[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 z
%V*K  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ll^DY hx}  
EeCFII  
1）标量衍射理论设计 %}C9
  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ./l|8
o  
7*i}km  

图片:2.jpg

         &hayR_F9  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 0G5'Y;8  
                           y%4 Gp  

图片:23.jpg

2H[ ; v+  
（b）达曼光栅衍射效率 +?;j&p  
M% @  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 bM"fk&  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 M>T[!*nTj
 
bGN 54{f  

图片:untitled.jpg

                               cw;co@!$  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） `<^*jB@P  
Z,WubX<  

图片:untitled2.jpg

ASW4,%cl  
（b）达曼光栅衍射效率 lEHwZ<je  
pI>*u ]x  
3）rsoft仿真 %M9;I  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） -#aZF2z  

0Uw ^FcW  

图片:捕获77.JPG

                 cZ|lCy^  
（a）标量衍射结果结构图     x=-0zV  
IIxJqGN:  

图片:捕88获.JPG

|5,<jyp  
（b）衍射效率             ~:[!Uyp0b  
q#NR32byF  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 XJSa]P^B1  
@9 )}cg  

图片:1获.JPG

                       M)JADX  
（a）矢量衍射结果结构图   P16YS8$  
/s|{by`we4  

图片:捕获.JPG

                               CWi8Fv  
（b）衍射效率     }c% pH{HI  
,r=re!QI7  
2、偶数型达曼光栅设计 ',ZF5T5z@  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 WPo:^BD   

图片:捕获55.JPG

                     5
y   
（a）结构图 :CaTP%GW  
S`iR9{+&  

图片:捕获66.JPG

p@ygne4  
（b）衍射效率                                                                     0xCz'mJ  
Es.nHN^]%K  

图片:捕获55.JPG

                                   tnb$sulc+  
（a）结构图 ~Ky4+\6o>  
,l HLH  

图片:捕获66.JPG

       !msNEE@[  
（b）衍射效率