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VG#EdIiI 内容简介 Zw9FJ/Zn@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 1~`fVg 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @6sqMw} 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 rmm0/+jY hJ? O],4J 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 XS{Qnx_# 目录 ~2N"#b&J Preface 1 a:`E0}C 内容简介 2 ({)+3]x 目录 i 9uO 2Mm 1 引言 1 |O+H[;TB6 2 光学薄膜基础 2 su(1<S} 2.1 一般规则 2 >J?fl8 2.2 正交入射规则 3 EwT"uL*V; 2.3 斜入射规则 6 [Ek7b* 2.4 精确计算 7 QXFo1m 2.5 相干性 8 $G+@_' 2.6 参考文献 10 vF+7V*< 3 Essential Macleod的快速预览 10 ]Sz:|%JP1 4 Essential Macleod的特点 32 'ya{9EdlT 4.1 容量和局限性 33 lh7#t# 4.2 程序在哪里? 33 @ioJ]$o7 4.3 数据文件 35 g%I"U>!2 4.4 设计规则 35 $6 9&O 4.5 材料数据库和资料库 37 y9GoPC`z 4.5.1材料损失 38 9>/4W. 4.5.1材料数据库和导入材料 39 UHkMn 4.5.2 材料库 41 MrFQ5:= 4.5.3导出材料数据 43 }C?'BRX 4.6 常用单位 43 H@>` F 4.7 插值和外推法 46 P>D)7V9Hh 4.8 材料数据的平滑 50 =BAr .m+" 4.9 更多光学常数模型 54 AKfDXy 4.10 文档的一般编辑规则 55 v$v-2y'% 4.11 撤销和重做 56 HM1Fz\Sf 4.12 设计文档 57 b\!_cb~ "@ 4.10.1 公式 58 p)-^;=<B3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 k%#EEMh 4.10.3 沉积密度 59 + GN(Ug'R 4.10.4 平行和楔形介质 60 5Ln,{vsv 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 'GWN~5 4.10.4 性能 61 "+nRGEs6 4.10.5 保存设计和性能 64 Q"d^_z]K 4.10.6 默认设计 64 RSRS wkC 4.11 图表 64 #gN&lY:CFn 4.11.1 合并曲线图 67 ,w4(kcg%iQ 4.11.2 自适应绘制 68 T3<4B!UB& 4.11.3 动态绘图 68 |syR6(U} 4.11.4 3D绘图 69 vn8aFA 4.12 导入和导出 73 U'_Q>k 4.12.1 剪贴板 73
Pmx-8w 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 v!-pSa)3 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4F:\-O 4.13 背景 77 t!l&iVWs 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 `/+>a8 4.15 生成Rugate 84 };zFJ6I8 4.16 参考文献 91 G~a ZJ, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ;JT-kw6l5K 5.1 Jobs 92 u&vf+6=9Dd 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ,[KD,)3y 5.3 输入材料 94 9W5lSX#^; 5.4 设计数据文件夹 95 \V63qg[ 5.5 默认设计 95 K5h 6 细化和合成 97 FD
#8mg 6.1 优化介绍 97 ^{`exCwMx 6.2 细化 (Refinement) 98 >]TWXmx/w 6.3 合成 (Synthesis) 100 Sz`,X0a 6.4 目标和评价函数 101 |HQW0 6.4.1 目标输入 102 2F.;;Ab 6.4.2 目标 103 `U_)98 6.4.3 特殊的评价函数 104 Wn2NMXK 6.5 层锁定和连接 104 }($5k]]clP 6.6 细化技术 104 cuITY^6 6.6.1 单纯形 105 ED gag 6.6.1.1 单纯形参数 106 =UQ3HQD 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 FVKTbvYn 6.6.2.1 Optimac参数 108 bAqA1y3= 6.6.3 模拟退火算法 109 r l% 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Zu[su>\ 6.6.4 共轭梯度 111 </zEg3F\ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 \M^bD4';> 6.6.5 拟牛顿法 112 Lk8ek}o' 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 (L&d!$,Dv 6.6.6 针合成 113 @":
