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Jy$-) 内容简介 #=m5*}= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 r|8..Ll 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ;pq4El_ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 8a1{x(\z. [c~zO+x 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 35et+9 目录 <L0_<T Preface 1 SM?<woY=* 内容简介 2 Jr
zU-g 目录 i "
8v 1 引言 1 J3v uh# 2 光学薄膜基础 2 NU"X*g-x^ 2.1 一般规则 2 dXQWT@$y!E 2.2 正交入射规则 3 H6QQ<~_& 2.3 斜入射规则 6 oizoKwp% 2.4 精确计算 7 w}?\Q, 2.5 相干性 8 |/ Z4lcI 2.6 参考文献 10 E.brQx#} 3 Essential Macleod的快速预览 10 ygG9ht 4 Essential Macleod的特点 32 4}`MV . 4.1 容量和局限性 33 ) Lv{ 4.2 程序在哪里? 33 UlR7_ 4.3 数据文件 35 (;0]V+- 4.4 设计规则 35 8cl!8gfv 4.5 材料数据库和资料库 37 pw
.(6" 4.5.1材料损失 38 W%x#ps5% 4.5.1材料数据库和导入材料 39 p*G_$"KpP 4.5.2 材料库 41 ]b)(=-;> 4.5.3导出材料数据 43 ? IWS 4.6 常用单位 43 pVM;xxJ 4.7 插值和外推法 46 L'(^[vR( 4.8 材料数据的平滑 50 Oi RqqD 4.9 更多光学常数模型 54 Fwtwf{9I 4.10 文档的一般编辑规则 55 ,wjL3c 4.11 撤销和重做 56 mvnK)R_ 4.12 设计文档 57 b`'
;`*AN+ 4.10.1 公式 58 Fc
Cxr@ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 uxBk7E%6 4.10.3 沉积密度 59 e3.TGv7= 4.10.4 平行和楔形介质 60 D UeT 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ZsE8eD 4.10.4 性能 61 ?k-IS5G 4.10.5 保存设计和性能 64 gNJ\*]SY 4.10.6 默认设计 64 QLn5:& 4.11 图表 64 -HOCxR 4.11.1 合并曲线图 67 se-}d.PwL 4.11.2 自适应绘制 68 NGxuwHIQ8 4.11.3 动态绘图 68 3!I8J:GZ: 4.11.4 3D绘图 69 *|'k 4.12 导入和导出 73 tSjK=1"} 4.12.1 剪贴板 73 | e+m!G1G 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 }v?{npEOt+ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 5:6mptn> 4.13 背景 77 a2z o_h2R 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 QH;aJ(>$ 4.15 生成Rugate 84 VYO O8MQI 4.16 参考文献 91 V6c?aZ,O 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 }w$/x<Q[ 5.1 Jobs 92 DwI)?a_+ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 drH!?0Dpg 5.3 输入材料 94 1BF+sT3 5.4 设计数据文件夹 95 DZvpt%q 5.5 默认设计 95 Jv5G:M5+~ 6 细化和合成 97 t]V)3Ww 6.1 优化介绍 97 7Sokn?~i 6.2 细化 (Refinement) 98 $>+-=XMVB 6.3 合成 (Synthesis) 100 W[b/.u5z: 6.4 目标和评价函数 101 &{8 "-
dw 6.4.1 目标输入 102 E:7vm@+ 6.4.2 目标 103 ]HRE-g 6.4.3 特殊的评价函数 104 0]T
;{ 6.5 层锁定和连接 104 R,(^fM 6.6 细化技术 104 dK=BH=S2?X 6.6.1 单纯形 105 ?C_%"!GR 6.6.1.1 单纯形参数 106 SU*P@?:/} 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ,5q^/h 6.6.2.1 Optimac参数 108 bf3)^ 49} 6.6.3 模拟退火算法 109 8F%TZM 6.6.3.1 模拟退火参数 109 &c A?|(7- 6.6.4 共轭梯度 111 WvR}c 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9"/{gf3D 6.6.5 拟牛顿法 112 :QN,T3i'/3 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 /wmJMX 6.6.6 针合成 113 7"M7N^ 6.6.6.1 针合成参数 114 7FWf,IjcGY 6.6.7 差分进化 114 BWd?a6nU} 6.6.8非局部细化 115 I@.qon2V 6.6.8.1非局部细化参数 115 8z@A/$T 6.7 我应该使用哪种技术? 116 e{"d6pF= 6.7.1 细化 116 6~^+</? 6.7.2 合成 117 Yd]f}5F 6.8 参考文献 117 L&l>?"_ 7 导纳图及其他工具 118 lVMAab 7.1 简介 118 MEg|AhP 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 X]`\NNx 7.2.1 四分之一波长规则 119 rBpr1XKl, 7.2.2 导纳图 120 ?
