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d m%8K6| 内容简介 ;t`&n['N> Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 IIx#2r 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 y:l\$pGC% 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 jWfa;&Ra geCM<] 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 l1Fc>:o{ 目录 .#pU=v#/[ Preface 1 k|d+#u[Mj@ 内容简介 2 hY8reQp1 目录 i SasJic2M 1 引言 1 }RqK84K 2 光学薄膜基础 2 .kfIi^z 2.1 一般规则 2 _:27]K: 2.2 正交入射规则 3 h 9W^[6 2.3 斜入射规则 6 7D5]G-}x. 2.4 精确计算 7 P7~ >mm+ 2.5 相干性 8 #>+ HlT 2.6 参考文献 10 b|W=pSTY 3 Essential Macleod的快速预览 10 `PH{syz 4 Essential Macleod的特点 32 pyvSwD5t 4.1 容量和局限性 33 icK/], 4.2 程序在哪里? 33 Th%Sjgsn 4.3 数据文件 35 \)|hogI|f 4.4 设计规则 35 P";'jVcR 4.5 材料数据库和资料库 37 U/NoP4~{ 4.5.1材料损失 38 J7p),[>I< 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ^gnZ+`3 4.5.2 材料库 41 V~5jfcd 4.5.3导出材料数据 43 JaGtsi9%. 4.6 常用单位 43 G'A R`"F 4.7 插值和外推法 46 wAW5
Z0D 4.8 材料数据的平滑 50 @MCg%Afw 4.9 更多光学常数模型 54 D}X\Ca"h 4.10 文档的一般编辑规则 55 n6a`;0f[R 4.11 撤销和重做 56 D>tR- 4.12 设计文档 57 Jg|XH
L) 4.10.1 公式 58 0:Ol7 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 [HZv8HU| 4.10.3 沉积密度 59 .0]<k,JZZ 4.10.4 平行和楔形介质 60 Z?m3~L9L2 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 6 ~w@PRy 4.10.4 性能 61 WI-1)1t 4.10.5 保存设计和性能 64 %8~NqS|= 4.10.6 默认设计 64 "1M[5\Ax 4.11 图表 64 rh}J3S5vp 4.11.1 合并曲线图 67 ^ (zYzd 4.11.2 自适应绘制 68 9mTJ|sN:e 4.11.3 动态绘图 68 |8tilOqI 4.11.4 3D绘图 69 D!IY&H,wo 4.12 导入和导出 73 SNI)9k(T{ 4.12.1 剪贴板 73 E09:E 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 fmDCP kj 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 X_\otVh(D 4.13 背景 77
7E~;xn; 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 N5b!.B x-w 4.15 生成Rugate 84 OYTkV}tG 4.16 参考文献 91 )|=j`jCC 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 &FN.:_E 5.1 Jobs 92 j HJ`,# 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Qn)a/w- 5.3 输入材料 94 'AS|ZRr/ 5.4 设计数据文件夹 95 <B6H. P = 5.5 默认设计 95
Qjv}$`M 6 细化和合成 97 `&c kZiq 6.1 优化介绍 97 q'Tf,a 6.2 细化 (Refinement) 98 x-&@wMqkc 6.3 合成 (Synthesis) 100 CdjI` 6.4 目标和评价函数 101 5uj?#)N 6.4.1 目标输入 102 H]Z$OpI 6.4.2 目标 103 4)urU7[ &) 6.4.3 特殊的评价函数 104 8>in_h9 6.5 层锁定和连接 104 K^<BW(s 6.6 细化技术 104 ]K,Tnyp 6.6.1 单纯形 105 U>}w2bZ* 6.6.1.1 单纯形参数 106 A@{PZ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Uf;^%*P4 6.6.2.1 Optimac参数 108 ]Ntmy;Q 6.6.3 模拟退火算法 109 fN1-d&T 6.6.3.1 模拟退火参数 109 S k\K4 6.6.4 共轭梯度 111 VY=jc~c]v 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 OU
$#5 6.6.5 拟牛顿法 112 nazZ*lC 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 #( 146 6.6.6 针合成 113 3kp+<$ 6.6.6.1 针合成参数 114 ^'{Fh"5 6.6.7 差分进化 114 l L@XM2" 6.6.8非局部细化 115 gu.}M:u 6.6.8.1非局部细化参数 115 scz&h#0V 6.7 我应该使用哪种技术? 116 9w"4K. 6.7.1 细化 116 <
