=QF{! 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ?O25k!7 4.10.4 性能 61 A+/Lt>+AS 4.10.5 保存设计和性能 64 D4$b-?y 4.10.6 默认设计 64 (Q{JI~P 4.11 图表 64 >\JPX 4.11.1 合并曲线图 67 Rxy|Ag/I;V 4.11.2 自适应绘制 68 o#FctM'Z 4.11.3 动态绘图 68 B;bP~e>W 4.11.4 3D绘图 69 U#f* 4.12 导入和导出 73 lg|6~=aQ
4.12.1 剪贴板 73 i3 js'?7E 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 lr&2,p< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 XU'(^Y8Imz 4.13 背景 77 wG O-Z']i 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 dwn|1%D 4.15 生成Rugate 84 3n2^;b/ ] 4.16 参考文献 91 >D=X
Tgqqq 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +9HU&gQ3 5.1 Jobs 92 L'y0$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 P.(UbF d' 5.3 输入材料 94 za6 hyd^ 5.4 设计数据文件夹 95 )F9IzR-&m 5.5 默认设计 95 MKtI3vi? 6 细化和合成 97 8z93ETv7` 6.1 优化介绍 97 oX6Cd:c- 6.2 细化 (Refinement) 98 pll5m7[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 d^'_H>x 6.4 目标和评价函数 101 ?3DL .U{ 6.4.1 目标输入 102 J#d,? 6.4.2 目标 103 7:~3B-Tb 6.4.3 特殊的评价函数 104 ccv 6.5 层锁定和连接 104 o=VZ7] 6.6 细化技术 104 '(lsJY[-x 6.6.1 单纯形 105 hbXm Ist 6.6.1.1 单纯形参数 106 #cR5k@ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;zqxDl_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 c%<81Y= 6.6.3 模拟退火算法 109 Xk:x=4u& 6.6.3.1 模拟退火参数 109 d/NjY[` 5+ 6.6.4 共轭梯度 111 6@Q; LV+ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Ps!
\k%FUl 6.6.5 拟牛顿法 112 j\#)'>" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 319 4] 6.6.6 针合成 113 r0z8? 6.6.6.1 针合成参数 114 ]_ LAy 6.6.7 差分进化 114 89[/UxM) 6.6.8非局部细化 115 yJx,4be 6.6.8.1非局部细化参数 115 *4 m]UK 6.7 我应该使用哪种技术? 116 N#J8 4i;ry 6.7.1 细化 116 *`s*l+0b 6.7.2 合成 117 :CM2kh"Iu 6.8 参考文献 117 Z'AjeZyyE 7 导纳图及其他工具 118 6/a%%1c1 7.1 简介 118 c7rC !v
7.2 薄膜作为导纳的变换 118 TPJuS)TU9 7.2.1 四分之一波长规则 119 5G<`c 7.2.2 导纳图 120 iR4"I7J 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 MDpx@.A, 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 jp-(n z\ 7.5 斜入射导纳图 141 }m!T~XR</ 7.6 对称周期 141 $7-4pW$y 7.7 参考文献 142 eT F s9$ 8 典型的镀膜实例 143 $SLyI$<gP 8.1 单层抗反射薄膜 145 tjZS:@3
Z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 G$`hPNSh 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 2%l(qfN9 8.4 W-膜层 148
zll?/|% 8.5 V-膜层 149 V2Z^W^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 c:DV8'fT 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %)}_OXWf: 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 uL-$^], 8.9 四层抗反射薄膜 153 * se),CP!s 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 R<T5lkJ\/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 WAr6Dv,8 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 C-2#-{< 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 6%VRQ#g! