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3 C<L 内容简介 G%W8S
\ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 #kaY0M 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 --c"0,7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 "\o+v|; 8Y7Q+p|O 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ;k>&FWEG 目录 m1Mt#@,$ Preface 1 YLzx<~E4a 内容简介 2 u*ObwcI/Bn 目录 i K#=*9S 1 引言 1 U_n9]Z 2 光学薄膜基础 2 x?2@9u8Yb 2.1 一般规则 2 t~#zMUfac 2.2 正交入射规则 3 'g
m0) r 2.3 斜入射规则 6 Pn>Xbe 2.4 精确计算 7 "Pu!dJ5[] 2.5 相干性 8 [8*jw'W|[ 2.6 参考文献 10 hUp.tK:X7o 3 Essential Macleod的快速预览 10 m0;CH/D0 4 Essential Macleod的特点 32 `</ff+Q6 4.1 容量和局限性 33 Pu*6"}#~ 4.2 程序在哪里? 33 \Ani}qQ%| 4.3 数据文件 35 D)m5 4.4 设计规则 35 f-`)^5E 4.5 材料数据库和资料库 37 ZOeQ+j)|I 4.5.1材料损失 38 J:V6 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Kk-S}.E 4.5.2 材料库 41 x"gd8j]s 4.5.3导出材料数据 43 JSCZ{vJ$ 4.6 常用单位 43 ?7.7`1m!v 4.7 插值和外推法 46 IpcNuZo9& 4.8 材料数据的平滑 50 YSTv\y 4.9 更多光学常数模型 54 0c<.iM 4.10 文档的一般编辑规则 55 3@M|m<_R$ 4.11 撤销和重做 56 pxCK;] 4.12 设计文档 57 e}
P I^bc 4.10.1 公式 58 mUdOX7$c> 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 H1QJk_RL 4.10.3 沉积密度 59 $ us]35Z3 4.10.4 平行和楔形介质 60 ]pNvxXbeW 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 p8h9Ng*&` 4.10.4 性能 61 pEIRh1 4.10.5 保存设计和性能 64 O$&mFL[` 4.10.6 默认设计 64 d(:8M 4.11 图表 64 `Nb[G)Xh 4.11.1 合并曲线图 67 FtfKe"qw 4.11.2 自适应绘制 68 ebUBrxZX 4.11.3 动态绘图 68 ymx>i~>7J 4.11.4 3D绘图 69 `lO[x.[ 4.12 导入和导出 73 =F]FP5V 4.12.1 剪贴板 73 KLitg6&P 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 gy 3i+J 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 {MCi<7j<? 4.13 背景 77 XINu=N(g 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 O&4SCVZp 4.15 生成Rugate 84 b\$}>O 4.16 参考文献 91 :UF%K>k2 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 C/vIEYG4 5.1 Jobs 92 =u2l.CX 5.2 创建一个新Job(工作) 93 d4>Z8FF|1B 5.3 输入材料 94 aTqd@},? 5.4 设计数据文件夹 95 $RIecv<e_ 5.5 默认设计 95 QLEKsX7p> 6 细化和合成 97 :U3kW8;UMP 6.1 优化介绍 97 t<z`N-5* 6.2 细化 (Refinement) 98 M<.d8?p ) 6.3 合成 (Synthesis) 100 G~2jUyv 6.4 目标和评价函数 101 1 u| wMO 6.4.1 目标输入 102 Crho=RJPR 6.4.2 目标 103 3=FZ9>by 6.4.3 特殊的评价函数 104 JORGj0v 6.5 层锁定和连接 104 Jq&uF*! 6.6 细化技术 104 .TND a& 6.6.1 单纯形 105 zr+zhpp 6.6.1.1 单纯形参数 106 u09:Z{tL;@ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 F+,~v- 6.6.2.1 Optimac参数 108 '_w=k4 6.6.3 模拟退火算法 109 Ma.`A 6.6.3.1 模拟退火参数 109 G7qG$wd8h 6.6.4 共轭梯度 111 ftvG\T f 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 E.7 6.6.5 拟牛顿法 112 pQ=>.JU 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 wKZ$iGMbz 6.6.6 针合成 113 @SJL\{_ 6.6.6.1 针合成参数 114 #(#Wv?r6 6.6.7 差分进化 114 B$ajK`x&I 6.6.8非局部细化 115 FbaEB RM 6.6.8.1非局部细化参数 115 \O*-#} ~\ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 8/i!' 0r\ 6.7.1 细化 116 s2'yY(u/ 6.7.2 合成 117 Szq/hv=Q 6.8 参考文献 117 \K@'Z 7 导纳图及其他工具 118 iop2L51eJ 7.1 简介 118 ,0*&OXt 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 x }\64 7.2.1 四分之一波长规则 119 SM0~fAtE 7.2.2 导纳图 120 k9 "[H' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 0fF(Z0R, 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 :3XA!o&.T3 7.5 斜入射导纳图 141 n[ T[DCQ, 7.6 对称周期 141 q qpgy7 7.7 参考文献 142 Mr;E<Lj ^K 8 典型的镀膜实例 143 o<<xY< 8.1 单层抗反射薄膜 145 vwjPmOjhS 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 !