[=P 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ofS9h*wrJ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |]Ockg[ 7.5 斜入射导纳图 141 aX0sy\Z]j 7.6 对称周期 141 _oR6^#5# 7.7 参考文献 142 _w)0r}{ 8 典型的镀膜实例 143 (RGl, x: 8.1 单层抗反射薄膜 145 brZ3T`p+.P 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 <OpiD%Ctx 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 hd+JKh!u 8.4 W-膜层 148 k~Gjfo 8.5 V-膜层 149 gJ2R(YMF 8.6 V-膜层高折射基底 150 #~(@Ka.eA0 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 5C/u`{4]Hg 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 i;yz%Ug 8.9 四层抗反射薄膜 153 !1|f,9C 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 yl|+D] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 bvZmozbD 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 t,+p!"MRY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 u{8Wu; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 %Sj;:LC 8.15十五层宽带抗反射膜 159 !SVW}Q=5# 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ZN^9w"A 8.17 1/4波长堆栈 162 'v4AM@%u 8.18 陷波滤波器 163 {d=y9Jb^ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 U edh4qa 8.20 褶皱 165 uI.4zbgl[ 8.21 消偏振分光器1 169 2N `Vx3 8.22 消偏振分光器2 171 gn7pIoN 8.23 消偏振立体分光器 172 O=ci"2!\- 8.24 消偏振截止滤光片 173 S tn[M| 8.25 立体偏振分束器1 174 V.;0F%zks5 8.26 立方偏振分束器2 177 M,|o 2' 8.27 相位延迟器 178 /ZX8gR5x 8.28 红外截止器 179 JWM/np6 8.29 21层长波带通滤波器 180 :y0'[LV 8.30 49层长波带通滤波器 181 :x= ZvAvo 8.31 55层短波带通滤波器 182 bSBI[S
8.32 47 红外截止器 183 %kKtPrT 8.33 宽带通滤波器 184 <#sB ; 8.34 诱导透射滤波器 186 Nqz-Mr` 8.35 诱导透射滤波器2 188 !dGy"-i$h 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ">NBPanJ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 dc"Vc 3) 8.35 增益平坦滤波器 193 0G;RMR ':5 8.38 啁啾反射镜 1 196 Yr!<O&= 8.39 啁啾反射镜2 198 o"K{^ L~u 8.40 啁啾反射镜3 199 Kq{9:G 8.41 带保护层的铝膜层 200 cYW F)WAog 8.42 增加铝反射率膜 201 yP~D." 8.43 参考文献 202 dEns|r 9 多层膜 204 <"aPoGda 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 a!4'}gHR 9.2 内部透过率 204 ;\(wJ{u?Y 9.3 内部透射率数据 205 t~gnai 9.4 实例 206 no^I 245
jats)!: 11.5 光学薄膜—相变 245 315Rk!{AJ 11.6 群延迟和延迟色散 246 8iR%?5 >K 11.7 色度色散 246 p7Gs 11.8 色散补偿 249 zT`LPs6T 11.9 空间光线偏移 256 ZOyq{w!2 11.10 参考文献 258 m?>$!B4jFB 12 公差与误差 260 Ga"$_DyM 12.1 蒙特卡罗模型 260 Of SYOL7o 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 "PLZZL$+ 12.2.1 误差工具 267 mvlK~c8 12.2.2 灵敏度工具 271 q?e97 a 12.2.2.1 独立灵敏度 271 9^3y\@ m 12.2.2.2 灵敏度分布 275 qbFzA
i 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 C/tn0 12.3 参考文献 276 \{P(s: 13 Runsheet 与Simulator 277 )9l5gZX'I 13.1 原理介绍 277 sGc4^Z%l? 13.2 截止滤光片设计 277 j^ex5A.&
