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t~e.LxN 内容简介 r" ^P>8 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 znD0&CS9q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 >[NNu Y~ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 5E4np`J k |M 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 L ej3? k 目录 ,9=5.+AJ Preface 1 wTqgH@rGtR 内容简介 2 F@[l&`7 目录 i A+>+XA' 1 引言 1 U",kAQY 2 光学薄膜基础 2 Ak&eGd$d 2.1 一般规则 2 aR+vY1d" 2.2 正交入射规则 3 ^k/@y@% 2.3 斜入射规则 6 1InG%=jLo 2.4 精确计算 7 PU[]
Nw 2.5 相干性 8 ] vQn*T"^ 2.6 参考文献 10 0rooL<~fa 3 Essential Macleod的快速预览 10 A(ql}cr 4 Essential Macleod的特点 32 *$Bx#0J8 4.1 容量和局限性 33 .*i.Z 4.2 程序在哪里? 33 w_PnEJa9 4.3 数据文件 35 0;KjP?5 4.4 设计规则 35 FZO}+ P 4.5 材料数据库和资料库 37 }mz@oEB#vF 4.5.1材料损失 38 m>DBO|` 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Xnpw'<~X 4.5.2 材料库 41 K8daSvc 4.5.3导出材料数据 43 274F+X 4.6 常用单位 43 OjFB_
N 4.7 插值和外推法 46 H+6+I53 4.8 材料数据的平滑 50 wa2?%y_G 4.9 更多光学常数模型 54 ,'Zs")Ydp 4.10 文档的一般编辑规则 55 J4"?D9T3G 4.11 撤销和重做 56 /'O?
8X< 4.12 设计文档 57 7a\at)q/y 4.10.1 公式 58 gd#+N]C_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 \AQ*T`Dq 4.10.3 沉积密度 59 "w7wd5h 4.10.4 平行和楔形介质 60 k>SPtiAs 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 9bwG3jn4? 4.10.4 性能 61 #?u#=] 4.10.5 保存设计和性能 64 #%5[8~& 4.10.6 默认设计 64 %=e^MN1 4.11 图表 64 rK(TekU 4.11.1 合并曲线图 67 wkc)2z 4.11.2 自适应绘制 68 > &tmdE 4.11.3 动态绘图 68 '(fQtQ% 4.11.4 3D绘图 69 )jm!bR` 4.12 导入和导出 73 >>%m,F[ 4.12.1 剪贴板 73 Pg4go10| 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 |q!O~<H@ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 !-B$WAV 4.13 背景 77 K-<<s 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Bc&Y[u-n 4.15 生成Rugate 84 upi\pXv 4.16 参考文献 91 !A":L0[7n 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 P.#@1_:gC 5.1 Jobs 92 o 4P>t2' 5.2 创建一个新Job(工作) 93 C@b-)In 5.3 输入材料 94 ((Uw[8#2` 5.4 设计数据文件夹 95 %/.yGAPkx 5.5 默认设计 95 PJ-g.0q 6 细化和合成 97 tK7v&[cI 6.1 优化介绍 97 ]Ub"NLYV 6.2 细化 (Refinement) 98 \&BT#8ELG 6.3 合成 (Synthesis) 100 ^J~5k,7jX 6.4 目标和评价函数 101 5LaF'>1yY 6.4.1 目标输入 102
}o[NB 6.4.2 目标 103 'u}OeS"f 6.4.3 特殊的评价函数 104 1EiSxf 6.5 层锁定和连接 104 R/EpfYOX 6.6 细化技术 104 i4Da 'Uk 6.6.1 单纯形 105 gkhmQd 6.6.1.1 单纯形参数 106 Xx,Rah)X3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 aO&!Y\=@ 6.6.2.1 Optimac参数 108 F rd>+ 6.6.3 模拟退火算法 109 /JjSx/ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 JCjV, 6.6.4 共轭梯度 111 yU|=)p5 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 T3bYj|rh= 6.6.5 拟牛顿法 112 rczwxWK 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 a! gj_ 6.6.6 针合成 113 yRy^'E~ 6.6.6.1 针合成参数 114 W
%<,GV 6.6.7 差分进化 114 y/Ui6D 6.6.8非局部细化 115 `|p8zV 6.6.8.1非局部细化参数 115 *E|#g 6.7 我应该使用哪种技术? 116 b?,''t 6.7.1 细化 116 sq_
yu( 6.7.2 合成 117 cC pNF `DN 6.8 参考文献 117 sjy/[.4- 7 导纳图及其他工具 118 ,5&