>{G,\^=pT 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 mef<=5t 8.4 W-膜层 148 o.w\l\ 8.5 V-膜层 149 Bt>}rYz1 8.6 V-膜层高折射基底 150 %X4xv_o`f 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 eqP&8^HP 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 GNXHM*~ 8.9 四层抗反射薄膜 153 Bg&i63XL$$ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 [s"O mAy4 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 DF1I[b=] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 bSfpbo4( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 `tHvD=`m. 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 _A+s)]} 8.15十五层宽带抗反射膜 159 !lf|7 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 %MrWeYd1 8.17 1/4波长堆栈 162 OUeyklw 8.18 陷波滤波器 163 MaRi+3F 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 73V|6tmgY 8.20 褶皱 165 *of3:w 8.21 消偏振分光器1 169 @6{~05.p
8.22 消偏振分光器2 171 (@%gS[] 8.23 消偏振立体分光器 172 ]bj&bk# 8.24 消偏振截止滤光片 173 B8B; y^b>i 8.25 立体偏振分束器1 174 rM .|1(u 8.26 立方偏振分束器2 177 G?EoPh^m 8.27 相位延迟器 178 n#q<`}u, 8.28 红外截止器 179 4US"hexE< 8.29 21层长波带通滤波器 180 v}1QH 8.30 49层长波带通滤波器 181 "}pNe"ok 8.31 55层短波带通滤波器 182 iVB86XZ` 8.32 47 红外截止器 183 E"+QJ~! 8.33 宽带通滤波器 184 k"NVV$; 8.34 诱导透射滤波器 186 uT}' Y)m 8.35 诱导透射滤波器2 188 Min
^> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 9cf:pXMi 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 G]+&!4 8.35 增益平坦滤波器 193 oASY7k_3 8.38 啁啾反射镜 1 196 ^C_#<m_k 8.39 啁啾反射镜2 198 zUKmx y@ 8.40 啁啾反射镜3 199 1+9W+$=h2 8.41 带保护层的铝膜层 200 i'9vL:3 8.42 增加铝反射率膜 201 2^^`n1?' 8.43 参考文献 202 W#KpPDgZE 9 多层膜 204 *^f<W6xc 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 P"W2(d 9.2 内部透过率 204 KVD8YfF 9.3 内部透射率数据 205 UD8op]>L 9.4 实例 206 `&D|>tiz 9.5 实例2 210 >sK!F$ 9.6 圆锥和带宽计算 212 MC<PM6w 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 QV{}K 10 光学薄膜的颜色 216 ,=Mt`aN 10.1 导言 216 c- }X_)U } 10.2 色彩 216 QlJ)F{R8il 10.3 主波长和纯度 220 f7=((5N 10.4 色相和纯度 221 W0l,cOOZJ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 AQ_|: 10.6 色差 226 "f "6]y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 "tB;^jhRs 10.8 颜色渲染指数 234 Cq'KoN%nQ 10.9 色差计算 235 qMLD)rL 10.10 参考文献 236 $4/yZaVb 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 my}-s 11.1 短脉冲 238 Qk,I^1w?7 11.2 群速度 239 VxVE 11.3 群速度色散 241 CaL\fZ 11.4 啁啾(chirped) 245 ~y/
nlb! 11.5 光学薄膜—相变 245 gLy&esJl1 11.6 群延迟和延迟色散 246 R:#k%}W 11.7 色度色散 246 EJsM(iG]~M 11.8 色散补偿 249 |h;0H` 11.9 空间光线偏移 256 ~g5[$r-u-u 11.10 参考文献 258 ^~3SSLS4" 12 公差与误差 260 I~ok4L?VB 12.1 蒙特卡罗模型 260 J[4mLU 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 P*I}yPeb 12.2.1 误差工具 267 Cn "s`
