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YD dLDE 内容简介 e(4bx5<* Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 J>/Ci\OB 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 cRjL3 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 P=}H1# 0 %C!`7 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ~4}*Dhsh 目录 B/:>{2cm Preface 1 lu<Np9/5< 内容简介 2 gE-lM/w 目录 i \>w@=bq26 1 引言 1 zvWO4\ 2 光学薄膜基础 2 Y+}OClS 2.1 一般规则 2 5Q2TT $P 2.2 正交入射规则 3 !Q<8c =f 2.3 斜入射规则 6 HFpjNR 2.4 精确计算 7 %'$cH$%~J
2.5 相干性 8 g%Th_= qy 2.6 参考文献 10 K[`4vsE 3 Essential Macleod的快速预览 10 |F8;+nAVF# 4 Essential Macleod的特点 32 ".Tf<F 4.1 容量和局限性 33 )^V5*#69D 4.2 程序在哪里? 33 ~x76{.gT 4.3 数据文件 35 oC^z_AtZ 4.4 设计规则 35 7r:nMPX 4.5 材料数据库和资料库 37 QYFN:XZ 4.5.1材料损失 38 1e+h9|hGYw 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ~`tJvUo0 4.5.2 材料库 41 KE }o 4.5.3导出材料数据 43 K gR1El.r 4.6 常用单位 43 <VauJB*R 4.7 插值和外推法 46 ;D%5 nnr 4.8 材料数据的平滑 50 : 8p2Jxm 4.9 更多光学常数模型 54 iT)2 ?I6! 4.10 文档的一般编辑规则 55 )dUd `g 4.11 撤销和重做 56 B'P,?` 4.12 设计文档 57 z+5u/t 4.10.1 公式 58 ,3g]=f 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 WzNG<rG 4.10.3 沉积密度 59 NzwGc+\7} 4.10.4 平行和楔形介质 60 D0,oml 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 64IeCAMVo 4.10.4 性能 61 {H~8'K- 4.10.5 保存设计和性能 64 H>@JfYZ0 4.10.6 默认设计 64 >TH-Q[ 4.11 图表 64 b[QCM/ 4.11.1 合并曲线图 67 ^ mQ;CMV 4.11.2 自适应绘制 68 KU8Cl>5 4.11.3 动态绘图 68 uv_P{%TK 4.11.4 3D绘图 69 }(f,~?CP] 4.12 导入和导出 73 _s*uF_:3 4.12.1 剪贴板 73 k;AV;KWI' 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 #I*ht0++ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 s\n,Z?m 4.13 背景 77 T3B|r<>I 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 o
i,g 4.15 生成Rugate 84 v/4X[6( 4.16 参考文献 91 B 7x"ef 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 #o}{cXX# 5.1 Jobs 92 PN)TX~} 5.2 创建一个新Job(工作) 93 x u\/]f) 5.3 输入材料 94 7J)Hwl 5.4 设计数据文件夹 95 b5iJm- 5.5 默认设计 95 l[!C-Tq 6 细化和合成 97 !W6 6.1 优化介绍 97 f;qKrw 6.2 细化 (Refinement) 98 =*U%j 6.3 合成 (Synthesis) 100 oM?
C62g\ 6.4 目标和评价函数 101 XV0<pV> 6.4.1 目标输入 102 uDMUy"8&! 6.4.2 目标 103 ^LQ lfd 6.4.3 特殊的评价函数 104 ?\/dfK:! 6.5 层锁定和连接 104 3GuMiht5 6.6 细化技术 104 S+bWD7 6.6.1 单纯形 105 VN55!l'OV 6.6.1.1 单纯形参数 106 VS@rM<K{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;74DT 6.6.2.1 Optimac参数 108 rym\5
`) 6.6.3 模拟退火算法 109 eyl) uR 6.6.3.1 模拟退火参数 109 tz \:r>3vI 6.6.4 共轭梯度 111 |M{,}.*CU 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 !WVabdt 6.6.5 拟牛顿法 112 hH@o|!y 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 P.2.Ge| 6.6.6 针合成 113 bI6V &Dd 6.6.6.1 针合成参数 114 PrYWha=c- 6.6.7 差分进化 114 hG0lR.: 6.6.8非局部细化 115 +~v3D^L15 6.6.8.1非局部细化参数 115 1:~m)"?I_^ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 /`]|_>' 6.7.1 细化 116 +'6ea+$ 6.7.2 合成 117 ]nr
BmKB 6.8 参考文献 117 .4m3@!qo)E 7 导纳图及其他工具 118 vp}>#& 7.1 简介 118 ]ge^J3az$u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 1k70>RQ&69 7.2.1 四分之一波长规则 119