!C)x 6.7.2 合成 117 m'=Crei 6.8 参考文献 117 6HWE~`ok6 7 导纳图及其他工具 118 j@3Q;F0ba 7.1 简介 118 u.m[u)HQ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .2Elr(&*h 7.2.1 四分之一波长规则 119 LxSpctiNx 7.2.2 导纳图 120 ZI}F om< 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Nkth>7* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 :vQrOn18p 7.5 斜入射导纳图 141 }?_?V&K| 7.6 对称周期 141 sfugY(m 7.7 参考文献 142 CXx*_@}MU 8 典型的镀膜实例 143 SBk4_J/_ 8.1 单层抗反射薄膜 145 Z4w!p?Wqa 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 .glA
gt 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 )e=D(qd 8.4 W-膜层 148 N gGp 8.5 V-膜层 149 BLf>_bUk 8.6 V-膜层高折射基底 150 '9Xu
p 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 h-K_Lr] 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 =M[bnq*\ 8.9 四层抗反射薄膜 153 i0kak`x0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Q}K"24`= 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 G3vxjD<DMW 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 1N#|
}ad 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 'ud{m[| 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 li'YDtMKCY 8.15十五层宽带抗反射膜 159 $)ijN^hV 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 '/n1IM$7 8.17 1/4波长堆栈 162 6"5A%{J 8.18 陷波滤波器 163 (!7sE9rP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 S\YTX%Xm} 8.20 褶皱 165 r,1!?s^L 8.21 消偏振分光器1 169 F Q7T'G![ 8.22 消偏振分光器2 171 b"uu 8.23 消偏振立体分光器 172 .B]MpmpK 8.24 消偏振截止滤光片 173 (ybI\UI 8.25 立体偏振分束器1 174 7cT~oV !G_ 8.26 立方偏振分束器2 177 Xq]w<$
8.27 相位延迟器 178 qYjce]c 8.28 红外截止器 179 HJLG=mU 8.29 21层长波带通滤波器 180 ll<Xz((o 8.30 49层长波带通滤波器 181 $%CF8\0 8.31 55层短波带通滤波器 182 rJT^H5!o" 8.32 47 红外截止器 183 ,c$_t+ 8.33 宽带通滤波器 184 3G)#5Lf< 8.34 诱导透射滤波器 186 +>Qq(Y 8.35 诱导透射滤波器2 188 5j<mbt} 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 rb2S7k0{ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 9N%We|L,c 8.35 增益平坦滤波器 193 a}BYov 8.38 啁啾反射镜 1 196 J6s`'gFns 8.39 啁啾反射镜2 198 \FbvHr, 8.40 啁啾反射镜3 199 u<6<iD3y 8.41 带保护层的铝膜层 200 uD$u2 8.42 增加铝反射率膜 201 jk; clwyz/ 8.43 参考文献 202 x=hiQ>BIO0 9 多层膜 204 @fZ,.2ar 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (cAIvgI 9.2 内部透过率 204 HZzD VCU 9.3 内部透射率数据 205 j^j1 9.4 实例 206 W#4 7h7M 9.5 实例2 210 =)H.cuc 9.6 圆锥和带宽计算 212 7 S#J>* 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 2\A$6N;_ 10 光学薄膜的颜色 216 dh`K`b4I 10.1 导言 216 ENl)Ts`y 10.2 色彩 216 ]_mb7X> 10.3 主波长和纯度 220 ';w#w<yaI 10.4 色相和纯度 221 ;v)JnbsH} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 (Y.k8";)` 10.6 色差 226 (^8Y|:Tz 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 F 5bj=mI 10.8 颜色渲染指数 234 b@gc{R}7 10.9 色差计算 235 Xk~D$~4< 10.10 参考文献 236 ?mwt~_s9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 w=0(<s2 11.1 短脉冲 238 ~9a<0Mc? 11.2 群速度 239 v}}F,c(f 11.3 群速度色散 241 Uu10)/.LC 11.4 啁啾(chirped) 245 !=*g@mgF 11.5 光学薄膜—相变 245 fIx+ILs 11.6 群延迟和延迟色散 246 9N#_(uwt 11.7 色度色散 246 fa
