[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 &bTCTDZh  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 V%-hP~nyBx  
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1）标量衍射理论设计 t<rIg1  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ,dRaV</2  
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  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） lY,^  
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（b）达曼光栅衍射效率 ^I
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 2@S}x@^  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 +Tum K.  
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                               JBY.er`6C  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） TFXBN.?9T  
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（b）达曼光栅衍射效率 t}+/GSwT  
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3）rsoft仿真 tpWGmjfo>  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） &nEL}GM)E  
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                 OnTe_JML  
（a）标量衍射结果结构图     eiK_JPFA-  
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（b）衍射效率             Sa g)}6+  
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 +M"j#H  
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（a）矢量衍射结果结构图   FGDVBUY@  
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                               }`qAb/Ov  
（b）衍射效率     D4VDWv  
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2、偶数型达曼光栅设计 8'PZA,CW  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 lDL&":t  
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（a）结构图 V'vWz`#  
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（b）衍射效率                                                                     [=K lDfU=  
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（a）结构图 cx[^D,usf~  
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（b）衍射效率