Dg2#Gv0B 7.2.2 导纳图 120 -|iA!w#31 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 G^eFS; 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 i|! 9o: 7.5 斜入射导纳图 141 k=q%FlE 7.6 对称周期 141 R~mMGz 7.7 参考文献 142 RBp(dKxM$w 8 典型的镀膜实例 143 *Uw# 8.1 单层抗反射薄膜 145 0kr& c;~ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 nQ(:7PFa' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ->#@rF:S 8.4 W-膜层 148 Fn0LE~O}-8 8.5 V-膜层 149 o\V4qekk 8.6 V-膜层高折射基底 150 a(t<eN>b! 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 sMpC4E 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 .$E~.6J %i 8.9 四层抗反射薄膜 153 di
P4]/%1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 :^.8 7>V7 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 vkauX:M 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Js2_&?}3f 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 *V<2\- 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 L08;z 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ^V;lZtZ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 .Y Frb+6 8.17 1/4波长堆栈 162 ng)yCa_Ny 8.18 陷波滤波器 163 ^=M(K '' 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 U~`^Y8UF 8.20 褶皱 165 s/'h LkxI 8.21 消偏振分光器1 169 aRb:.\ \zc 8.22 消偏振分光器2 171 )(
jNd&H 8.23 消偏振立体分光器 172 aNf3 R; * 8.24 消偏振截止滤光片 173 sn-+F%[ 8.25 立体偏振分束器1 174 (Y@|h%1W 8.26 立方偏振分束器2 177 G5@fqh6ws 8.27 相位延迟器 178 4Fc1' 8.28 红外截止器 179 vWU4ZBT8G 8.29 21层长波带通滤波器 180 U=?"j-wN 8.30 49层长波带通滤波器 181 _EBDv0s 8.31 55层短波带通滤波器 182 z\ $>k_ 8.32 47 红外截止器 183 .&!{8jBX 8.33 宽带通滤波器 184 |4*2xDcl 8.34 诱导透射滤波器 186 K OHH74}_ 8.35 诱导透射滤波器2 188 ) x O_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 -Ce4px?3 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 wI]>0geb* 8.35 增益平坦滤波器 193 :s985sEv 8.38 啁啾反射镜 1 196 #)eJz1~ 8.39 啁啾反射镜2 198 0'2{[xF 8.40 啁啾反射镜3 199 e:D9;`C 8.41 带保护层的铝膜层 200 *bC^X' 8.42 增加铝反射率膜 201 yXQ;LQ; 8.43 参考文献 202 _BA_lkN+D 9 多层膜 204 ^i k|l= 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Uwil*Jh 9.2 内部透过率 204 !oRm.cO 9.3 内部透射率数据 205 v-aq".XQ 9.4 实例 206 31\^9w__8 9.5 实例2 210 t#{>y1[29 9.6 圆锥和带宽计算 212 M|]1}8d? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ee?ZkU#@ 10 光学薄膜的颜色 216 S;<?nz3 10.1 导言 216 e-av@a3 10.2 色彩 216 SJr: 10.3 主波长和纯度 220 -H;y_^2 10.4 色相和纯度 221 zt%Fvn4/pF 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 j %0_!*#3 10.6 色差 226 c<x6_H6[8 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 x5Pt\/ow 10.8 颜色渲染指数 234 'a[|}nJ3 10.9 色差计算 235 oeKc-[r 10.10 参考文献 236 DfFPGFv 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Q 8E~hgO 11.1 短脉冲 238 i^KYZ4/% 11.2 群速度 239 p&M'DMj+ 11.3 群速度色散 241 zUu>kJZ 11.4 啁啾(chirped) 245 pU'sADC 11.5 光学薄膜—相变 245 R?Q-@N>wE 11.6 群延迟和延迟色散 246 3k0%H]wt 11.7 色度色散 246 T#f@8 -XUE 11.8 色散补偿 249 PTZ1oD 11.9 空间光线偏移 256 *[YN| 11.10 参考文献 258 K9Fnb6J$u 12 公差与误差 260 @zq{#7%z 12.1 蒙特卡罗模型 260 &4FdA|9T 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 c'qM$KN9G 12.2.1 误差工具 267 tAi9mm;k 12.2.2 灵敏度工具 271 {G&g+9c& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 iROM?