[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 /pkN=OBR  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 v.*fJ  
6p@[U>`  
1）标量衍射理论设计 (`slC~"  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 vCej( ))  
J|hVD  

图片:2.jpg

         s]e`q4ip  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） tq,^!RSbZ  
                           wEq&O|Vj  

图片:23.jpg

VOC$Kqg;  
（b）达曼光栅衍射效率 >`3F`@1L0  
A",}Ikh='`  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Y,L[0%  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 iVnMn1h  
Ax\d{0/oL2  

图片:untitled.jpg

                               "5dke^yk0  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 4Th?q
{X  
Z  #  

图片:untitled2.jpg

@i> r(
X  
（b）达曼光栅衍射效率 1P"{TMd?  
Fs~*-R$  
3）rsoft仿真 D^h! ].3 T  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） L'a+1O1q&i  
8mmnnf{P  

图片:捕获77.JPG

                 j;48Yya'  
（a）标量衍射结果结构图     &b^_~hB:q  
u0<yGsEGD  

图片:捕88获.JPG

>Vx_Xv`Jwb  
（b）衍射效率             %Iflf]l  
w%TrL+v  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 &n8Ja@Y]  
qT$IV\;_  

图片:1获.JPG

                       _1Rw~}O  
（a）矢量衍射结果结构图   ` ;mQ"lO  
R+ \%  

图片:捕获.JPG

                               <z%**gP~G  
（b）衍射效率     'bLP#TAzf  
ID`C  
2、偶数型达曼光栅设计 |*w)]2Bl  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 >&e=0@?+G  

图片:捕获55.JPG

                     xx1lEcj  
（a）结构图 E<tR8='F  
N;YF
r  

图片:捕获66.JPG

3 eF c  
（b）衍射效率                                                                     Dz$w6d  
tA4Ra,-c  

图片:捕获55.JPG

                                   'OTZ&;7
{  
（a）结构图 %E#Ubm!  
-3? <Ja  

图片:捕获66.JPG

       E0VAhN3G\  
（b）衍射效率