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ND 8;1+3 内容简介 ={ 190=\9 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 l$!NEOK 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 =*y{y)B^g 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 G
jrN1+9= _J3\e%ys 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 7#T@CKdUd 目录 V-i:t,*lk( Preface 1 9x8Ai 内容简介 2 !$o9:[B 目录 i 0b,{4DOD 1 引言 1 Z>@\!$Mc 2 光学薄膜基础 2 Rg~[X5 2.1 一般规则 2 .N#grk)C 2.2 正交入射规则 3 bV@5B#] 2R 2.3 斜入射规则 6 *;.:UR[i 2.4 精确计算 7 hM(Hq4ed, 2.5 相干性 8 O}lqY?0* 2.6 参考文献 10 n^epC>a" b 3 Essential Macleod的快速预览 10 N9f;X{ 4 Essential Macleod的特点 32 &gm/@_ 4.1 容量和局限性 33 % o0.8qVJi 4.2 程序在哪里? 33 B"RZpx 4.3 数据文件 35 KR4 RIJZ_t 4.4 设计规则 35 (W`=`]! 4.5 材料数据库和资料库 37 ve=1y) 4.5.1材料损失 38 U3c !*i 4.5.1材料数据库和导入材料 39 8ax3"G 4.5.2 材料库 41 :OY7y`hRG 4.5.3导出材料数据 43 g[xn0rG 4.6 常用单位 43 +(hr5 4.7 插值和外推法 46 f^XfI H_# 4.8 材料数据的平滑 50 @/?$ ZX/e[ 4.9 更多光学常数模型 54 TUd=qnu 4.10 文档的一般编辑规则 55 *icxK 4.11 撤销和重做 56 ';x5 $5k' 4.12 设计文档 57 #+P)X_i` 4.10.1 公式 58 JvLa@E) 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 K:sC6|wG 4.10.3 沉积密度 59 &nF7CCF 4.10.4 平行和楔形介质 60 ~48mCD 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 *
@j#13. 4.10.4 性能 61 /E6Tt 4.10.5 保存设计和性能 64 8,(5Q 4.10.6 默认设计 64 3sGe#s% 4.11 图表 64 4,R1}.?BzJ 4.11.1 合并曲线图 67 YPav5<{a 4.11.2 自适应绘制 68 We#O'm 4.11.3 动态绘图 68 )8Sm}aC 4.11.4 3D绘图 69 j6)@kW9x 4.12 导入和导出 73 ?x
&"EhA> 4.12.1 剪贴板 73 FY]z*= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 9Fxz9_ i 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ;;- I<TL 4.13 背景 77 L~(`zO3f 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 T\Q)"GB 4.15 生成Rugate 84 re}P 4.16 参考文献 91 *gzX=*;x+? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 l4Y}<j\; 5.1 Jobs 92 :j,e0#+sA 5.2 创建一个新Job(工作) 93 b$ )XS 5.3 输入材料 94 ^?tF'l` 5.4 设计数据文件夹 95 +hS}msu' 5.5 默认设计 95 Lpdp'9>I 6 细化和合成 97 "%Eyb\V! 6.1 优化介绍 97 #r)c@?T@j 6.2 细化 (Refinement) 98 X\1'd,V 6.3 合成 (Synthesis) 100 Y1vSwS%{T 6.4 目标和评价函数 101 PDssEb7 6.4.1 目标输入 102 a|@^N 6.4.2 目标 103 N5[fwz
w 6.4.3 特殊的评价函数 104 nPUq+cXy]C 6.5 层锁定和连接 104 Jk7[}Jc$ 6.6 细化技术 104
Eyu?T 6.6.1 单纯形 105 Ye_)~,{,p 6.6.1.1 单纯形参数 106 -3c?Yaf" 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 l4d2i;4BK 6.6.2.1 Optimac参数 108 iwfv t^ 6.6.3 模拟退火算法 109 2$? )VXtw 6.6.3.1 模拟退火参数 109 U;4:F{3m
6.6.4 共轭梯度 111 hQgi--Msw' 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 pOip$Z 6.6.5 拟牛顿法 112 '?k*wEu 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 |nj%G< 6.6.6 针合成 113 C@L:m1fz 6.6.6.1 针合成参数 114 l+Tw#2s$ 6.6.7 差分进化 114 A_@#V)D2 6.6.8非局部细化 115 RxkcQL/Le 6.6.8.1非局部细化参数 115 7@Qz 6.7 我应该使用哪种技术? 116 -U=bC 6.7.1 细化 116 *Ta*0Fr=9| 6.7.2 合成 117 E7axINca 6.8 参考文献 117 gKS0!U 7 导纳图及其他工具 118 J%_
:A" 7.1 简介 118 P{)eZINlE 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 H6*d#! 7.2.1 四分之一波长规则 119 y_8 8I:O 7.2.2 导纳图 120 I"9S 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 4>>d
"<}C 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 SVaC)O( 7.5 斜入射导纳图 141 8fJ- XFK$: 7.6 对称周期 141 =8fp4#]7 7.7 参考文献 142 ,?7URx* 8 典型的镀膜实例 143 #G^?4Za 8.1 单层抗反射薄膜 145 Ssr
P 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 vh+IhGi 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 }}l04kN_ 8.4 W-膜层 148 ?
