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% "RJi? 内容简介 Xr*I`BJ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 K.tNV{OL 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fI.|QD*$b 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 hCxg6e<[ <T 2O^ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日
js$R^P 目录 0Tj,TF Preface 1 <o EAy 内容简介 2 LF|0lAr 目录 i 4,RPidv%O 1 引言 1 #~0Nk6*u 2 光学薄膜基础 2 A U~DbU0O 2.1 一般规则 2 mxNd 2.2 正交入射规则 3 n,I3\l9 2.3 斜入射规则 6 lyn%r 2.4 精确计算 7 1M ?BSH{ 2.5 相干性 8 {!,K[QwcI 2.6 参考文献 10 VKa+[ 3 Essential Macleod的快速预览 10 3(YvqPp& 4 Essential Macleod的特点 32 ?kjQ_K 4.1 容量和局限性 33 h nydH-;cz 4.2 程序在哪里? 33 ?sfqg gi 4.3 数据文件 35 :!gNOR6Lh 4.4 设计规则 35
(s8b?Ol/ 4.5 材料数据库和资料库 37 l9K`+c+t 4.5.1材料损失 38 mhbczVw 4.5.1材料数据库和导入材料 39 YQ0#j'}/ 4.5.2 材料库 41 5F kdGF 4.5.3导出材料数据 43 s$Vl">9# 4.6 常用单位 43 EJ:O 1 4.7 插值和外推法 46 R hWQ:l] 4.8 材料数据的平滑 50 9A|A@E# 4.9 更多光学常数模型 54 `_/bg(E 4.10 文档的一般编辑规则 55 NuZ2,<~9 4.11 撤销和重做 56 *'@Oo 4.12 设计文档 57 fA=Z):w 4.10.1 公式 58 <Iw{fj| 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 (/y8KG3 4.10.3 沉积密度 59 x $uhkP 4.10.4 平行和楔形介质 60 '-wmY?ZFxy 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ZTmy} @l 4.10.4 性能 61 Xhe& "rM 4.10.5 保存设计和性能 64 <J509j 4.10.6 默认设计 64 ;"dX]": 4.11 图表 64 '9\cIni0 4.11.1 合并曲线图 67 ^'3c%&Zf3 4.11.2 自适应绘制 68 ^O|fw?, 4.11.3 动态绘图 68 9r%fBiSk 4.11.4 3D绘图 69 OG$n C 4.12 导入和导出 73 ,Ckcc 4.12.1 剪贴板 73
PMjNc_)) 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 w>W #cTt 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 n%E,[JT 4.13 背景 77
ETZf 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ly[yn{ 4.15 生成Rugate 84 Yp\n=#$[ 4.16 参考文献 91 *p/,Z2f 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 gP_N|LuF" 5.1 Jobs 92 <4rnOQ: 5.2 创建一个新Job(工作) 93 W3:j Z: 5.3 输入材料 94 C?qRZB+W# 5.4 设计数据文件夹 95 ]V"P
&;m 5.5 默认设计 95 0%%1:W- 6 细化和合成 97 w/@ZPBRo] 6.1 优化介绍 97 IQ_6DF 6.2 细化 (Refinement) 98 `gSMb
UgF 6.3 合成 (Synthesis) 100 F
~A$7 6.4 目标和评价函数 101
f' A$':Y 6.4.1 目标输入 102 !*]i3 ,{7v 6.4.2 目标 103 t6Iy5)=zY 6.4.3 特殊的评价函数 104 =.`\V] 6.5 层锁定和连接 104 CL0lMZ 6.6 细化技术 104 ?%3dgQB' 6.6.1 单纯形 105 ?/|Xie 6.6.1.1 单纯形参数 106 M?l v 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 bPVk5G*ruP 6.6.2.1 Optimac参数 108 ~'M<S=W 6.6.3 模拟退火算法 109 aRTy=~ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 JrcbJt 6.6.4 共轭梯度 111 gC}}8( k 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 $RDlM 6.6.5 拟牛顿法 112 suE K;Bk9 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 >zJHvb)b\ 6.6.6 针合成 113 )N 3^r>(e< 6.6.6.1 针合成参数 114 oAO{4xP 6.6.7 差分进化 114 y[N0P0r l: 6.6.8非局部细化 115 Gz&} OO 6.6.8.1非局部细化参数 115 [8T{=+k 6.7 我应该使用哪种技术? 116 @)>Z+g 6.7.1 细化 116 N.*)-O
6.7.2 合成 117 b8d0]YS 6.8 参考文献 117 l"ms:v 7 导纳图及其他工具 118 <::lfPP 7.1 简介 118 mZ71_4X# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Q`F1t 7.2.1 四分之一波长规则 119 8"%Es 7.2.2 导纳图 120 ///Lg{ie 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 `cp\UH@
