[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 wEl/s P  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 US<l4  
c&g*nDuDj  
1）标量衍射理论设计 C)cuy7<  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 cf\GC2+"^$  
$b)k  
         i@=(Y~tD`  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ;IT'6m`@W  
                           z|<?=c2P  
BtF7P}:MGf  
（b）达曼光栅衍射效率 P(p|NRD@1  
 ,}^FV~  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 \5#eBJ  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Q*9Y.W.8  
g T0@pxl  
                                fTGVG  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） >4?735f=x  
AD7&-=p&w  
q3u:Tpn4%  
（b）达曼光栅衍射效率 T9YrB  
5[`f(;  
3）rsoft仿真 iG{xDj{CKv  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） i@ehD@.dH  
%\1W0%w  
                 :>3?|Z"Aj  
（a）标量衍射结果结构图     }n k[WW  
T?*f}J  
u"U7aYGkY  
（b）衍射效率             <SSkCw  
3oApazH*  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ]&"01M~+K  
O]?PC^GGY  
                       Sj<]~*y"  
（a）矢量衍射结果结构图   j HEt   
,a":/ /[  
                               l-8rCaq&J  
（b）衍射效率     I(qFIV+HR  
whQJWi=ck  
2、偶数型达曼光栅设计 V17!~  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 .|KBQMI  
                     $OaxetPH  
（a）结构图
$AdBX}{  
H ;)B5C  
]}
9[ys  
（b）衍射效率                                                                     n"Wlfd0  
(JT 273  
                                   AK&=/[U>  
（a）结构图 8-x)8B  
kK.[v'[>&  
       && b;Wr  
（b）衍射效率