[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 PfZ+PqS  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 I*`*Q$  
-%I2[)F<   
1）标量衍射理论设计 Px
fY&;4n!  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 w#g#8o>'  
X 51Yfr  

图片:2.jpg

         xu'yVt9RC  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Vb'7>  
                           @-&s: Qli  

图片:23.jpg

*<u2:=_s  
（b）达曼光栅衍射效率 bpxeznz  
&zuG81F6  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Kk{<@v)  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 V}zEK0n(6  
D2,z)O%VK  

图片:untitled.jpg

                               }nMPSerE  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Zw~
+Pb  
_BDK`D  

图片:untitled2.jpg

B.L]Rk\4  
（b）达曼光栅衍射效率 E=#0I]v[  
dzkw$m^@^  
3）rsoft仿真 HWVtop/  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 9,^_<O@Q  
]J#9\4Sq  

图片:捕获77.JPG

                 nO)X!dp}J  
（a）标量衍射结果结构图     EMc;^ d  
l#}.^71+  

图片:捕88获.JPG

t&(PN%icD  
（b）衍射效率             E~AjK'Z  
KW7UUXL  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 oy;K_9\  
QzAK##9bfa  

图片:1获.JPG

                       ]]"jw{W}A  
（a）矢量衍射结果结构图   p3}?fej&|  
HdLH2+|P;D  

图片:捕获.JPG

                               BY]i;GVq  
（b）衍射效率     ,do58i K  
?SC[G-
b  
2、偶数型达曼光栅设计 YOJ6w  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 N72Yq)(  

图片:捕获55.JPG

                     EFc-foN  
（a）结构图 1DA1N<'  
3S&U!  

图片:捕获66.JPG

<u=4*:QE  
（b）衍射效率                                                                     NVl [kw  
0Ld@H)  

图片:捕获55.JPG

                                   !L95^g  
（a）结构图 ]K*8O<  
@l0|*lo%  

图片:捕获66.JPG

       ,p9i%i  
（b）衍射效率