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V8e>l[tH 内容简介 Eav[/cU Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 T!-\@PB ! 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 CHdX;'`* 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~9?cn Eou~P h*t 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Bt[/0>i 目录 Hj'x Atx5 Preface 1 :Gv1?M 内容简介 2 b[__1E9v' 目录 i O ~(pg 1 引言 1 cec9l65d 2 光学薄膜基础 2 eiuSvyY 2.1 一般规则 2 t![7uU.W 2.2 正交入射规则 3 tN[L@t9#cr 2.3 斜入射规则 6 "C?#SO
B 2.4 精确计算 7 !*/*8re 2.5 相干性 8 Xk:OL,c 2.6 参考文献 10 w _u\p a 3 Essential Macleod的快速预览 10 |$+3a 4 Essential Macleod的特点 32 TSA,WP\ 4.1 容量和局限性 33 LU+3{O5y 4.2 程序在哪里? 33 <i<J^-W 4.3 数据文件 35 2:*w~|6>}5 4.4 设计规则 35 5VRYO"D: 4.5 材料数据库和资料库 37 pEw"8U 4.5.1材料损失 38 -Btk 3 4.5.1材料数据库和导入材料 39 SEORSS 4.5.2 材料库 41 h}-3\8 > 4.5.3导出材料数据 43 +O'3|M 4.6 常用单位 43 FRcy`) 4.7 插值和外推法 46 K*\'.~[6 4.8 材料数据的平滑 50 yhlFFbU 4.9 更多光学常数模型 54 Gk967pC 4.10 文档的一般编辑规则 55 "-y-iJ 4.11 撤销和重做 56 Ulhk$CPA 4.12 设计文档 57 ~Xr=4V:a+ 4.10.1 公式 58 JgG$?n\ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 $v,dz_O*\ 4.10.3 沉积密度 59 &6DMk- 4.10.4 平行和楔形介质 60 hS_6 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 S(QpM.9* 4.10.4 性能 61 z,|r*\dw 4.10.5 保存设计和性能 64 BW-`t-,E; 4.10.6 默认设计 64 "BD~xP( 4.11 图表 64 UsgK 4.11.1 合并曲线图 67 })uGRvz 4.11.2 自适应绘制 68 ADZ};:] 4.11.3 动态绘图 68 Ok{*fa.PK 4.11.4 3D绘图 69 tzZ63@cm 4.12 导入和导出 73 m[i+knYX 4.12.1 剪贴板 73 2<li7c59 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 z+
s6)Ad 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 hZ[E7=NTQ^ 4.13 背景 77 Yaj0;Lo[wt 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 0fc/wfv< 4.15 生成Rugate 84
h1:aKm! 4.16 参考文献 91 U93}-){m 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |]QqXE-7 5.1 Jobs 92 $Vsk Ew"|M 5.2 创建一个新Job(工作) 93 -g)9R%>- 5.3 输入材料 94 $m7?3/YG 5.4 设计数据文件夹 95 :iFIQpk 5.5 默认设计 95 a-y+@#;2_ 6 细化和合成 97 dG@"!!, 6.1 优化介绍 97 L Y6;.d$J 6.2 细化 (Refinement) 98 BLN^ <X/ 6.3 合成 (Synthesis) 100 $4-$pL6" 6.4 目标和评价函数 101 0MV>"aV 6.4.1 目标输入 102 L{:9Cx!F 6.4.2 目标 103 ##KBifU" 6.4.3 特殊的评价函数 104 0 - ><q 6.5 层锁定和连接 104 Q=BZ N]g2 6.6 细化技术 104 G,TM-l_uw 6.6.1 单纯形 105 X_qf"|i 6.6.1.1 单纯形参数 106 GRMiQa 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ~n[d4qV& 6.6.2.1 Optimac参数 108 *eIJwXE 6.6.3 模拟退火算法 109 J~%K_~Li 6.6.3.1 模拟退火参数 109 K6y :mJYp\ 6.6.4 共轭梯度 111 V I,ACj 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ?aC'.jH+ 6.6.5 拟牛顿法 112 6`!Fv- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :*t"8;O[ 6.6.6 针合成 113 nM\eDNK 6.6.6.1 针合成参数 114 QF-LU
6.6.7 差分进化 114 1?)Xp|O 6.6.8非局部细化 115 $k0kk 6.6.8.1非局部细化参数 115 wx\v:A 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ~)qtply 6.7.1 细化 116 e`d%-9 6.7.2 合成 117 2LNRtW* 6.8 参考文献 117 .P.z B}0= 7 导纳图及其他工具 118 {D!6%`HKV+ 7.1 简介 118 eFBeJZuE| 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 \(VTt|}By$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 uMut=ja(U 7.2.2 导纳图 120 4VHqBQ4