jGZyd0: 11.8 色散补偿 249 BM%e0n7 11.9 空间光线偏移 256 I*:%ni2 11.10 参考文献 258 aD<A.Lhy 12 公差与误差 260 |sJ[0z 12.1 蒙特卡罗模型 260 VZp5)-!\ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 oA7tEu 12.2.1 误差工具 267 (Z+.45{- 12.2.2 灵敏度工具 271 1![!+X:w 12.2.2.1 独立灵敏度 271 pz!Zs."f) 12.2.2.2 灵敏度分布 275 rT=rrvV3g 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 O W_{$9U 12.3 参考文献 276 0cv{ 13 Runsheet 与Simulator 277 [SjqOTon{ 13.1 原理介绍 277 SXSgld2uS 13.2 截止滤光片设计 277 6C1#/ 14 光学常数提取 289 MD}w Y><C 14.1 介绍 289 }kw#7m54 14.2 电介质薄膜 289 EKYY6S2 14.3 n 和k 的提取工具 295 9a[9i}_ 14.4 基底的参数提取 302 yJ[0WY8<kC 14.5 金属的参数提取 306 A]_7}<<N 14.6 不正确的模型 306 ~dyTVJ$ 14.7 参考文献 311 e[{0)y>= 15 反演工程 313 S*,17+6dV 15.1 随机性和系统性 313 gldAP: 15.2 常见的系统性问题 314 +C^nO=[E 15.3 单层膜 314 Z\(q@3 C 15.4 多层膜 314 iQ0KfoG?U 15.5 含义 319 =}<IfNA 15.6 反演工程实例 319 [$ubNk;!z 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 #>a\>iKQ2q 15.6.2 反演工程提取折射率 327 bt@<
ut\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ")1:F> 16.1 光学性质的热致偏移 329 vSGH[nyCY 16.2 应力工具 335 @JiLgIe` 16.3 均匀性误差 339 H9Gh>u]} 16.3.1 圆锥工具 339 v8w q,CYV 16.3.2 波前问题 341 k`cfG\;r 16.4 参考文献 343 9sM!`Lz{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 dUD[e,? 17.1 引言 345 zF@/K` 17.2 操作数 345 kl"hBK#D% 18 如何在Function中编写脚本 351 "6("9" 18.1 简介 351 SjK 18.2 什么是脚本? 351 8:q1~`?5"b 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 B5`EoZ 18.4 基础 352 :ffY6L+ 18.4.1 Classes(类别) 352 ;'gWu 18.4.2 对象 352 eYc$dPE 18.4.3 信息(Messages) 352 kx8G 18.4.4 属性 352 ^23~ZHu 18.4.5 方法 353 -D<< kra 18.4.6 变量声明 353 44J]I\+ 18.5 创建对象 354 ynp 8rf 18.5.1 创建对象函数 355 \wmN 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8u"U1 18.5.3 丢弃对象 356 l&[O 18.5.4 总结 356 05|=`eJ 18.6 脚本中的表格 357 y1z4ik)Sd@ 18.6.1 方法1 357 "BAK !N$9 18.6.2 方法2 357 *nd! )t 18.7 2D Plots in Scripts 358 v<k?Vu 18.8 3D Plots in Scripts 359 (xycJ`N 18.9 注释 360 j<u pRS,$ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 oE6tauQn 18.11 一个更高级的脚本 362 2y75 18.12 <esc>键 364 ,.S~
Y 18.13 包含文件 365 @?ebuj5{e 18.14 脚本被优化调用 366 zE*li`@ 18.15 脚本中的对话框 368 \Zk;ikEY 18.15.1 介绍 368 C-xr"]#] 18.15.2 消息框-MsgBox 368 c&6I[R 18.15.3 输入框函数 370 O}gV`q; 18.15.4 自定义对话框 371 &{5,:%PXw 18.15.5 对话框编辑器 371 4>YR{ 18.15.6 控制对话框 377 G+9,,`2 18.15.7 更高级的对话框 380 XoK:N$\}t 18.16 Types语句 384 *YI98 18.17 打开文件 385 XE RUo 18.18 Bags 387 /|w6:;$;mn 18.13 进一步研究 388 5{TsiZh4 19 vStack 389 qfF~D0} 19.1 vStack基本原理 389 3qgS&js 7 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 J[&@PUy 19.3 五棱镜 393 Xc++b|k 19.4 光束距离 396 2B1q*`6R 19.5 误差 399 y<UK:^t31V 19.6 二向分色棱镜 399 i%iL[id:w 19.7 偏振泄漏 404 !"AvY y9 19.8 波前误差—相位 405 E#34Wh2z 19.9 其它计算参数 405 gE'sOT9v 20 报表生成器 406 lM`2sy 20.1 入门 406 /A\8 mL8 20.2 指令(Instructions) 406 Ha#=(9. 20.3 页面布局指令 406 >fG3K` 20.4 常见的参数图和三维图 407 UsG~row:! 20.5 表格中的常见参数 408 `%bypHeSp 20.6 迭代指令 408 e)IzQ7Zex 20.7 报表模版 408 j a[Et/r 20.8 开始设计一个报表模版 409 (y'hyJo 21 一个新的project 413 ^S<Y>Nm] 21.1 创建一个新Job 414 NSMyliM1Y 21.2 默认设计 415 n6=By|jRh 21.3 薄膜设计 416 gk4;>} 21.4 误差的灵敏度计算 420 Jumgb 21.5 显色指数计算 422 >~rTqtKd 21.6 电场分布 424 ,oe < 后记 426 2ACCh4(/P
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