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jWYV#ifs2 内容简介 W[^qa5W<FB Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 HO''&hz 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 R?p00 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ]Qe{e3p; iT)z_ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 {pHM},WJ 目录 dF~8XYo Preface 1 Cj?L@%" 内容简介 2 ubmrlH\d 目录 i L^{|uP15N 1 引言 1 [o<VVtB.Gk 2 光学薄膜基础 2 VV9_`myN7 2.1 一般规则 2 nM0[P6p 2.2 正交入射规则 3 ?K3(D;5
&i 2.3 斜入射规则 6 leQT-l2Bk 2.4 精确计算 7 ,yTjU{<" 2.5 相干性 8 uZ=NSbYsA 2.6 参考文献 10 U2%.S&wS,e 3 Essential Macleod的快速预览 10 Ck /F9( 4 Essential Macleod的特点 32 kn/Ao}J74z 4.1 容量和局限性 33 t2r?N}"P 4.2 程序在哪里? 33 L*x[?x;)@ 4.3 数据文件 35 MX ;J5(Ae 4.4 设计规则 35 i}~SDY 4.5 材料数据库和资料库 37 A<B=f<N3gV 4.5.1材料损失 38 E.U_W 4.5.1材料数据库和导入材料 39 UDL
RCS8i 4.5.2 材料库 41 A.5i"Ci[ie 4.5.3导出材料数据 43 3ux0Jr2yT 4.6 常用单位 43 \{EpduwZ 4.7 插值和外推法 46 "XT"|KF|D 4.8 材料数据的平滑 50 R+7oRXsu 4.9 更多光学常数模型 54 5j-]EJb 4.10 文档的一般编辑规则 55 >B>CB3U 4.11 撤销和重做 56 1NcCy!+ 4.12 设计文档 57 U.@*`Fg 4.10.1 公式 58 =Z+nX0qF 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 MG?0>^F 4.10.3 沉积密度 59 ai0Ut 4.10.4 平行和楔形介质 60 2r6'O6v 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 DU=dLE6-P; 4.10.4 性能 61 2m~V{mUT! 4.10.5 保存设计和性能 64 h/,${,}J 4.10.6 默认设计 64 !L95^g 4.11 图表 64 ez9q7SpA 4.11.1 合并曲线图 67 .T*GN|@$! 4.11.2 自适应绘制 68 ~I(Hc.Q 4.11.3 动态绘图 68 M1%Dg'}G 4.11.4 3D绘图 69 nIvJrAm4k 4.12 导入和导出 73 10#f`OPC 4.12.1 剪贴板 73 ]@M5& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Q*XE
h 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 XhPe]P 4.13 背景 77 0=="^t_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 B7Tk4q\;Q 4.15 生成Rugate 84 [JaS??ig 4.16 参考文献 91 > MH(0+B* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 o5n^!gi4 5.1 Jobs 92 W@2vjz 5.2 创建一个新Job(工作) 93 EbZdas!l 5.3 输入材料 94 cGwf!hA 5.4 设计数据文件夹 95 ~j'l.gQb 5.5 默认设计 95 h},oF!, 6 细化和合成 97 8/"fWm/ 6.1 优化介绍 97 u(!&:A9JFd 6.2 细化 (Refinement) 98 A$WZF/x 6.3 合成 (Synthesis) 100 BQ jK8c< 6.4 目标和评价函数 101 m5D"A D 6.4.1 目标输入 102 d
HJhFw 6.4.2 目标 103
ayBRWT0 6.4.3 特殊的评价函数 104 _xLHrT!y 6.5 层锁定和连接 104 <A.W 8b7D 6.6 细化技术 104 5IKL#V`3a 6.6.1 单纯形 105 ="d*E/## 6.6.1.1 单纯形参数 106 j8K,jZ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 wl1m*`$ 6.6.2.1 Optimac参数 108 dC<LDxlv 6.6.3 模拟退火算法 109 Em7 WDu0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 [/_+>M 6.6.4 共轭梯度 111 1h7+@#<:a 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 9GdB#k6W` 6.6.5 拟牛顿法 112 )J(q49 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 auWXgkwZs/ 6.6.6 针合成 113 D?M!ra 6.6.6.1 针合成参数 114 C;~*pMAYe 6.6.7 差分进化 114 Hk7K`9 6.6.8非局部细化 115 _P?\.W@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 tMj1~
R 6.7 我应该使用哪种技术? 116 BN,>&1I
6.7.1 细化 116 _#_
E^! 6.7.2 合成 117 _e!F~V. 6.8 参考文献 117 voe7l+Xk 7 导纳图及其他工具 118 ]8;n{ }X 7.1 简介 118
