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Z,8t!Y 内容简介 5>~D3?IAd Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 J.c
yb 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 lZ)
qV!< 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 8cuI-Swz lA4TWU (] 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 @H}Hjg_>m 目录 rshUF Preface 1 WDt 6{5T 内容简介 2 V$dhiP
z 目录 i SUjo%3R 1 引言 1 _SU6Bd/> 2 光学薄膜基础 2 uhB
V)Qg 2.1 一般规则 2 kX+98?h-C 2.2 正交入射规则 3 as[! 9tB] 2.3 斜入射规则 6 ieXi6^M$ 2.4 精确计算 7 {*K$gH$ 2.5 相干性 8 goJ'z|)) 2.6 参考文献 10 >oC{YYcK 3 Essential Macleod的快速预览 10 3{|]@ L 4 Essential Macleod的特点 32 @7{.err! 4.1 容量和局限性 33 _7dp(R 4.2 程序在哪里? 33 tjx|;m7 4.3 数据文件 35 PM'2zP[*W 4.4 设计规则 35 }^^c/w_ 4.5 材料数据库和资料库 37 >B;KpO"+m 4.5.1材料损失 38 [.&n,.k 4.5.1材料数据库和导入材料 39 |f(*R_R 4.5.2 材料库 41 ,RP 9v* 4.5.3导出材料数据 43 :@-.whj 4.6 常用单位 43 j-ob7(v)*] 4.7 插值和外推法 46 J|<C;[du> 4.8 材料数据的平滑 50 nC)"% Sa 4.9 更多光学常数模型 54 s-~`Ao'
< 4.10 文档的一般编辑规则 55 "{zqXM}:C 4.11 撤销和重做 56 VCvf'$4(X 4.12 设计文档 57 k(_OhV_ 4.10.1 公式 58 ?-8DS5 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 4vCUVo r 4.10.3 沉积密度 59 ):y^g: 4.10.4 平行和楔形介质 60 jBl$r{L 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 vG\
b` 4.10.4 性能 61 <`wOy[e 4.10.5 保存设计和性能 64 . i^@v<+ 4.10.6 默认设计 64 7zIfsb 4.11 图表 64 0Gu?;]GSv 4.11.1 合并曲线图 67 "bQi+@ 4.11.2 自适应绘制 68 )g}G{9M^ 4.11.3 动态绘图 68 `,4@;j<^@ 4.11.4 3D绘图 69 aIh} j, 4.12 导入和导出 73 @.`k2lxGd~ 4.12.1 剪贴板 73 (]PH2<3t 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 l}&2A*c. 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4t3>`x
7 4.13 背景 77 VN'\c3; 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 KVUub'k 4.15 生成Rugate 84 < RtyW 4.16 参考文献 91 YHMJ5IM@. 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2 )3oX 5.1 Jobs 92 kE|x'(x 5.2 创建一个新Job(工作) 93 p1(" 5.3 输入材料 94 _x^rHADp 5.4 设计数据文件夹 95 I5`>XfO) 5.5 默认设计 95 bbDm6, 6 细化和合成 97 oJ`=ob4WDo 6.1 优化介绍 97 -Q&@P3x 6.2 细化 (Refinement) 98 @u:` 6.3 合成 (Synthesis) 100 zQ<;3+* 6.4 目标和评价函数 101 !nlr!+(fV 6.4.1 目标输入 102 O f-xGoYZ 6.4.2 目标 103 c]bG5 6.4.3 特殊的评价函数 104 [x]~G 6.5 层锁定和连接 104 'hV(1Mw 6.6 细化技术 104 ;%^{Zybh 6.6.1 单纯形 105 ?/-WH?1I 6.6.1.1 单纯形参数 106 )VqPaKZl 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 S?J(VJqE 6.6.2.1 Optimac参数 108 ;jN1n
xF 6.6.3 模拟退火算法 109 ~*<`PD O? 6.6.3.1 模拟退火参数 109 .D\oKhV( 6.6.4 共轭梯度 111 H)EL0
Kv/ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 zufsmY4P 6.6.5 拟牛顿法 112 -;FAS3(wy 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 } # L_R 6.6.6 针合成 113 3la `S$c 6.6.6.1 针合成参数 114 \NEk B&^n 6.6.7 差分进化 114 c h((u(G 6.6.8非局部细化 115 X%kJ3{ 6.6.8.1非局部细化参数 115 UUb0[oy 6.7 我应该使用哪种技术? 116 m^3j|'mG 6.7.1 细化 116 %e3E}m> 6.7.2 合成 117 _\Z'Yl 6.8 参考文献 117 dU2; 7 导纳图及其他工具 118 *+2_!=4V 7.1 简介 118 ;Bj&9DZd 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 X(rXRP# 7.2.1 四分之一波长规则 119 9=}[~V n 7.2.2 导纳图 120 uOy/c 8` 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 <t*<SdAq>` 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Cc,V ] 7.5 斜入射导纳图 141 -.ZP<,?@F 7.6 对称周期 141 ,J-|.ER-> 7.7 参考文献 142 j3T)gFP 8 典型的镀膜实例 143 ,4 _H{+M 8.1 单层抗反射薄膜 145 kv, !"< 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 yXv@yn 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 1#Hr{&2 8.4 W-膜层 148 v+`'%E 8.5 V-膜层 149 \~(kGE--+ 8.6 V-膜层高折射基底 150 F]r'j
