[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 &"?99E>  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 GKbbwT0T|  
)@p?4XsT4J  
1）标量衍射理论设计 eZ$M#I=o  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。
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ySB0"bl  

图片:2.jpg

         Y]_$+Si:NK  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ?K;l 5$?%  
                           gkX7,J-0  

图片:23.jpg

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（b）达曼光栅衍射效率 A|,qjiEJCc  
@}19:A<'  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 CPL,QVO9  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 aNs8T`  
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图片:untitled.jpg

                               x N7sFSV@  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 6:L2oW 6}{  
98)C 7N'  

图片:untitled2.jpg

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（b）达曼光栅衍射效率 ]v0Z[l>yf  
q2r$j\L%  
3）rsoft仿真 &XdTY +  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Kj
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>_xuXEslUz  

图片:捕获77.JPG

                 j:qexhtho  
（a）标量衍射结果结构图     Mo<q(_ZeRP  
Be6+YM5Cl  

图片:捕88获.JPG

WF-jy7+  
（b）衍射效率             $=Ns7Sbup  
tHo|8c~[  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 "OA{[)fw"  
=-_hq'il  

图片:1获.JPG

                       {;E
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（a）矢量衍射结果结构图   Cl9rJ oT  
t1U+7nM  

图片:捕获.JPG

                               '.;{"G.@'  
（b）衍射效率     #qmsZHd}b  
122s7A  
2、偶数型达曼光栅设计 4Ngp  -  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 qrp@   

图片:捕获55.JPG

                     utBrH  
（a）结构图 `'^o45  
hdi0YL  

图片:捕获66.JPG

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T}Wx/aT  
（b）衍射效率                                                                     <xF]ca  
uoOUgNwGg  

图片:捕获55.JPG

                                   |dbKK\ X9  
（a）结构图 \o/eF&  
;Vc|3  

图片:捕获66.JPG

       +-(,'slov  
（b）衍射效率