d^|0R 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 x&A vUJ 7.2.1 四分之一波长规则 119 T5O _LCIws 7.2.2 导纳图 120 MEiRj]t 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \.gEh1HW 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 A`6ra}U<
7.5 斜入射导纳图 141 @uH#qg7 7.6 对称周期 141 W@\ (nfD2 7.7 参考文献 142 NV r0M?`4 8 典型的镀膜实例 143 s0hBbL0DH 8.1 单层抗反射薄膜 145 #hw/^AaD- 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Brd,Eg 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 sn{A wF% 8.4 W-膜层 148 Bf4%G,o5 8.5 V-膜层 149 |vFj*XU 8.6 V-膜层高折射基底 150 /b,TpuM^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 tK%c@gGU9 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 D';eTy Y 8.9 四层抗反射薄膜 153 y 0ckm6^ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 !~-6wN"k 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 xeTgV&$@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ;2giZ\ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 iz"3\{aN
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Z%gx%$ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 y~<@x. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 AN9[G 8.17 1/4波长堆栈 162 'q%%m/,VPQ 8.18 陷波滤波器 163 ,,=apyr#& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 g2p"LWex- 8.20 褶皱 165 +K6szGP 8.21 消偏振分光器1 169 bZipm(e 8.22 消偏振分光器2 171 @=uN\) 1 8.23 消偏振立体分光器 172 '7Ig.K& 8.24 消偏振截止滤光片 173 *9gD*AnM, 8.25 立体偏振分束器1 174 CL7Nr@ 8.26 立方偏振分束器2 177 d @rs3Q1z 8.27 相位延迟器 178 #^mqQRpgq 8.28 红外截止器 179 R21~Q:b! 8.29 21层长波带通滤波器 180 kB\kpW 8.30 49层长波带通滤波器 181 eK`PxoTI-I 8.31 55层短波带通滤波器 182 O%1/r* 8.32 47 红外截止器 183 +3^NaY`Y 8.33 宽带通滤波器 184 nwM)K
8.34 诱导透射滤波器 186 NO>k 8.35 诱导透射滤波器2 188 yFpySvj} 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Yr&Ka: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 et$uP 8.35 增益平坦滤波器 193 Nf?\AK! 8.38 啁啾反射镜 1 196 :%-,Fxl4 8.39 啁啾反射镜2 198 IjZ@U%g@; 8.40 啁啾反射镜3 199 z \?UGxu} 8.41 带保护层的铝膜层 200 3x5!a5$Y 8.42 增加铝反射率膜 201 xRX>|S 8.43 参考文献 202 #s+X+fe 9 多层膜 204 E`@43Nz 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 LD55n%|0`H 9.2 内部透过率 204 F!8=FTb 9.3 内部透射率数据 205 :):zNn_>` 9.4 实例 206 Q_}/ Pn$1 9.5 实例2 210 fA8ozL T 9.6 圆锥和带宽计算 212 ^,7=X8Su 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 yr4ou 10 光学薄膜的颜色 216
^Omfe 10.1 导言 216 H=.K 10.2 色彩 216 +Z+ExS<#z 10.3 主波长和纯度 220 -i_En^Fi 10.4 色相和纯度 221 O{n<WQd{CY 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 (K!4Kp^m 10.6 色差 226 NJ$e6$g) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 cgyo_
k
10.8 颜色渲染指数 234 v.`+I-\.z) 10.9 色差计算 235 fI11dE9&?[ 10.10 参考文献 236 #AncOo 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 o=9' 11.1 短脉冲 238 QHQj/)J8 11.2 群速度 239 V.,bwPb{9 11.3 群速度色散 241 97x%w]kV 11.4 啁啾(chirped) 245 V} bM!5 H 11.5 光学薄膜—相变 245 rl|Q)A{ 11.6 群延迟和延迟色散 246 .3g&9WvN!Z 11.7 色度色散 246 ?L`ZKRD 11.8 色散补偿 249 v>at/ef 11.9 空间光线偏移 256 3'@&c?Fye 11.10 参考文献 258 $-w5o`e 12 公差与误差 260 [.U^Wrd 12.1 蒙特卡罗模型 260 ]<X2AO1 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 &"AQ;%&N 12.2.1 误差工具 267 {8ECNQ[] 12.2.2 灵敏度工具 271 9Dq.lr^ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 D -iUN 12.2.2.2 灵敏度分布 275 m0Z7N5v) 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 `Qq/F] 12.3 参考文献 276 IHVMHOq}' 13 Runsheet 与Simulator 277 Dqr9Vv 13.1 原理介绍 277 NUu;tjt: 13.2 截止滤光片设计 277 %Qd3BZ 14 光学常数提取 289 YOKR//|3 14.1 介绍 289 `