q 12.2.2 灵敏度工具 271 Zg'Q>.: 12.2.2.1 独立灵敏度 271
8xccp4 12.2.2.2 灵敏度分布 275 fp+gyTnd3 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 _i20|v 12.3 参考文献 276 b)=[1g/=L 13 Runsheet 与Simulator 277 FLGk?.x$\ 13.1 原理介绍 277 `QyO`y=?[Y 13.2 截止滤光片设计 277 ;4.!H,d 14 光学常数提取 289 kzt(i Y_6 14.1 介绍 289 OoA|8!CFa 14.2 电介质薄膜 289 _Em. 14.3 n 和k 的提取工具 295 %k'!Iq+ 14.4 基底的参数提取 302 p$PKa.Y3 14.5 金属的参数提取 306 5u*-L_ 14.6 不正确的模型 306 gK[YQXfTy 14.7 参考文献 311 U$_xUG 15 反演工程 313 ?XA2& 15.1 随机性和系统性 313 $shoasSuI 15.2 常见的系统性问题 314 xHz[t6;4; 15.3 单层膜 314 XpBj%e: 15.4 多层膜 314 4}4Pyjh 15.5 含义 319 e>(<eu~P 15.6 反演工程实例 319 f!!V${)X 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 LIZRoG8 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ?TU }~} 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 J6L K 16.1 光学性质的热致偏移 329 ;#oie<
Vit 16.2 应力工具 335 f"qga/ 16.3 均匀性误差 339 aC%m- m 16.3.1 圆锥工具 339 y0'Rmk, 16.3.2 波前问题 341 )u/yF*:n 16.4 参考文献 343 j^^Ap 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 rL+!tH 17.1 引言 345 V3c l~ 17.2 操作数 345 ?<(m
5Al7 18 如何在Function中编写脚本 351 &?*V0luP) 18.1 简介 351 IHJ=i- 18.2 什么是脚本? 351 ENGg
~D 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 <;#~l* 18.4 基础 352
FE2f'e 18.4.1 Classes(类别) 352 pXJpK@z 18.4.2 对象 352 SRrw0&ts 18.4.3 信息(Messages) 352 !+L/Khw/C 18.4.4 属性 352 ~~SwCXZ+b^ 18.4.5 方法 353 ;K!]4tfJ 18.4.6 变量声明 353 XVvK2( 18.5 创建对象 354 RV5n,J 18.5.1 创建对象函数 355 WXmn1^"kK} 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 $+>M{fg? 18.5.3 丢弃对象 356 Gcig*5 18.5.4 总结 356 {a4z2"\A 18.6 脚本中的表格 357 ,0hA'cp 18.6.1 方法1 357 +;#Y]xy: 18.6.2 方法2 357
\9/ b!A 18.7 2D Plots in Scripts 358 %=/) 18.8 3D Plots in Scripts 359 }lfnnK# 18.9 注释 360 8erSt!oM 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ?)`L$Vr= 18.11 一个更高级的脚本 362 {|1Y:&M? 18.12 <esc>键 364 [$ejp>'Ud 18.13 包含文件 365 sIK;x]Q) 18.14 脚本被优化调用 366 1$%V{4bJ 18.15 脚本中的对话框 368 J,AR5@)1 18.15.1 介绍 368 > 3&: 5 18.15.2 消息框-MsgBox 368 .R9IL-3fO 18.15.3 输入框函数 370 %Mk0QKzUo 18.15.4 自定义对话框 371 |m80]@> 18.15.5 对话框编辑器 371 v7DE 18.15.6 控制对话框 377 V( -mD 18.15.7 更高级的对话框 380 *7h!w!LN~ 18.16 Types语句 384 4*'pl.rb> 18.17 打开文件 385 hED=u/ql[ 18.18 Bags 387
AiK 18.13 进一步研究 388 wAxrc+ 19 vStack 389 aEWWFN 19.1 vStack基本原理 389 hrhb!0 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^9ePfF)5 19.3 五棱镜 393 &&VqD
w 19.4 光束距离 396 hb^7oq"a 19.5 误差 399 9\]^|?zQ` 19.6 二向分色棱镜 399 Ygl%eP%Z 19.7 偏振泄漏 404 l?Fb ='# 19.8 波前误差—相位 405 `/~8}Y{ 19.9 其它计算参数 405 JM\m)RH0 20 报表生成器 406 GF5^\Rf 20.1 入门 406 aMvI?y { 20.2 指令(Instructions) 406 E[bd@[N
8 20.3 页面布局指令 406 ;Hj~n+ 20.4 常见的参数图和三维图 407 *
;Cy=J+ 20.5 表格中的常见参数 408 ,I_^IitN 20.6 迭代指令 408 !}r%
u." 20.7 报表模版 408 ]f_6 '|5A 20.8 开始设计一个报表模版 409 {FG|\nPw 21 一个新的project 413 TM|)Ljm 21.1 创建一个新Job 414 6'RrQc=q 21.2 默认设计 415 aBw2f[mo 21.3 薄膜设计 416 yNqe8C,>e 21.4 误差的灵敏度计算 420 =n'
4?W@ 21.5 显色指数计算 422 `A,g] 1C: 21.6 电场分布 424 }-o{ASC# 后记 426 YcN!T"wJ@
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