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 76wc ,+ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 iS&l8@2a 7.5 斜入射导纳图 141 d cLA1sN, 7.6 对称周期 141 0E?jW7yr 7.7 参考文献 142 #
S}Z8 8 典型的镀膜实例 143 |X,|QC*7? 8.1 单层抗反射薄膜 145 ZeUvyIG 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 "8~:[G# 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 4&xZ]QC)O5 8.4 W-膜层 148 baJxU:Y=p 8.5 V-膜层 149 k=4N(i/s 8.6 V-膜层高折射基底 150 SF}<{x_ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 O:TlIJwW 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 |fxA|/s[< 8.9 四层抗反射薄膜 153 umF
Z?a 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ~ zil/P8 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 %YSpCI 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 /EibEd\ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 uHH/rMV 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \%/#x V 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ]Pry>N3G5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 XW -2~?$ 8.17 1/4波长堆栈 162 6An9S%:_ 8.18 陷波滤波器 163 UbEb&9} 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 bV edFm 8.20 褶皱 165 +E1I"); 8.21 消偏振分光器1 169 AjJURn0`,! 8.22 消偏振分光器2 171 -RO7
'm0 8.23 消偏振立体分光器 172 Vw#_68EybM 8.24 消偏振截止滤光片 173 N2oRJ,:B 8.25 立体偏振分束器1 174 1x@qkL6 8.26 立方偏振分束器2 177 >H(i^z/c
8.27 相位延迟器 178 Ubh{!Y 8.28 红外截止器 179 Q:|l`*.R 8.29 21层长波带通滤波器 180 tp6M=MC% 8.30 49层长波带通滤波器 181 #VB')^d<U 8.31 55层短波带通滤波器 182 '"<6.,Ae 8.32 47 红外截止器 183 %honO@$ 8.33 宽带通滤波器 184 0{[m%eSK' 8.34 诱导透射滤波器 186 Ypeiy`. 8.35 诱导透射滤波器2 188 @%tRhG 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 txZ?=8j_Y 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 PqyA1 8.35 增益平坦滤波器 193 u)ev{)$TM 8.38 啁啾反射镜 1 196 k% sO 0 8.39 啁啾反射镜2 198 ;<$H)`* 8.40 啁啾反射镜3 199 t6,wjN-J 8.41 带保护层的铝膜层 200 z
>YFyu#LF 8.42 增加铝反射率膜 201 a-"k/P# 8.43 参考文献 202 :Xn7Ha[f 9 多层膜 204 {/X4(;~0 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 j4>a( 9.2 内部透过率 204 qw7@(R'" 9.3 内部透射率数据 205 JCPUM*g8 9.4 实例 206 %&->%U|' 9.5 实例2 210 aM@z^<Ub 9.6 圆锥和带宽计算 212 ^ K7ic,{ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 {&P
FXJ 10 光学薄膜的颜色 216 wO:Sg=, 10.1 导言 216 a@@M+9Q 10.2 色彩 216 o]ag"Q 10.3 主波长和纯度 220 "]m+z)lWd 10.4 色相和纯度 221 -pU|hSW*b 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 n:0}utU4 10.6 色差 226 ?;wpd';c 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $`8Ar,Xz` 10.8 颜色渲染指数 234 9%iUG(DC 10.9 色差计算 235 ],ZzI 10.10 参考文献 236 A%Xt|=^_ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?E9D Xg 11.1 短脉冲 238 s-Aw<Q)d 11.2 群速度 239 \":?xh_H 11.3 群速度色散 241 ari7 iF~j 11.4 啁啾(chirped) 245 &n[~!%( 11.5 光学薄膜—相变 245 n4R2^gXAw 11.6 群延迟和延迟色散 246 b1gaj"] 11.7 色度色散 246 Z<#hS=eY 11.8 色散补偿 249 >Jw6l0z 11.9 空间光线偏移 256 Zes+/.sA}] 11.10 参考文献 258 kWlAY% 12 公差与误差 260 RQkyCAGx 12.1 蒙特卡罗模型 260 8K;Y2