S>"yAoe 8.5 V-膜层 149 >t
O(S 8.6 V-膜层高折射基底 150 ~ FM5]<X) 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 qV.*sdS> 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 A3 bE3Fk$ 8.9 四层抗反射薄膜 153 cyG3le& +G 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 4jj@"*^a 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5+'1 :Sa(i 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \
M8;CN 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 =g$%. 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 $v+Q~\' 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ]7-*1kL8=~ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 $AUC#<*C 8.17 1/4波长堆栈 162 3xh~xE 8.18 陷波滤波器 163 4lE
j/#} 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 BYrj#n5 8.20 褶皱 165 5R/!e`(m 8.21 消偏振分光器1 169 .T/\5_Bx 8.22 消偏振分光器2 171 +EJIYvkFm 8.23 消偏振立体分光器 172 Q'&oSPXSDd 8.24 消偏振截止滤光片 173 INE8@}e 8.25 立体偏振分束器1 174 R-"A*/A 2 8.26 立方偏振分束器2 177 : }v&TQ 8.27 相位延迟器 178 frk(2C8T 8.28 红外截止器 179 \L(~50{( 8.29 21层长波带通滤波器 180 iu2{%S)w 8.30 49层长波带通滤波器 181 u)MdFz 8.31 55层短波带通滤波器 182 _JiB=<Fkr 8.32 47 红外截止器 183 ~%B^`s 8.33 宽带通滤波器 184 !&Vp5]c 8.34 诱导透射滤波器 186 CYmwT>P+*4 8.35 诱导透射滤波器2 188 r%JJ5Al.S 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ]i)m 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 k/?5Fs!# 8.35 增益平坦滤波器 193 Mk7,:S 8.38 啁啾反射镜 1 196 x-+Hy\^@| 8.39 啁啾反射镜2 198 gh|TlvnA 8.40 啁啾反射镜3 199 \vXo~ _-& 8.41 带保护层的铝膜层 200 |vw0:\/H 8.42 增加铝反射率膜 201 %,E\8{I+
8.43 参考文献 202 Q-_&5/G 9 多层膜 204 Jc"xH~, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (4LXoNT 9.2 内部透过率 204 yf*^Y74 9.3 内部透射率数据 205 eYMp@Cx 9.4 实例 206 K>Dn#"{Y
9.5 实例2 210 i<l_z& 9.6 圆锥和带宽计算 212 6Lr G+p` 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 (;;%B = 10 光学薄膜的颜色 216 V)72]p 10.1 导言 216 Cb5;l~}L 10.2 色彩 216 /qa{*"2Qo 10.3 主波长和纯度 220 \3LP@;Phn 10.4 色相和纯度 221 OaY.T 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 m-4P*P$X 10.6 色差 226 L\)ssOuh 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 NKd}g 10.8 颜色渲染指数 234 nj$TdwZbK 10.9 色差计算 235 ^^UT(nj 10.10 参考文献 236 (`\ DDJ[ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ~v"4;A6 11.1 短脉冲 238 jT>G8}h 11.2 群速度 239 d(9ZopJrQ 11.3 群速度色散 241 ,$s
NfW 11.4 啁啾(chirped) 245 e`9d&" 11.5 光学薄膜—相变 245 k ! l\|~ 11.6 群延迟和延迟色散 246 .R'<v^H 11.7 色度色散 246 \H^DiF%f9 11.8 色散补偿 249 !_C*2+f 11.9 空间光线偏移 256 ^)oBa=jL4 11.10 参考文献 258 Vea2 oQq 12 公差与误差 260 ]r|sU.Vl 12.1 蒙特卡罗模型 260 :}'5'oVG 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 =?]H`T: 12.2.1 误差工具 267 LH/lnrN 12.2.2 灵敏度工具 271 ovm109fTx 12.2.2.1 独立灵敏度 271 B;x5os 12.2.2.2 灵敏度分布 275 AX($LIy9P 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 P/i{_r 12.3 参考文献 276 Iv])s 13 Runsheet 与Simulator 277 }z%fQbw 13.1 原理介绍 277 3-x ;_ 13.2 截止滤光片设计 277 Y;2WY0eq 14 光学常数提取 289 )!z4LE 14.1 介绍 289 >T84NFdz+ 14.2 电介质薄膜 289 U9"g;t+/ 14.3 n 和k 的提取工具 295 ymH>]