^)87 6.6.6.1 针合成参数 114 Wac&b 6.6.7 差分进化 114 %tGO?JMkd 6.6.8非局部细化 115 n_A3#d<9 6.6.8.1非局部细化参数 115 gwMNYMI 6.7 我应该使用哪种技术? 116 6H$FhJF 6.7.1 细化 116 S,UDezxg 6.7.2 合成 117 "!^"[mX4 6.8 参考文献 117 m:2^=l4 7 导纳图及其他工具 118 u6JM]kR 7.1 简介 118 U[MA)41 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &h/Xku&0 7.2.1 四分之一波长规则 119 wc4=VC"y 7.2.2 导纳图 120 PJH& 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 #\m<Sz5Gp# 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 #*Ctwl,T 7.5 斜入射导纳图 141 VTE .^EK! 7.6 对称周期 141 7!E,V:bt' 7.7 参考文献 142 n:!_ 8 典型的镀膜实例 143 {P_.~0pc* 8.1 单层抗反射薄膜 145 )SGq[B6@I 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 eSq.GtI 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 \4fQMG 8.4 W-膜层 148 9yP;@y*d 8.5 V-膜层 149 3!]rmZ-W 8.6 V-膜层高折射基底 150 $!t4r 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 '`Hr} 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ?Ir:g=RP* 8.9 四层抗反射薄膜 153 @q)d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 (sZ"iGn% 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 wibNQ`4k 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 SmO~,2= 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 J|7 3.&B 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 T>W,'H 8.15十五层宽带抗反射膜 159 S
f#
R0SA 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 abVmkdP_s 8.17 1/4波长堆栈 162 f/?P514h 8.18 陷波滤波器 163 Mo|2}nf 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ~P-mC@C 8.20 褶皱 165 'I;zJ`Trd 8.21 消偏振分光器1 169 pQB."[n 8.22 消偏振分光器2 171 /)O"l @ }U 8.23 消偏振立体分光器 172 9\(|
D# 8.24 消偏振截止滤光片 173 1'8YkhQ2a 8.25 立体偏振分束器1 174
[$UI8tV 8.26 立方偏振分束器2 177 fk-RV>yr 8.27 相位延迟器 178 JBZ@'8eqi] 8.28 红外截止器 179 d<Tc7vg4|U 8.29 21层长波带通滤波器 180 !&E-}}< 8.30 49层长波带通滤波器 181 jL}v9$ 8.31 55层短波带通滤波器 182 Y'X%Aw;` 8.32 47 红外截止器 183 j?QDR 8.33 宽带通滤波器 184 w0unS`\4 8.34 诱导透射滤波器 186 9Mcae31 8.35 诱导透射滤波器2 188 lyhiFkO
iH 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Wd
ELV3 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Tlr v={ 8.35 增益平坦滤波器 193 1o>xEWt:0K 8.38 啁啾反射镜 1 196 6Kz,{F@ 8.39 啁啾反射镜2 198 lp8v0e4 8.40 啁啾反射镜3 199 '|=;^Z7.K 8.41 带保护层的铝膜层 200 9lE_nc 8.42 增加铝反射率膜 201 %;!.n{X 8.43 参考文献 202 TA~{1_l 9 多层膜 204 FpU>^'2] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 DtnEi4h, 9.2 内部透过率 204 xgtR6E^k 9.3 内部透射率数据 205 8q7b_Pq1U 9.4 实例 206
!}$$: 9.5 实例2 210 sDV Q#}a 9.6 圆锥和带宽计算 212 |4`{]2C 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 g9F?z2^ 10 光学薄膜的颜色 216 7K:PdF>/ 10.1 导言 216 "kF g 10.2 色彩 216 P!k{u^$L 10.3 主波长和纯度 220 kcxAd 10.4 色相和纯度 221 }ad|g6i` 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 / XIhj 10.6 色差 226 SgOheN- 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 <a+Z;> 10.8 颜色渲染指数 234 Y<8vw
d 10.9 色差计算 235 :BTq!>s 10.10 参考文献 236 Z/J y'$x 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 rrv%~giU 11.1 短脉冲 238 {l>hMxij 11.2 群速度 239 E4xa[iZ 11.3 群速度色散 241 fikkY= 11.4 啁啾(chirped) 245 Du){rVY^d 11.5 光学薄膜—相变 245 /u+e0BHo 11.6 群延迟和延迟色散 246 1-QS~)+ 11.7 色度色散 246 nFs(?Rv* 11.8 色散补偿 249 g=o4Q<
#^y 11.9 空间光线偏移 256 ;9g2?-svw
11.10 参考文献 258 >F&47Yn 12 公差与误差 260 o _H`o&xr 12.1 蒙特卡罗模型 260 "