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 [9sEc 7.5 斜入射导纳图 141 n])#<0 7.6 对称周期 141 :k\#=u( 7.7 参考文献 142 "Z&.m..gc 8 典型的镀膜实例 143 <,CrE5Pl 8.1 单层抗反射薄膜 145 ||hQ*X<m> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 prZ
,4\ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 tWn
dAM(U7 8.4 W-膜层 148 T'p L&@,Q 8.5 V-膜层 149 s4bV0k 8.6 V-膜层高折射基底 150 qfsPX6] 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 u1meysa{0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 P<g(i 6] 8.9 四层抗反射薄膜 153 F85_Lz4 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 F! =l
r 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ^/BGOBK 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 9gg{i6 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 @1CXc"IgA 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 -,bnj^L 8.15十五层宽带抗反射膜 159 7^><Vh"qV 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 * zp tbZ 8.17 1/4波长堆栈 162 `XxnQng 8.18 陷波滤波器 163 t@!n?j
I 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 JmCMFqB9 8.20 褶皱 165 {R_>KE1 8.21 消偏振分光器1 169 m(8Tup| 8.22 消偏振分光器2 171 1Ms]\<^j 8.23 消偏振立体分光器 172 @HS*%N"* 8.24 消偏振截止滤光片 173 Uxjc&o 8.25 立体偏振分束器1 174 x3ZF6)@ 8.26 立方偏振分束器2 177 .D W>c}1 8.27 相位延迟器 178 LO=U?`)q 8.28 红外截止器 179 FMdu30JV 8.29 21层长波带通滤波器 180 BAQ-1kSz 8.30 49层长波带通滤波器 181 3y)\dln 8.31 55层短波带通滤波器 182 .I:rb~& 8.32 47 红外截止器 183 %mC@} 8.33 宽带通滤波器 184 &vrQ *jX 8.34 诱导透射滤波器 186 2|;|C8C 8.35 诱导透射滤波器2 188 ILm+o$o~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Vg'R=+Wb 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 LwB1~fF 8.35 增益平坦滤波器 193 iTHwH{! 8.38 啁啾反射镜 1 196 ~A>fB2.pM 8.39 啁啾反射镜2 198 necY/&Ld- 8.40 啁啾反射镜3 199 `/sNX<mp 8.41 带保护层的铝膜层 200 HJ&P[zV^ 8.42 增加铝反射率膜 201 i >3`V6 8.43 参考文献 202 -m@c{&r 9 多层膜 204 c~hH
7/v 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 FW-I|kK. 9.2 内部透过率 204 `N\ ^JAGW 9.3 内部透射率数据 205 P}4&J ^ 9.4 实例 206 |mtW) 9.5 实例2 210 | In{5Ek 9.6 圆锥和带宽计算 212 rDFrreQP 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 4AJ] qu 10 光学薄膜的颜色 216 `4*I1WZW 10.1 导言 216 SWrTM 10.2 色彩 216 rMwa6ZO'm; 10.3 主波长和纯度 220 ]q"&V\b 10.4 色相和纯度 221 =d8Rij- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 == wX.y\.n 10.6 色差 226 4vg3F( 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 *duG/?>P 10.8 颜色渲染指数 234 J2qsZ 10.9 色差计算 235 ndD>Oc}"3 10.10 参考文献 236 Hf('BagBL 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 hJM&rM7 11.1 短脉冲 238 5az%yS 11.2 群速度 239 q=t!COS 11.3 群速度色散 241 kQ>2W5o-d- 11.4 啁啾(chirped) 245
Nk9=A4=| 11.5 光学薄膜—相变 245 ;7\Fx8"s[ 11.6 群延迟和延迟色散 246 H?"M&mF 11.7 色度色散 246 {\5(aQ)Vi5 11.8 色散补偿 249 Lip#uuuXXN 11.9 空间光线偏移 256 "=a3"/u 11.10 参考文献 258 8;gi8Y 12 公差与误差 260 y11^q*} 12.1 蒙特卡罗模型 260 d>f;N+O% 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 oB 1Qw'J
