1、奇数型达曼
光栅设计
{[Q0qi = 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
3+7^uR$/I4 ,F QdtNMap 1）标量衍射理论设计
2h 30\/xkU 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
z +2V4s = w[Gh+L30=5 
']6VB,c` （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
?@6b>='! )4Q?aMm 
Z@D*1 \TG= （b）达曼光栅衍射效率
jZfx Jm 1MkI0OZE
2）矢量衍射理论RCWA算法设计
^W83 ByP 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
m@Ev~~; /Wk9-uH 
E|"= .
T （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
1r[@(c0 ZsP2>%" 
)YW<" $s （b）达曼光栅衍射效率
6&v? ) o 0CvsvUN@ 3）rsoft仿真
vy@rQC %9 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
v"u^M-_ UnWW/]E 
}WFf''Z- （a）标量衍射结果结构图
Hq &"+1F 8am`6;O:! 
0 5\dl （b）衍射效率
@!=\R^#p 5@osnf? rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
OqhD7 + @# P0M--X 
RH)EB<PV （a）矢量衍射结果结构图
Zzua17
ytEC 
fCAiLkT,C[ （b）衍射效率
eZhPu'id\s D?jk$^p~m# 2、偶数型达曼光栅设计
1a0kfM$ 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
AtS;IRN@ 
[ Mg8/Oy （a）结构图
l kIn%=Z b}OD WdJ1 
1xyU （b）衍射效率
/ RZR} < O*6 T%; 
wHjLd$ +o （a）结构图
N8cAqr !4@G3Ae22 
=%)+%[wv （b）衍射效率