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 e~G IUwJ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 f+Bv8 g 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 r^d:Po 8.17 1/4波长堆栈 162 ~\R+p~> 8.18 陷波滤波器 163 *xKY>E+ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 G*VcAJ[ 8.20 褶皱 165 )=h+5Z>E1 8.21 消偏振分光器1 169 e58tf3 8.22 消偏振分光器2 171 h>NuQo* 8.23 消偏振立体分光器 172 Jpe\ 8.24 消偏振截止滤光片 173 oFJx8XU 8.25 立体偏振分束器1 174 $8_b[~%2 8.26 立方偏振分束器2 177 p-8x>dmP( 8.27 相位延迟器 178 62OZj%CXN 8.28 红外截止器 179 Ut"F b 8.29 21层长波带通滤波器 180 }!vJ+ 8.30 49层长波带通滤波器 181 $T'lWD * 8.31 55层短波带通滤波器 182 _nW#Cl~ 8.32 47 红外截止器 183 ID=^497
8.33 宽带通滤波器 184 gDsb~>rb| 8.34 诱导透射滤波器 186 cr{f*U6` 8.35 诱导透射滤波器2 188 BG20R=p 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 \R#OJ=F 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 P_c9v/ 8.35 增益平坦滤波器 193 <yEd'Z 8.38 啁啾反射镜 1 196 lGN{1djT 8.39 啁啾反射镜2 198 SxRa?5 8.40 啁啾反射镜3 199 )mXu{uowr 8.41 带保护层的铝膜层 200 ]OA8H[U-eA 8.42 增加铝反射率膜 201 7NfA)$ 8.43 参考文献 202 K<w$ 9 多层膜 204 |NWo.j>4- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ^&8xfI6? 9.2 内部透过率 204 m:{IVvN_ 9.3 内部透射率数据 205 [,ns/*f3R 9.4 实例 206 $>PV6 9.5 实例2 210 1A\N$9Dls 9.6 圆锥和带宽计算 212 fnO>v/&B 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |`6*~ciUV 10 光学薄膜的颜色 216 Ut^ {4_EC 10.1 导言 216 9rhl2E 10.2 色彩 216 ;l=ZW 10.3 主波长和纯度 220 kEM|;&=_ 10.4 色相和纯度 221 0)-yLfTn 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 zH+a*R 10.6 色差 226 r(cd?sL96R 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 b$1W> 10.8 颜色渲染指数 234 rXu^]CK
*G 10.9 色差计算 235 qUtlh,4) 10.10 参考文献 236 Vq<\ixRi 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?T <2Cl'C 11.1 短脉冲 238 BO)Q$*G~JD 11.2 群速度 239 m'.y,@^B 11.3 群速度色散 241 J PK(S~ 11.4 啁啾(chirped) 245 iqPMCOPZ 11.5 光学薄膜—相变 245 &ywU^hBh 11.6 群延迟和延迟色散 246 f^?k?_~PN 11.7 色度色散 246 +&h<:/ V 11.8 色散补偿 249 o&"nF+, 11.9 空间光线偏移 256 8!(09gW'> 11.10 参考文献 258 -9z!fCu3 12 公差与误差 260 S
7 *LV; 12.1 蒙特卡罗模型 260 a"&Gs/QKSC 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 {:0TiOP5x 12.2.1 误差工具 267 +:?"P<' 12.2.2 灵敏度工具 271 V1Opp8 12.2.2.1 独立灵敏度 271 i j+)U` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?m>!P@
M 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ny{Yr>:2 12.3 参考文献 276 I8:A] 13 Runsheet 与Simulator 277 RO+N>Wkt 13.1 原理介绍 277 eQqx0+-0c 13.2 截止滤光片设计 277 $(8CU$gi= 14 光学常数提取 289 . + 14.1 介绍 289 (B:+md\Q 14.2 电介质薄膜 289 yO`HL'SMo 14.3 n 和k 的提取工具 295 (6#,