Rra/ 7.1 简介 118 L_5o7~`0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 XyYP!<].C 7.2.1 四分之一波长规则 119 8}aSSL] 7.2.2 导纳图 120 @yNCWa~N 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 (j&7`9<5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 _ |G') 9 7.5 斜入射导纳图 141 / _Fi4wZ 7.6 对称周期 141 g?rK&UTU 7.7 参考文献 142 09 vm5| 8 典型的镀膜实例 143 9~v#]Q}Z}4 8.1 单层抗反射薄膜 145 .h-k*F0Ga) 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 iw^"?:'% 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 i4<n#]1!t 8.4 W-膜层 148 TBmmC}PEd 8.5 V-膜层 149 b"(bT6XO! 8.6 V-膜层高折射基底 150 LIRL`xU7 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 PTpGZ2FZ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 H,(4a2zx 8.9 四层抗反射薄膜 153 ._p^0UxT 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ua!RwSo 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Va$JfWef 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Q"k #eEA 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 obK6GG?ZE 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 NchEay;` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 6$G@>QCBS 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 $-uMWJ)l 8.17 1/4波长堆栈 162 08z?i 8.18 陷波滤波器 163 \ccCrDz 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 j34lPo ` 8.20 褶皱 165 qf*e2"~v 8.21 消偏振分光器1 169 ^.>XDUO F 8.22 消偏振分光器2 171 ub-vtRpm 8.23 消偏振立体分光器 172 &ER,;^H`6 8.24 消偏振截止滤光片 173 s;,ulME 8.25 立体偏振分束器1 174 "|GX%>/ 8.26 立方偏振分束器2 177 to#T+d.(v 8.27 相位延迟器 178 `aM8L 8.28 红外截止器 179 w1)SuMFK_ 8.29 21层长波带通滤波器 180 b/UjKNf@ 8.30 49层长波带通滤波器 181 *40Z}1ng 8.31 55层短波带通滤波器 182
txix
= 8.32 47 红外截止器 183 pW5PF)([ 8.33 宽带通滤波器 184 yb-/_{Y 8.34 诱导透射滤波器 186 D n}TO*
8.35 诱导透射滤波器2 188 }/VSIS@Z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *}Gu'EU 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 R]y9>5 'U 8.35 增益平坦滤波器 193 E#`JH 8.38 啁啾反射镜 1 196 u4~(0 8.39 啁啾反射镜2 198 :i]g+</ 8.40 啁啾反射镜3 199 oI9-jW 8.41 带保护层的铝膜层 200 QW>(LG G= 8.42 增加铝反射率膜 201 7WN$ rl5/ 8.43 参考文献 202 .KxE>lJbqM 9 多层膜 204 pjNH0mZ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 y0
qq7Dmu 9.2 内部透过率 204 l]mn4cn3 9.3 内部透射率数据 205 ^jg{MTa 9.4 实例 206 Op
;){JT 9.5 实例2 210 \\,z[C 9.6 圆锥和带宽计算 212 f/e2td*A 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
?`Som_vKO 10 光学薄膜的颜色 216 {-,^3PI\ 10.1 导言 216 "dBCS 10.2 色彩 216 AK5$>Pkvk 10.3 主波长和纯度 220 Wg5i#6y8w 10.4 色相和纯度 221 ` L?9-)m<f 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 dWhF[q" 10.6 色差 226 *,oZ]! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 21G:!t4/?n 10.8 颜色渲染指数 234 jY5BVTWnV 10.9 色差计算 235 Y^CbpG&-vC 10.10 参考文献 236 bHH=MLZR: 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 P7p'j 11.1 短脉冲 238