2Dngw 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 mj@13$= 12.2.1 误差工具 267 N}YkMJy 12.2.2 灵敏度工具 271 e?f IXk~b 12.2.2.1 独立灵敏度 271 0qT%!ku& 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ti&z1_u 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 lb1Xsgm{ 12.3 参考文献 276 Om {'1 13 Runsheet 与Simulator 277 C"enpc_C/ 13.1 原理介绍 277 8-6L|#J# 13.2 截止滤光片设计 277 {FTqu. 14 光学常数提取 289 \D&KC,i5f 14.1 介绍 289 B?o7e<l[ 14.2 电介质薄膜 289 L&OwPd 14.3 n 和k 的提取工具 295 \5cpFj5% 14.4 基底的参数提取 302 yR.Ong 14.5 金属的参数提取 306 [PKR2UEe] 14.6 不正确的模型 306 1@=po)Hnp 14.7 参考文献 311 4nz 35BLr 15 反演工程 313 uSBaDYg 15.1 随机性和系统性 313 tFl"n;~T 15.2 常见的系统性问题 314 sUm' 15.3 单层膜 314 &]-DqK7 15.4 多层膜 314 j1HW._G 15.5 含义 319 ?[>3QE 15.6 反演工程实例 319 kz7(Z'pw 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %;"y+YFdv 15.6.2 反演工程提取折射率 327 -s'-eQF J 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 d*Fj3Wkx 16.1 光学性质的热致偏移 329 pcI uN 16.2 应力工具 335 j$5LN.8J 16.3 均匀性误差 339 RY*U"G0#w 16.3.1 圆锥工具 339 7})[lL`\s 16.3.2 波前问题 341 eQvg7aO; 16.4 参考文献 343 5 + MS^H 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 dcWD(- 17.1 引言 345 ##4HYQ%E 17.2 操作数 345 !FF U=f 18 如何在Function中编写脚本 351 7i1q wRv 18.1 简介 351 t@+}8^M 18.2 什么是脚本? 351 $]2vvr 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 r-/`"j{O! 18.4 基础 352
^L&iR0 18.4.1 Classes(类别) 352 2T[9f;jM' 18.4.2 对象 352 t5IEQ2 18.4.3 信息(Messages) 352 SOvF[,+ 18.4.4 属性 352 4|#WFLo@ 18.4.5 方法 353 QnX(V[ 18.4.6 变量声明 353 i<g-+ Qs 18.5 创建对象 354 VTHH&$ZNq 18.5.1 创建对象函数 355 j^2j&Ta 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 IRqy%@) 18.5.3 丢弃对象 356 6Sn .I1Wy 18.5.4 总结 356 3|Xyl`i4o 18.6 脚本中的表格 357 DrK{}uM 18.6.1 方法1 357 ^\,E&=/}M 18.6.2 方法2 357 2Q:+_v 18.7 2D Plots in Scripts 358 -!]ZMi9 18.8 3D Plots in Scripts 359 l0i^uMS 18.9 注释 360 @>H75 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 F`]2O:[ 18.11 一个更高级的脚本 362 lBGQEP3; 18.12 <esc>键 364 t}/( b/VD 18.13 包含文件 365 q?/a~a 18.14 脚本被优化调用 366 gjzuG<7m 18.15 脚本中的对话框 368 r1RM
18.15.1 介绍 368
kX2rp?{ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 >Wg hn:^ 18.15.3 输入框函数 370 <dhM\^[ 18.15.4 自定义对话框 371 O463I.XAP 18.15.5 对话框编辑器 371 Jo23P.#< 18.15.6 控制对话框 377 ."y1_dDql 18.15.7 更高级的对话框 380 by/jYg)+ 18.16 Types语句 384 ZO c) 18.17 打开文件 385 !0mI;~q| F 18.18 Bags 387 L4y4RG/SJ: 18.13 进一步研究 388 u!qP 19 vStack 389 ))'<_nD 19.1 vStack基本原理 389 *,WU?tl& 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 /J6rv(( 19.3 五棱镜 393 #|PS&}6wU 19.4 光束距离 396 !f&g-V 19.5 误差 399 ^eYVWQ' 19.6 二向分色棱镜 399 k7A-J\ 19.7 偏振泄漏 404 P3 ^Y"Pv? 19.8 波前误差—相位 405 !ff&W1@ 19.9 其它计算参数 405 Czu\RXJR 20 报表生成器 406 [RTs[3E^ 20.1 入门 406 #],&>n7' 20.2 指令(Instructions) 406 Otm0(+YB7 20.3 页面布局指令 406
t[
C/
20.4 常见的参数图和三维图 407 9j:"J` ' 20.5 表格中的常见参数 408 x39<6_?G 20.6 迭代指令 408 HEc+;O1< 20.7 报表模版 408 9o:Lz5o 20.8 开始设计一个报表模版 409 HJYScwjQ;` 21 一个新的project 413 $,Yd>%Y 21.1 创建一个新Job 414 K?$^@N 21.2 默认设计 415 cY. bO/&l 21.3 薄膜设计 416 `(/w y 21.4 误差的灵敏度计算 420 OMg<V 21.5 显色指数计算 422 2Dj%,gaR 21.6 电场分布 424
yhA6i 后记 426 |R\>@Mg#B
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