[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ><HHO (74X  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 8kRqF?rbj  
(m~gG|n4  
1）标量衍射理论设计 e`7dRnx&0  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 C"gH
>G  
f"Z2,!Z;  

图片:2.jpg

         r@30y/C  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） SjmWl
f,  
                           :TZ</3Sw  

图片:23.jpg

K(: _52rt  
（b）达曼光栅衍射效率 xY=%+o.?*  
-W\1n#J  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 vl"{ovoC  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 N!Q~?/!d  
lQ{o[axT
 

图片:untitled.jpg

                               yGs:3KI  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） {0~xv@ U  
Cqra\  

图片:untitled2.jpg

V,?BVt  
（b）达曼光栅衍射效率 ,|7!/]0&  
"J=A(w5   
3）rsoft仿真 ExW3LM9(  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）  %&81xAt  
37U2Tb!y'  

图片:捕获77.JPG

                 e.n*IJ_fz  
（a）标量衍射结果结构图     D|gI3i  
/ygC_,mx  

图片:捕88获.JPG

&2Q0ii#Aa  
（b）衍射效率             kw$*o k  
a*N<gId  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 wRCv?D`vV  
,UA-Pq3}  

图片:1获.JPG

                       P.>5`^  
（a）矢量衍射结果结构图   G,-x+e"  
0{k*SCN#  

图片:捕获.JPG

                               qy^sdqHl@  
（b）衍射效率     _yu_Ev}R  
abczW[\  
2、偶数型达曼光栅设计 "b6ew2\  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ;XDGlv%  

图片:捕获55.JPG

                     TPi=!*$&  
（a）结构图 >$/PfyY7@#  
vUD>+
*D  

图片:捕获66.JPG

6<`tb)_2~  
（b）衍射效率                                                                     lD]/Kx  
[7+dZL[  

图片:捕获55.JPG

                                   (\A~SKEX  
（a）结构图 2`V[Nb  
-+H?0XN  

图片:捕获66.JPG

       .CAcG"42  
（b）衍射效率