[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 O^:h_L  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 9..k/cH  
#(H_w4  
1）标量衍射理论设计 D^~gq`/)  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 aVb]H0  
*LVM}| f  

图片:2.jpg

         w~&]gyf  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ZL>V9UWN  
                           `lhLIQ'j  

图片:23.jpg

-T8 gV1*(<  
（b）达曼光栅衍射效率 gK(4<PO'  
dNobvK  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 a3 x~B=E  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 <7^~r(DP  
H^g<`XEgw  

图片:untitled.jpg

                               Kd)m"9Cc  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） QFPx4F7(e  
 R'/wOE2  

图片:untitled2.jpg

NjxW A&[ng  
（b）达曼光栅衍射效率 SS~Q;
9o  
sdWl5 "  
3）rsoft仿真 xNkY'4%  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
"BRE0Ir:  
cZ>W8{G  

图片:捕获77.JPG

                 ->8q, W2A  
（a）标量衍射结果结构图    
aC:l;  
H~i],WD  

图片:捕88获.JPG

AF$o>f  
（b）衍射效率             j%;)CV G"  
zf~zYZSr  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 r<v%Zp  
BT3O_X`u  

图片:1获.JPG

                       H\mVK!](D  
（a）矢量衍射结果结构图   D8Rmxq!  
oDUMoX%4s  

图片:捕获.JPG

                               63S1ed[  
（b）衍射效率     e9_+$Oo  
6W;kIoB  
2、偶数型达曼光栅设计 ]F;]<_  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 `uA&w}(G  

图片:捕获55.JPG

                     "S`wwl  
（a）结构图 --`LP[l
l  
%}XMhWn{  

图片:捕获66.JPG

i(;-n_:,`  
（b）衍射效率                                                                     >;v0zE  
NRSse"  

图片:捕获55.JPG

                                   "v!HKnDT  
（a）结构图 "NH+qQhs  
~q(C j"7  

图片:捕获66.JPG

       vw] D{OBv*  
（b）衍射效率