& 14 光学常数提取 289 /0\m;& 14.1 介绍 289 5<Xq7|Jt 14.2 电介质薄膜 289 [D^KM|I%+ 14.3 n 和k 的提取工具 295 WdnCRFO?l 14.4 基底的参数提取 302 #=q)>+\ 14.5 金属的参数提取 306 $:t;WXc.< 14.6 不正确的模型 306 V2V^*9(wu@ 14.7 参考文献 311 Zii<jZ.)< 15 反演工程 313 |*e
>hk 15.1 随机性和系统性 313 Y*dzoN.sW 15.2 常见的系统性问题 314 RiIJ#:6+^I 15.3 单层膜 314 W,}HQ 15.4 多层膜 314 YJ_LD6PL9 15.5 含义 319 :(!il? 15.6 反演工程实例 319 5kofO 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 e{>X2UNW 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ~NMal]Fwx 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 LTm2B_+ 16.1 光学性质的热致偏移 329 `/Zi=.rr 16.2 应力工具 335 i
o 3qG6 16.3 均匀性误差 339 ]o6Or,ml 16.3.1 圆锥工具 339 >s1'I:8 16.3.2 波前问题 341 |l
03,dOF 16.4 参考文献 343 CY<,p$ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 wh<+.Zp 17.1 引言 345 u0Fu_Rtr 17.2 操作数 345 oL2|@WNj, 18 如何在Function中编写脚本 351 kz@@/DD/9 18.1 简介 351 ZYos.ay 18.2 什么是脚本? 351 ^EPM~cEY\ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 I?.$ 18.4 基础 352 AL>*Vj2h/n 18.4.1 Classes(类别) 352 $RuJm\f 18.4.2 对象 352 O\,n;oj 18.4.3 信息(Messages) 352 _O
Tqm5_ 18.4.4 属性 352 5P,{h 18.4.5 方法 353 D ?1$I0 = 18.4.6 变量声明 353 Q
*![u5# 18.5 创建对象 354 \`Db|D?oy 18.5.1 创建对象函数 355 7q<I7Wt 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 }:5AB93( 18.5.3 丢弃对象 356 I!%T!B540 18.5.4 总结 356 !=;^Grv> 18.6 脚本中的表格 357 )Fe-C 18.6.1 方法1 357 ]s?BwLU6 18.6.2 方法2 357 hw:zak#j, 18.7 2D Plots in Scripts 358 D0Oh,Fe#M\ 18.8 3D Plots in Scripts 359 BSY2\AL p 18.9 注释 360 6] <~0{ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 5P9hm[ 18.11 一个更高级的脚本 362 0(iTnzx0 18.12 <esc>键 364 oe}nrkmb 18.13 包含文件 365 J@54B 18.14 脚本被优化调用 366 Jtnuo]{R 18.15 脚本中的对话框 368 w4H3($
K 18.15.1 介绍 368 y TfAS. 18.15.2 消息框-MsgBox 368 M;V
(Tf 18.15.3 输入框函数 370 (Hb
i+IHV 18.15.4 自定义对话框 371 Yv\.QrxPm 18.15.5 对话框编辑器 371 ~'2)E/IeV 18.15.6 控制对话框 377 ,R5NKWo 18.15.7 更高级的对话框 380 *
xdS< 18.16 Types语句 384 rl qn39 18.17 打开文件 385 L:"i,K#P 18.18 Bags 387 qcEiJ}- 18.13 进一步研究 388 PsU.dv[ 19 vStack 389 -g(&5._,ZW 19.1 vStack基本原理 389 <*E{zr& 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 n*(Vf'k 19.3 五棱镜 393 L!x7]g,^ 19.4 光束距离 396 9!zUv:; 19.5 误差 399 #80DM 19.6 二向分色棱镜 399 q$`{$RX 19.7 偏振泄漏 404 O'{UAb+- 19.8 波前误差—相位 405 /PH+K24v~ 19.9 其它计算参数 405 i% 19|an 20 报表生成器 406 <GC<uB |p 20.1 入门 406 +QT(~< 20.2 指令(Instructions) 406 C2NJrg4( 20.3 页面布局指令 406 ^UHt1[ 20.4 常见的参数图和三维图 407 u;18s-NY 20.5 表格中的常见参数 408 *xR;}%s\ 20.6 迭代指令 408 o6,$;-?F_ 20.7 报表模版 408 ye=*m 20.8 开始设计一个报表模版 409 r\Nf309~ 21 一个新的project 413 t-*oVX3D 21.1 创建一个新Job 414 Oaf!\z} 21.2 默认设计 415 zc>/1>?M 21.3 薄膜设计 416 e@"1W 21.4 误差的灵敏度计算 420 s1.YH?A; 21.5 显色指数计算 422 0i/l2&x*k] 21.6 电场分布 424 ]CsF} wr'z 后记 426 WW82=2rJ9
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