[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 9OP d'f  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 7|IW\  
Hya*7l']B  
1）标量衍射理论设计 5v!Uec'+  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 +qjW;]yxP  
Yb414K  
         \fh.D/@  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） a]$KI$)e  
                           PDM>6U
 
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（b）达曼光栅衍射效率 x&8fmUS:@;  
,tmo6D62  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 EtN"K-X  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ?9 2+(s  
!X*L<)=nh  
                               cb|`)"<HN  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） +oe ~j\=  
$F;$-2  
:IbrV@gN{@  
（b）达曼光栅衍射效率 ]!0 BMZmf  
c$@,*c 0n  
3）rsoft仿真 +1F@vag7  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） HwM:bY N  
}me]?en_Ra  
                 eHd{'J<  
（a）标量衍射结果结构图     Br1JZHgA  
)bPwB.}kq  
st/Tb/  
（b）衍射效率             9`-ofwr'|  
Q]a5]:0  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 .#rI9op  
A3!NEFBK  
                       S3btx9y{  
（a）矢量衍射结果结构图   Wb/@~!+i`  
[Z~>7ayF+)  
                               ur9-F^$  
（b）衍射效率     YWd:Ok0  
B=|yjA'Fg  
2、偶数型达曼光栅设计 QO%>RG  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 _mA[^G=gY  
                     y)Ip\.KV\  
（a）结构图 i|.!*/qF  
\#G`$JD  
$5%tGFh  
（b）衍射效率                                                                     Ho\K %#u
 
LEHlfB#z`@  
                                   .E[k}{k,  
（a）结构图 2Xe2%{  
5wP(/?sRy  
       t~,!a?S7  
（b）衍射效率