ZL 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 $p&eS_f 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 D!/ 4u0m 8.9 四层抗反射薄膜 153 %#eQN
~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 wU<j=lY?f 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 o?t H[ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 vCSC: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ~{5va 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 @G=7A;-pv0 8.15十五层宽带抗反射膜 159 N5ZOpRH{ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _>kc: 8.17 1/4波长堆栈 162 5|N`:h'9M 8.18 陷波滤波器 163 q5-i=lw 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 wvxz:~M 8.20 褶皱 165 %dq%+yw{%m 8.21 消偏振分光器1 169 w?^[*_Y 8.22 消偏振分光器2 171 6sQ;Z |!Pz 8.23 消偏振立体分光器 172 Ql l{;A 8.24 消偏振截止滤光片 173 <)T~_s 8.25 立体偏振分束器1 174 $x]/|u/9 8.26 立方偏振分束器2 177 "J2q|@. 8.27 相位延迟器 178 ]?wz. 8.28 红外截止器 179 CI$z+zN 8.29 21层长波带通滤波器 180 yt="kZ 8.30 49层长波带通滤波器 181 knph549 8.31 55层短波带通滤波器 182 ~u2f`67{ 8.32 47 红外截止器 183 alHA&YC{K 8.33 宽带通滤波器 184 -T{2R:\{ 8.34 诱导透射滤波器 186 ~9vK6;0 8.35 诱导透射滤波器2 188 K<`Z@f3'w 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 q oi21mCn 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 xT*c## 8.35 增益平坦滤波器 193 m*N8!1Ot 8.38 啁啾反射镜 1 196 PlLt^q.z[ 8.39 啁啾反射镜2 198 udA@9a^; 8.40 啁啾反射镜3 199 {"{]S12N 8.41 带保护层的铝膜层 200 \y(3b# 8.42 增加铝反射率膜 201 EA8plQ~GtE 8.43 参考文献 202 0zSz[;A 9 多层膜 204 Dv/7w[F 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Ry]9n.y 9.2 内部透过率 204 0:u:#))1 9.3 内部透射率数据 205 V,d\Wk k/ 9.4 实例 206 Uuu2wz3O0 9.5 实例2 210 BSgT
6K 9.6 圆锥和带宽计算 212 jK*d 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 I#O"<0
*r 10 光学薄膜的颜色 216 T@IzfX7 10.1 导言 216 jI*@&3 10.2 色彩 216 4W*o:Y! 10.3 主波长和纯度 220 m[3c,Axl7 10.4 色相和纯度 221 uyB 2 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 &,jUaC5I 10.6 色差 226 OQKg/1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 37a1O>A 10.8 颜色渲染指数 234 qmFbq<& 10.9 色差计算 235 2-8Dc4H]r 10.10 参考文献 236 C5I7\9F) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !ae?EJm" 11.1 短脉冲 238 ~Hub\kn 11.2 群速度 239 `VO;\s$5j 11.3 群速度色散 241 L@6]~[JvP 11.4 啁啾(chirped) 245 Aixe?A_x 11.5 光学薄膜—相变 245 -wV2
79^b 11.6 群延迟和延迟色散 246 n(eo_.W2| 11.7 色度色散 246 i({\fb|0 11.8 色散补偿 249 rnhLv$ 11.9 空间光线偏移 256 K2xHXziQ 11.10 参考文献 258 \ Voly 12 公差与误差 260 ;NdH]a{ 12.1 蒙特卡罗模型 260 0,DrVGa 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 }kvix{ 12.2.1 误差工具 267 2xO[ ?fR 12.2.2 灵敏度工具 271 Qr~!YPK\ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 FVrB#Hw~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 # M/n\em"X 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 *(q?O_3,b 12.3 参考文献 276 X coPkW 13 Runsheet 与Simulator 277 8Z9>h:c1 13.1 原理介绍 277 s<!G2~T 13.2 截止滤光片设计 277 DAWF