cUm 14.4 基底的参数提取 302 J5dwd,FQ 14.5 金属的参数提取 306 (D2G.R\pr 14.6 不正确的模型 306 h</,p49gM 14.7 参考文献 311 S7pf
QF 15 反演工程 313 pmda9V4 15.1 随机性和系统性 313 \LuaI 15.2 常见的系统性问题 314 B xAyjA6 15.3 单层膜 314 R!&9RvNw 15.4 多层膜 314 XZ%3PMq 15.5 含义 319 3yGo{uW 15.6 反演工程实例 319 0O>T{< 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 6%yt"XmT 15.6.2 反演工程提取折射率 327 +_E^E 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 3CL1Z\8To 16.1 光学性质的热致偏移 329 ~mBY_[_s= 16.2 应力工具 335 we:P_\6 16.3 均匀性误差 339 wrP3:!= 16.3.1 圆锥工具 339 arK(dg~S 16.3.2 波前问题 341 |L9p. q 16.4 参考文献 343 z)%Ke~)<\@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 z
}3 `9 17.1 引言 345 _oz1'}= 17.2 操作数 345 c,>y1%V*S{ 18 如何在Function中编写脚本 351 9'5< b 18.1 简介 351 q@i>)nC R 18.2 什么是脚本? 351 &=f] a 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 *.us IH2 18.4 基础 352 Vh ?5 18.4.1 Classes(类别) 352 oU l0w~Xn 18.4.2 对象 352 )7c/i+FsC 18.4.3 信息(Messages) 352 CwjKz*'[g 18.4.4 属性 352 z`H|]${X 18.4.5 方法 353 HIGTo\]Z 18.4.6 变量声明 353 g3|k- 18.5 创建对象 354 !w1acmo<_ 18.5.1 创建对象函数 355 hKVb#|$ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 =W*Ro+wWb 18.5.3 丢弃对象 356 @[LM8 @: 18.5.4 总结 356 :>CD; 18.6 脚本中的表格 357 4Sz2
9\X 18.6.1 方法1 357 Tuz~T
_M 18.6.2 方法2 357 k1'd';gQ 18.7 2D Plots in Scripts 358 %y)]Q| 18.8 3D Plots in Scripts 359 8B?*?,n5 18.9 注释 360 '}l7=r 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 7Y?59
[ 18.11 一个更高级的脚本 362 y_``-F&Z 18.12 <esc>键 364 -{2Vz[ [ 18.13 包含文件 365 (}RTHpD 18.14 脚本被优化调用 366 /Qu<>#[? 18.15 脚本中的对话框 368 `#*`hH8 18.15.1 介绍 368 |F4)&xN\ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 g'+2bQ 18.15.3 输入框函数 370 QVF561Yz 18.15.4 自定义对话框 371 .PD_Vv>C/> 18.15.5 对话框编辑器 371 _BEDQb{"| 18.15.6 控制对话框 377 Fs}B\R/J 18.15.7 更高级的对话框 380 nP&6i5s% 18.16 Types语句 384 6&"*{E 18.17 打开文件 385 1@t8i?:h 18.18 Bags 387 Bx/)Sl@ 18.13 进一步研究 388 nt%fJ k 19 vStack 389 }ssP%c] 19.1 vStack基本原理 389 `z^50Vh| 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 %!7A" >ai 19.3 五棱镜 393 oj=%< a 19.4 光束距离 396 xyP0haE 19.5 误差 399 ov5g`uud 19.6 二向分色棱镜 399 '%&-`/x 19.7 偏振泄漏 404 = R n 19.8 波前误差—相位 405 ol1J1Zg 19.9 其它计算参数 405 >guX,hx^ 20 报表生成器 406 EK Ac>g 20.1 入门 406 &lo<sbd. 20.2 指令(Instructions) 406 } rX)A\ g6 20.3 页面布局指令 406 0h
kZ 20.4 常见的参数图和三维图 407 l\"CHwN?Y 20.5 表格中的常见参数 408 bN&DotG 20.6 迭代指令 408 29nMm>P.e 20.7 报表模版 408 e#vGrLs. 20.8 开始设计一个报表模版 409 B1j^qoC.5 21 一个新的project 413 _aU
:[v*!
21.1 创建一个新Job 414 Y=i_2R2e2 21.2 默认设计 415 ewdcAF5 21.3 薄膜设计 416 BM9:|}\J65 21.4 误差的灵敏度计算 420 qYPgn_ 21.5 显色指数计算 422 sDvy(5 21.6 电场分布 424 V#B'm?aQ 后记 426 iOk`_LG#
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