# 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 t ?h kL 12.2.1 误差工具 267 IcrL 12.2.2 灵敏度工具 271 < AI;6/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 O<jPGU 12.2.2.2 灵敏度分布 275 H{?9CxYa 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ~"lJ'&J} 12.3 参考文献 276 h6%[q x< 13 Runsheet 与Simulator 277 BR v+.(S 13.1 原理介绍 277 ExSO|g]% 13.2 截止滤光片设计 277 >tG+?Y'{ 14 光学常数提取 289 R//$r%a 14.1 介绍 289 !)qQbk 14.2 电介质薄膜 289 ]WUC:6x 14.3 n 和k 的提取工具 295 :s-o0$PlJ 14.4 基底的参数提取 302 DY{cQb 14.5 金属的参数提取 306 nRb^<cZf 14.6 不正确的模型 306 wNNB;n`l 14.7 参考文献 311 Nwc!r( 15 反演工程 313 v)f7};"z 15.1 随机性和系统性 313 /ahNnCtu?1 15.2 常见的系统性问题 314 1|ZhPsD.}g 15.3 单层膜 314 3L_I[T$s 15.4 多层膜 314 Q}*y$se! 15.5 含义 319 C#i UP|7hh 15.6 反演工程实例 319 w?mEuXc 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 joa5|t!D9 15.6.2 反演工程提取折射率 327 dQgk.k 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 xMs]Hs 16.1 光学性质的热致偏移 329 J4tcQ 16.2 应力工具 335 L{ho*^b 16.3 均匀性误差 339 r]P, 9 16.3.1 圆锥工具 339 =q(GHg;' 16.3.2 波前问题 341 g,]@4| 16.4 参考文献 343 bm}6{28R 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4'Xgk8) 17.1 引言 345 s?3i)Ymr 17.2 操作数 345 2 ?|gnbE: 18 如何在Function中编写脚本 351 V&Mf:@y 18.1 简介 351 @!Hr|k| 18.2 什么是脚本? 351 b-@\R\T 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 P20|RvE 18.4 基础 352 ,>LRa 18.4.1 Classes(类别) 352 "Vd_CO 18.4.2 对象 352 K3mAXC,d 18.4.3 信息(Messages) 352 Zt@Z=r:& 18.4.4 属性 352 0nW F 18.4.5 方法 353 Ep ~wWQh 18.4.6 变量声明 353 =y%rG :! 18.5 创建对象 354 X6RQqen3: 18.5.1 创建对象函数 355 zz_[S{v!# 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 fT
Y/4( 18.5.3 丢弃对象 356 6'OO-o 18.5.4 总结 356 59rY[&| 18.6 脚本中的表格 357 pKJK9@Ad 18.6.1 方法1 357 X1A<$Am1 18.6.2 方法2 357 *(GZ^QH. 18.7 2D Plots in Scripts 358 7\/5r. 18.8 3D Plots in Scripts 359 Zv qn%K], 18.9 注释 360 beZ(o?uK 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 |G=[5e^s[ 18.11 一个更高级的脚本 362 BH@b1} 18.12 <esc>键 364 PI|`vC|yy& 18.13 包含文件 365 6ri#Lw 18.14 脚本被优化调用 366 h3Fo-]0 18.15 脚本中的对话框 368 TYjA:d9YH 18.15.1 介绍 368 S7n"3.k 18.15.2 消息框-MsgBox 368 SFjU0*B$ 18.15.3 输入框函数 370 Y?Vz(udD
18.15.4 自定义对话框 371 FUeq
\Wuo 18.15.5 对话框编辑器 371 3@5p"X 18.15.6 控制对话框 377 ilEi")b= 18.15.7 更高级的对话框 380 `1p 8C% 18.16 Types语句 384 FWPW/oC 18.17 打开文件 385 tLX,+P2| 18.18 Bags 387 Q
e1oT) 18.13 进一步研究 388 "S(X[Y' 19 vStack 389 o;J;*~g 19.1 vStack基本原理 389 X<MpN5%|Wo 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 -S; &Q'Mt 19.3 五棱镜 393 EIX\O6* 19.4 光束距离 396 Li`hdrO'ii 19.5 误差 399 &v#`t~ 19.6 二向分色棱镜 399 17py).\ 19.7 偏振泄漏 404 pZ+j[! 19.8 波前误差—相位 405 }.%s
xw 19.9 其它计算参数 405 /jrY%C 20 报表生成器 406 hWGZd~L 20.1 入门 406 {-*\w-~G 20.2 指令(Instructions) 406 qw:9zYG}qW 20.3 页面布局指令 406 W7!.#b(hU 20.4 常见的参数图和三维图 407 G8NRj9k? 20.5 表格中的常见参数 408 fuSq ={] 20.6 迭代指令 408 ~8Sqa%F> 20.7 报表模版 408 3@X7YgILU 20.8 开始设计一个报表模版 409 [V< 1_zqt 21 一个新的project 413 1
Nk1MGV 21.1 创建一个新Job 414 G.VYp6)5 21.2 默认设计 415 c2b6B.4 21.3 薄膜设计 416 &|z544 21.4 误差的灵敏度计算 420 J%r7<y\ 21.5 显色指数计算 422 xw%)rm<t 21.6 电场分布 424 +rQg7a} 后记 426 u
2lXd'
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