/$ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 dG$0d_Pq 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 .e+UgCwi 12.3 参考文献 276 C(Y6t1 13 Runsheet 与Simulator 277 N^N?!I 13.1 原理介绍 277 O+J;Hp;\_ 13.2 截止滤光片设计 277 s~w+bwr 14 光学常数提取 289 OwaXG/z~ 14.1 介绍 289 dVfDS-v! 14.2 电介质薄膜 289 h;M2ylOu. 14.3 n 和k 的提取工具 295 eP?|U.on 14.4 基底的参数提取 302 #^V"=RbD 14.5 金属的参数提取 306 4e t#Q 14.6 不正确的模型 306 d2C:3-4 14.7 参考文献 311 SLo/7$rct 15 反演工程 313 ".ZiR7Z:$Y 15.1 随机性和系统性 313 F#wa)XH 15.2 常见的系统性问题 314 /GaR& 15.3 单层膜 314 U:e9Vq'N m 15.4 多层膜 314 }YO}LQ-| 15.5 含义 319 `pUArqf 15.6 反演工程实例 319 %"2B1^o> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 b4ivWb |` 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ^*Fkt(ida 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 }6N|+z.cU 16.1 光学性质的热致偏移 329 ]H[\~J 16.2 应力工具 335 -9"Ls?Cu 16.3 均匀性误差 339 =1qkoc~ 16.3.1 圆锥工具 339 .zt]R@@6 16.3.2 波前问题 341 N~d]}J8}gx 16.4 参考文献 343 <|iU+.j\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 <i|+p1t 17.1 引言 345 w%\;|y4+ 17.2 操作数 345
KRe=n3 1 18 如何在Function中编写脚本 351 OHo0W)XUU 18.1 简介 351 CcTJCuOS 18.2 什么是脚本? 351 |O?Aj1g[c? 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ]FBfh.#X@ 18.4 基础 352 5
S&>9l 18.4.1 Classes(类别) 352 'c D"ZVm1 18.4.2 对象 352 1<"kN^ 18.4.3 信息(Messages) 352
(~oPr+d 18.4.4 属性 352 -(G2@NG 18.4.5 方法 353 ~/%){t/uLY 18.4.6 变量声明 353 =3p h:t 18.5 创建对象 354 kuaov3Ui 18.5.1 创建对象函数 355 AtOB'=ph* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 2<|5zF 18.5.3 丢弃对象 356 4J1Q])G9 18.5.4 总结 356 ![V-
e 18.6 脚本中的表格 357 OUPpz_y 18.6.1 方法1 357 CmZ?uo+Y 18.6.2 方法2 357 ^l,Jbt 18.7 2D Plots in Scripts 358 @C2<AmY9q* 18.8 3D Plots in Scripts 359 W>y_q[m 18.9 注释 360 .y!Hw{cq 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 \ck3y]a[ 18.11 一个更高级的脚本 362 z6qC6Ck| 18.12 <esc>键 364 4
#N#[;M 18.13 包含文件 365 PhS"tOGtX 18.14 脚本被优化调用 366 4o8!p\a 18.15 脚本中的对话框 368 HNPr|
( 18.15.1 介绍 368 ~6nQ- 18.15.2 消息框-MsgBox 368 +}Pa/8ybJ 18.15.3 输入框函数 370 !QovpO">z 18.15.4 自定义对话框 371 ElAG~u? 18.15.5 对话框编辑器 371 Q8n?7JB 18.15.6 控制对话框 377 4\?B,! 18.15.7 更高级的对话框 380 QQ9Q[c 18.16 Types语句 384 +l9avy+P( 18.17 打开文件 385 8z-Td- R6 18.18 Bags 387 {IVqV6: 18.13 进一步研究 388 MqqS3
19 vStack 389 pLU>vQA 19.1 vStack基本原理 389 hmo?gD< 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 d<Di;5 19.3 五棱镜 393 -*EJj>x 19.4 光束距离 396 d~8Q)"6 [ 19.5 误差 399 [F%\1xh 19.6 二向分色棱镜 399 <3bh-) 19.7 偏振泄漏 404 i469<^A 19.8 波前误差—相位 405 kLhtkuS4 19.9 其它计算参数 405 U
uysG\ 20 报表生成器 406 rW^&8E[ 20.1 入门 406 SXL6)pX 20.2 指令(Instructions) 406 K^S#?T|[9 20.3 页面布局指令 406 Fi#t88+1 20.4 常见的参数图和三维图 407 f
{
ueI< 20.5 表格中的常见参数 408 ~$$V=$& 20.6 迭代指令 408 ICi- iX 20.7 报表模版 408 oOlI*/OMb 20.8 开始设计一个报表模版 409 Qi%A/~ 21 一个新的project 413 JnZxP> 2B 21.1 创建一个新Job 414 YpL}R# 21.2 默认设计 415 ZBGI_9wZ 21.3 薄膜设计 416 !>tXib]: 21.4 误差的灵敏度计算 420 ,-b9:]{L 21.5 显色指数计算 422 Rg6>6.fk* 21.6 电场分布 424 38#(ruv 后记 426 dM') <lF
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