@>ZGL: 14.2 电介质薄膜 289 3k{c$x} 14.3 n 和k 的提取工具 295 @Mr}6x* 14.4 基底的参数提取 302 ^;64!BaK 14.5 金属的参数提取 306 wWFW,3b 14.6 不正确的模型 306 Y^5"qd|` 14.7 参考文献 311 UKYupLu5 15 反演工程 313 t
2G1[j! 15.1 随机性和系统性 313 Yhk6Uog{4 15.2 常见的系统性问题 314 tGqQJT#mr7 15.3 单层膜 314 K#;txzi 15.4 多层膜 314 6puVw-X 15.5 含义 319 (NM6micc 15.6 反演工程实例 319 V^ Y*xZ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 7 BK46x 15.6.2 反演工程提取折射率 327 b_l.QKk 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 x{2o[dK4} 16.1 光学性质的热致偏移 329 :Lc3a$qtx5 16.2 应力工具 335 `~|DoSi^d 16.3 均匀性误差 339 -Y2&A$cM 16.3.1 圆锥工具 339 {\lui eG 16.3.2 波前问题 341 Kv1vx*> 16.4 参考文献 343 ?d#Lr*m 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 bCt_yR 17.1 引言 345 ,0FwBK 17.2 操作数 345 9kUV1? 18 如何在Function中编写脚本 351 j^rYFS
w:Q 18.1 简介 351 p/4S$
j#Tn 18.2 什么是脚本? 351 &EGY+p|2Y 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 |9x%gUm 18.4 基础 352 pNBa.4z: 18.4.1 Classes(类别) 352 ^xmZ|f- 18.4.2 对象 352 !HvGlj@(| 18.4.3 信息(Messages) 352 GtG&yeB 18.4.4 属性 352 jJ*=Ghu- 18.4.5 方法 353 6,a%&1_ 18.4.6 变量声明 353 FE>3 D1\ 18.5 创建对象 354 (UXv,_"nU 18.5.1 创建对象函数 355 bD d_} 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 v^;-@ddr 18.5.3 丢弃对象 356 TJE%
U0Ln 18.5.4 总结 356 H
kSL5@ 18.6 脚本中的表格 357 Cv0&prt 18.6.1 方法1 357 v?FhG
b~1 18.6.2 方法2 357 'G52<sF 18.7 2D Plots in Scripts 358 otoBb^Mz 18.8 3D Plots in Scripts 359 !+5C{Hs2 18.9 注释 360 p|b+I"M 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 {WIY8B'c 18.11 一个更高级的脚本 362 VPdwSW[eM 18.12 <esc>键 364 9=H}yiJz 18.13 包含文件 365 aX:#'eDB 18.14 脚本被优化调用 366 *O!T!J 18.15 脚本中的对话框 368 bx;yHIRb 18.15.1 介绍 368
dD : 18.15.2 消息框-MsgBox 368 10/x'#( 18.15.3 输入框函数 370 IPwj_jvw 18.15.4 自定义对话框 371 e21E_exM0 18.15.5 对话框编辑器 371 / *AJ+K._ 18.15.6 控制对话框 377 v/]Qq 18.15.7 更高级的对话框 380 te4F"SEf 18.16 Types语句 384 oo;;y,`8py 18.17 打开文件 385 kboizJp 18.18 Bags 387 LG"c8Vv&)~ 18.13 进一步研究 388 |)m*EME 19 vStack 389 <'yf|N!9G 19.1 vStack基本原理 389 hEVjeC 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 'y'T'2N3 19.3 五棱镜 393 #4Dn@Gqh.Y 19.4 光束距离 396 83\o( 19.5 误差 399 /A%om|+Gq 19.6 二向分色棱镜 399 1 ,#{X3 19.7 偏振泄漏 404 w/?nUp 19.8 波前误差—相位 405 BhOXXa{B 19.9 其它计算参数 405 dMey/A/VYt 20 报表生成器 406 VfQMFb',o 20.1 入门 406 N>Vacc_[ 20.2 指令(Instructions) 406 e$ThSh\+( 20.3 页面布局指令 406 dCa}ITg 20.4 常见的参数图和三维图 407 W`w5jk'0^= 20.5 表格中的常见参数 408 -q'xC: m 20.6 迭代指令 408 *?EO n - 20.7 报表模版 408 Uzan7A 20.8 开始设计一个报表模版 409 z0\;m{TH 21 一个新的project 413 IlcNT_
5a8 21.1 创建一个新Job 414 UOn! Y@ 21.2 默认设计 415 <$RS*n 21.3 薄膜设计 416 %'RI3gy 21.4 误差的灵敏度计算 420 A2}Z
*U(; 21.5 显色指数计算 422 5%2ef{T[ 21.6 电场分布 424 HXD*zv@ *6 后记 426 t-.2+6"\
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