[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 mL~z~w*s  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 uhV0J97  
)'Wb&A'  
1）标量衍射理论设计 W9t"aZor  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 j<pw\k{i  
JK#vkCkyM  

图片:2.jpg

         Sd IX-k.  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 6zIgQ4Bp24  
                           1\dn1Hh  

图片:23.jpg

`\<37E\N}  
（b）达曼光栅衍射效率 NYABmI/0c  
"0jJh^vk  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Lt#'W  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 :L0/V~D  
-~)OF  

图片:untitled.jpg

                               /?"8-0d  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） lH|LdlX  
OMihXt[  

图片:untitled2.jpg

g^kx(p<u`  
（b）达曼光栅衍射效率 OlxX.wP  
-Uo?WXP]B'  
3）rsoft仿真 N0n^L|(R  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） \'19BAm'  
*.f2VQ~H  

图片:捕获77.JPG

                 v_PdOp[ k  
（a）标量衍射结果结构图     <Y'>F!?#  
d0
er^ ~  

图片:捕88获.JPG

SC#sax4N!=  
（b）衍射效率             (}!C4S3#  
+rNkN:/L  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 OySy6IN]q  
S"snB/  

图片:1获.JPG

                       XeUC0K[D  
（a）矢量衍射结果结构图   ]*%+H|l  
~3
WL)%  

图片:捕获.JPG

                               ED![^=  
（b）衍射效率     NWmtwS+@  
V7=SV:+1or  
2、偶数型达曼光栅设计 ]!YtH]
}  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 1M%S g
V-#  

图片:捕获55.JPG

                     N4^5rrkL  
（a）结构图 FQeYx-7  
!UV5zmS  

图片:捕获66.JPG

j!#OG  
（b）衍射效率                                                                     >tRHNB_  
`T!#@&+  

图片:捕获55.JPG

                                   ;~zNqdlH  
（a）结构图 xc'vS>&  
;Fl<v@9  

图片:捕获66.JPG

       va{#RnU  
（b）衍射效率