$Ze 14.4 基底的参数提取 302 7I`8r2H 14.5 金属的参数提取 306 5b5Hc Inu 14.6 不正确的模型 306 `}Z`aK 14.7 参考文献 311 lqoJ2JMy 15 反演工程 313 i~0x/wSl_ 15.1 随机性和系统性 313 FLzC kzJ:6 15.2 常见的系统性问题 314 #%$U-ti 15.3 单层膜 314 70BLd(? 15.4 多层膜 314 n3Q Rn^ 15.5 含义 319 o1zKns? 15.6 反演工程实例 319 ]Ll<Z 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 nkAS]sC 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Ufr,6IX 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ?6T\uzL +% 16.1 光学性质的热致偏移 329 kt;uB
X3 16.2 应力工具 335 rZSD)I 16.3 均匀性误差 339 %ot4$eY 16.3.1 圆锥工具 339 JRYCM}C] 16.3.2 波前问题 341 9H#;i]t & 16.4 参考文献 343 ]]^eIjg>a6 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 "F+m}GJ=a 17.1 引言 345 d,d ohi 17.2 操作数 345 2Mo oqJp 18 如何在Function中编写脚本 351 sm?V%NX& 18.1 简介 351 xg8$ <Ut 18.2 什么是脚本? 351 &b:SDl6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 D@
4sq^|2 18.4 基础 352 [.j&~\AG 18.4.1 Classes(类别) 352 _ ,~D]JYE 18.4.2 对象 352 r&_bk
Y% 18.4.3 信息(Messages) 352 L }L"BY3$ 18.4.4 属性 352 ')#!M\1,HQ 18.4.5 方法 353 F9PXQD( 18.4.6 变量声明 353 dlJc~| 18.5 创建对象 354 *mtS\J 18.5.1 创建对象函数 355 MlH0 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 {&,MkWgG 18.5.3 丢弃对象 356 DT#F?@LG( 18.5.4 总结 356 N,ysv/zq7 18.6 脚本中的表格 357 @b{I0+li"/ 18.6.1 方法1 357 Zv&<r+<g 18.6.2 方法2 357 }$X/HK 18.7 2D Plots in Scripts 358 w6&p4Jw/H? 18.8 3D Plots in Scripts 359 'D &[Y)f^ 18.9 注释 360
O3~7 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 `*-rz<G 18.11 一个更高级的脚本 362 =s/UF _JN 18.12 <esc>键 364 N SkIzaNY 18.13 包含文件 365 y1Op Z 18.14 脚本被优化调用 366 9AP." RV 18.15 脚本中的对话框 368 U#>K( 18.15.1 介绍 368 UR<a7j"@2 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Pe?=M[u2 18.15.3 输入框函数 370 wzf%~ats 18.15.4 自定义对话框 371 .{,fb 18.15.5 对话框编辑器 371 ZWXA%u7V 18.15.6 控制对话框 377 iOXsj 18.15.7 更高级的对话框 380 v4Mn@e_#c 18.16 Types语句 384 NnTAKd8 18.17 打开文件 385 A3eus 18.18 Bags 387 #fT<]j( 18.13 进一步研究 388 F~;UD<<"H 19 vStack 389 6BH
P#B2j 19.1 vStack基本原理 389 oxZXY]$y 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 HA`qU
19.3 五棱镜 393 G/4~_\YMq 19.4 光束距离 396 #M@Ki1 19.5 误差 399 N'n\_ x 19.6 二向分色棱镜 399 iTcq= 19.7 偏振泄漏 404 K'U8ft*_ 19.8 波前误差—相位 405 +[Bl@RHe^ 19.9 其它计算参数 405 8Os: SC@Q 20 报表生成器 406 &ieb6@RO`Q 20.1 入门 406 5fY7[{2 20.2 指令(Instructions) 406 9^g?/8 20.3 页面布局指令 406 d*R('0z{ 20.4 常见的参数图和三维图 407 <*[D30< 20.5 表格中的常见参数 408 V(wANvH 20.6 迭代指令 408 "Ta"5XW 20.7 报表模版 408 <_3OiU=w 20.8 开始设计一个报表模版 409 5ggsOqH 21 一个新的project 413 z$Z{ LR
21.1 创建一个新Job 414 [Z2mH 21.2 默认设计 415 9CPr/q9' 21.3 薄膜设计 416 RfQ*`^D 21.4 误差的灵敏度计算 420 ;!pSYcT, 21.5 显色指数计算 422 Btyp=wfN[ 21.6 电场分布 424 (-%1z_@Y 后记 426 OJT%?P%@{
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