w 12.2.1 误差工具 267 O: :FB.k 12.2.2 灵敏度工具 271 LtB5;ByeQ0 12.2.2.1 独立灵敏度 271 3uYLA4[-B 12.2.2.2 灵敏度分布 275 2BC!,e$Z 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 &6\&McmkX 12.3 参考文献 276 Lc~m`=B 13 Runsheet 与Simulator 277 W|2^yO,dX 13.1 原理介绍 277 CzV;{[?~; 13.2 截止滤光片设计 277 ) k/&,J3 14 光学常数提取 289 br=e+]C Y) 14.1 介绍 289 i6paNHi* 14.2 电介质薄膜 289 ]-t)wGr 14.3 n 和k 的提取工具 295 uUfw"*D 14.4 基底的参数提取 302 <~mqb=qA$ 14.5 金属的参数提取 306 %R$)bGT 14.6 不正确的模型 306 ()6%1zCO 14.7 参考文献 311 |&@q$d 15 反演工程 313 ^X&`YXjuN 15.1 随机性和系统性 313 b=Nsz$[ 15.2 常见的系统性问题 314 :Pq&l. 15.3 单层膜 314 DG;u_6;JR 15.4 多层膜 314 U,2OofLM 15.5 含义 319 w}1IP- 15.6 反演工程实例 319 mH,s!6j?Vp 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 v.W! 15.6.2 反演工程提取折射率 327 mywxV 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 9,fV 16.1 光学性质的热致偏移 329 =+X*$'<J 16.2 应力工具 335 7ZI{A*^vB 16.3 均匀性误差 339 HJr/N)d 16.3.1 圆锥工具 339 1tXc7NA< 16.3.2 波前问题 341 *{?2M6Z 16.4 参考文献 343 &3/`cl[+ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 [g}^{ $` 17.1 引言 345 oRd{?I&NY 17.2 操作数 345 NATi)A"TZ 18 如何在Function中编写脚本 351 o2(w 18.1 简介 351 No\#N/1@P 18.2 什么是脚本? 351 ]yKwH 9sl 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 L^e*_q2d:> 18.4 基础 352 s-*N_Dv 18.4.1 Classes(类别) 352 X:Y1g)|K 18.4.2 对象 352 U+VJiz<! 18.4.3 信息(Messages) 352 ,;6%s>Cvd( 18.4.4 属性 352 xFUD9TM
18.4.5 方法 353 S*}GW-)oA 18.4.6 变量声明 353 :C;fEJN 18.5 创建对象 354 hak#Iz0[C 18.5.1 创建对象函数 355 Db2#QQ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 T\wOGaCW 18.5.3 丢弃对象 356 _x5-!gK
18.5.4 总结 356 B#."cg4VR 18.6 脚本中的表格 357 (a!E3y5, 18.6.1 方法1 357 F@/syX;bb5 18.6.2 方法2 357 8;=?F>]xn 18.7 2D Plots in Scripts 358 &h[)nD 18.8 3D Plots in Scripts 359 Ew}GPJ 18.9 注释 360 |QzJHP @ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 3>(~5 18.11 一个更高级的脚本 362 -C^qN7Bz 18.12 <esc>键 364 b c
.Vy 18.13 包含文件 365 PvUY
Q>Kw 18.14 脚本被优化调用 366 R7Tl1!,h 18.15 脚本中的对话框 368 xG~-. 18.15.1 介绍 368 tc;$7F ; 18.15.2 消息框-MsgBox 368 yMNOjs'c { 18.15.3 输入框函数 370 M-Nn \h$, 18.15.4 自定义对话框 371 hW,GsJ, 18.15.5 对话框编辑器 371 3!;o\bgK 18.15.6 控制对话框 377 D622:Y886 18.15.7 更高级的对话框 380 s5 Fn("h]n 18.16 Types语句 384 R U[ 18.17 打开文件 385
K~L"A]+ 18.18 Bags 387 X pXhg*}K 18.13 进一步研究 388 jbOzbxR? 19 vStack 389 "z.!h(Eq 19.1 vStack基本原理 389 i\36 s$\ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 P\c0Q;){h" 19.3 五棱镜 393 !/&~Feb 19.4 光束距离 396 \@2sI 19.5 误差 399 Fo"'[` 19.6 二向分色棱镜 399 QL(}k)dB 19.7 偏振泄漏 404 :Z
]E:f0P 19.8 波前误差—相位 405 $AFiPH9 19.9 其它计算参数 405 9DXu*} 20 报表生成器 406 If9!S}
wa 20.1 入门 406 F7x< V=4{ 20.2 指令(Instructions) 406 S4O:?^28 20.3 页面布局指令 406 ZG)C#I1;O 20.4 常见的参数图和三维图 407 F0NNS!WP7^ 20.5 表格中的常见参数 408 Q~*3Z4)j 20.6 迭代指令 408 ,KibP_<%&P 20.7 报表模版 408 kLY9#p=X 20.8 开始设计一个报表模版 409 zGFW?|o< 21 一个新的project 413 Q;$/&Y* 21.1 创建一个新Job 414 gk6j5 $Y"< 21.2 默认设计 415 :kI
x?cc 21.3 薄膜设计 416 dR/UXzrc 21.4 误差的灵敏度计算 420 .yj=*N. 21.5 显色指数计算 422 H+2J.&Ch 21.6 电场分布 424 TAYt: 后记 426 &9] [~$
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