=p] 14 光学常数提取 289 "%^_.Db>| 14.1 介绍 289 ly*v|(S& 14.2 电介质薄膜 289 )/)u.$pi 14.3 n 和k 的提取工具 295 ]9/A=p?J@ 14.4 基底的参数提取 302 L{F]uz_[x 14.5 金属的参数提取 306 j0{`7n 14.6 不正确的模型 306 N'EZJoH 14.7 参考文献 311 +O 7(
>a 15 反演工程 313 2h51zG#qd 15.1 随机性和系统性 313 fTy:Re 15.2 常见的系统性问题 314 Icg-rwa<Z 15.3 单层膜 314 X0P +[.i 15.4 多层膜 314 c8uw_6#r(D 15.5 含义 319 E#rQJ 15.6 反演工程实例 319 #n|5ng|CJ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 }O@>:?U 15.6.2 反演工程提取折射率 327 *aCVkFp 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 qX-5/;n 16.1 光学性质的热致偏移 329 ~//9Nz~;3 16.2 应力工具 335 >_yL@^ 16.3 均匀性误差 339 -kLBq:M 16.3.1 圆锥工具 339 -%fj-Y7y 16.3.2 波前问题 341 Bj\
x 16.4 参考文献 343 d>)=| 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 v {HF}L 17.1 引言 345 ^lV}![do! 17.2 操作数 345 Kj
@<$ChZw 18 如何在Function中编写脚本 351 +yfUB8Xw 18.1 简介 351 }a5TY("d9H 18.2 什么是脚本? 351 v;
#y^O
18.3 Function中脚本和操作数对比 351 >KrI}>!9r 18.4 基础 352 |wuTw| 18.4.1 Classes(类别) 352 ma*#*4 18.4.2 对象 352 h]& 18.4.3 信息(Messages) 352 (!{*@?S 18.4.4 属性 352 C;JW\J~W 18.4.5 方法 353 unn2I|XH 18.4.6 变量声明 353 Jaw1bUP!oK 18.5 创建对象 354 1PdG1' 18.5.1 创建对象函数 355 :~"myn, 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 G^dp9A 18.5.3 丢弃对象 356 kK4a;j.# 18.5.4 总结 356 V||b%Cb1g 18.6 脚本中的表格 357 8/)\nV$0Y 18.6.1 方法1 357 Y2l;NSWU 18.6.2 方法2 357 )JTQZ,f3] 18.7 2D Plots in Scripts 358 WIi,`/K+ 18.8 3D Plots in Scripts 359 uNuFD|aQ. 18.9 注释 360 R~a9}& 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 L1!~T+%uQ 18.11 一个更高级的脚本 362 MhHh`WUGh 18.12 <esc>键 364 sv%E5@ 18.13 包含文件 365 nrev!h 18.14 脚本被优化调用 366 u=qK_$d4 18.15 脚本中的对话框 368 1ds4C:M+< 18.15.1 介绍 368 `x
_(EZ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 I(R%j]LX& 18.15.3 输入框函数 370 |33t 5}we 18.15.4 自定义对话框 371 L{jx'[C 18.15.5 对话框编辑器 371 d]sqj\Q57 18.15.6 控制对话框 377 .gC.T`/m 18.15.7 更高级的对话框 380 9Xg7=(# 18.16 Types语句 384 *l
=f= 18.17 打开文件 385 v?]a tb/h` 18.18 Bags 387 dYD;Z<l 18.13 进一步研究 388 uQ_C<ii"W 19 vStack 389 %b*N.v1+ 19.1 vStack基本原理 389 ; ,sNRES3 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 n5"oXpcIx 19.3 五棱镜 393 +zch e 19.4 光束距离 396 Wm-$l 19.5 误差 399 -DHzBq=H 19.6 二向分色棱镜 399 #3_g8ni5X 19.7 偏振泄漏 404 00i MU 19.8 波前误差—相位 405 &':C"_|&r 19.9 其它计算参数 405 yN`hW&K 20 报表生成器 406 qVfn(rZ 20.1 入门 406 D%3$"4M7! 20.2 指令(Instructions) 406 64U|]gd$ 20.3 页面布局指令 406 D
ON.)F 20.4 常见的参数图和三维图 407 :X}SuM?c 20.5 表格中的常见参数 408 <FBH;}] 20.6 迭代指令 408 <h9nt4F 20.7 报表模版 408 U{ 0~& 20.8 开始设计一个报表模版 409 ~xY"P)(x; 21 一个新的project 413
G-1qxK 21.1 创建一个新Job 414 _PPC?k{z! 21.2 默认设计 415 ^cPVnl 21.3 薄膜设计 416 en{p<]H 21.4 误差的灵敏度计算 420 @ntwdv; 21.5 显色指数计算 422 Ag\RLJ.KD 21.6 电场分布 424 4t =Kt 后记 426 c.LRS$o/j
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