91bJ7% 11.2 群速度 239 da53XEF& 11.3 群速度色散 241 Abf=b<bu 11.4 啁啾(chirped) 245 fY9/u = 11.5 光学薄膜—相变 245 7`6JK 11.6 群延迟和延迟色散 246 c}g:vh 11.7 色度色散 246 sTGe=}T8 11.8 色散补偿 249 G/C5o=cY 11.9 空间光线偏移 256 QTjOLK$e$ 11.10 参考文献 258 i4oBi]$T 12 公差与误差 260 #L,5;R{` 12.1 蒙特卡罗模型 260 -Fs^^={Q 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ]qk/V:H: 12.2.1 误差工具 267 h\^> s$ 12.2.2 灵敏度工具 271 Zx}.mt#}8 12.2.2.1 独立灵敏度 271 8yc?9&/| 12.2.2.2 灵敏度分布 275 7<VfE`Q3 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 S+C^7# lT 12.3 参考文献 276 6'N!)b^- 13 Runsheet 与Simulator 277 J#y?^Qm$)< 13.1 原理介绍 277 ^NTOZ0x~# 13.2 截止滤光片设计 277 a4M`Bk;mb 14 光学常数提取 289 VClw!bm 14.1 介绍 289 GQ8r5V4: 14.2 电介质薄膜 289 $0K%H 14.3 n 和k 的提取工具 295 D;Jb'Be 14.4 基底的参数提取 302 g1`/xJz| 14.5 金属的参数提取 306 #Rdq^TGMi; 14.6 不正确的模型 306 c=p @l<) 14.7 参考文献 311 l7r!fAV-f 15 反演工程 313 xbA% 'p 15.1 随机性和系统性 313 k&P_ c 15.2 常见的系统性问题 314 WwDxZ>9jw 15.3 单层膜 314 L%.GKANM 15.4 多层膜 314 8}W06k>)% 15.5 含义 319 Lay+)S.ta[ 15.6 反演工程实例 319 B$ )6X 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 :22IY>p 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ^50/.Z> 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 a;`-LOO5& 16.1 光学性质的热致偏移 329 $V)LGu2(m 16.2 应力工具 335 Q( KLx ) 16.3 均匀性误差 339 z,oqYU\: 16.3.1 圆锥工具 339 >9g` 9hB 16.3.2 波前问题 341 e+F5FAMR68 16.4 参考文献 343 RfB""b8]= 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^"%SHs 17.1 引言 345 Zh.fv-Ecp 17.2 操作数 345
l%A~3 18 如何在Function中编写脚本 351 sy`:wp 18.1 简介 351 k852M^JP 18.2 什么是脚本? 351 '.@R_sj 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 sHrpBm&O4 18.4 基础 352 bkl'0
p 18.4.1 Classes(类别) 352 %Ys>PzM 18.4.2 对象 352 G1~|$X@@ 18.4.3 信息(Messages) 352 v}]x>f 18.4.4 属性 352 ?Y'S
/ 18.4.5 方法 353 l1N{ujM 18.4.6 变量声明 353 5e,Dk0d 18.5 创建对象 354 GD'C^\EaZ 18.5.1 创建对象函数 355 ]T(O;y*m 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 7Yxy2[ 18.5.3 丢弃对象 356 G6eC.vU]j 18.5.4 总结 356 bYdC.AE 18.6 脚本中的表格 357 (`18W1f5W 18.6.1 方法1 357 S_:(I^ 18.6.2 方法2 357 n a2"Sy=Yi 18.7 2D Plots in Scripts 358 C)z[Blt 18.8 3D Plots in Scripts 359 ;?2vW8{p< 18.9 注释 360 VSZ 6;&2^ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 =O)JPo&iwY 18.11 一个更高级的脚本 362 {zUc*9 18.12 <esc>键 364 ["Q8`vV0WO 18.13 包含文件 365 :<&}/r 18.14 脚本被优化调用 366 ^l^_ K)tw* 18.15 脚本中的对话框 368 %1VMwqC]E 18.15.1 介绍 368 oJ8_hk<Va8 18.15.2 消息框-MsgBox 368 D-3/?"n 18.15.3 输入框函数 370 !Y]}&pUP 18.15.4 自定义对话框 371 fsjA7)/ 18.15.5 对话框编辑器 371 y=vH8D]%X 18.15.6 控制对话框 377 kFM'?L& 18.15.7 更高级的对话框 380 cT0utR& 18.16 Types语句 384 R~w(] 18.17 打开文件 385 p!aeL}g` 18.18 Bags 387 X=\#n-* 18.13 进一步研究 388 4!k={Pd 19 vStack 389 t48(GKF 19.1 vStack基本原理 389 $xu?zd" 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 y-n\;d>[( 19.3 五棱镜 393 -'PpY302 19.4 光束距离 396 `FJnR~d
19.5 误差 399 j|`{
1`' 19.6 二向分色棱镜 399 ;7`<.y 19.7 偏振泄漏 404 ~#a1]w 19.8 波前误差—相位 405 _f3A6ER` 19.9 其它计算参数 405 ]Hd0
Y% 20 报表生成器 406 dWqFP 20.1 入门 406 9x?;;qC"m9 20.2 指令(Instructions) 406 (C-z8R
Z6 20.3 页面布局指令 406 0= 'DDy 20.4 常见的参数图和三维图 407 doR'=@ W 20.5 表格中的常见参数 408 i9!Urq- 20.6 迭代指令 408 4G>|It 20.7 报表模版 408 [QZ~~(R 20.8 开始设计一个报表模版 409 |O4A+S 21 一个新的project 413 AVyZ#`, 21.1 创建一个新Job 414 +rT( 21.2 默认设计 415 %UQ?k:aWp| 21.3 薄膜设计 416 @6j*XF 21.4 误差的灵敏度计算 420 W;N/Y3Lb 21.5 显色指数计算 422 5R=lTx/Hj 21.6 电场分布 424 y{<#pS. 后记 426 'o7PIhD"
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