[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 |Ua);B~F  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 MsIR~  
,#XXwm ^I  
1）标量衍射理论设计 "`;-5dg  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ,x\qYz+7|  
jTS8 qu  

图片:2.jpg

         O1\4WG%  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） <oXBkCi0r  
                           ]U#of O  

图片:23.jpg

=R:O`qdC4e  
（b）达曼光栅衍射效率 @:im/SE  
&j~9{ C  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 /SJ><  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 /,SVG1  
{_!,T%>+1  

图片:untitled.jpg

                               jUD^]
Qs  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Z'A 3\f   
yf*'=q  

图片:untitled2.jpg

8GBKFNR8  
（b）达曼光栅衍射效率 KC"S06  
^P{y^@XI  
3）rsoft仿真 xbi\KT`~  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 1>[#./@  
>&\.{ aj  

图片:捕获77.JPG

                 I
Tl>HlS  
（a）标量衍射结果结构图     vJs6nVbK  
,|z@Dy  

图片:捕88获.JPG

Ytc[ kp  
（b）衍射效率             dG+$!*6Z  
N( 7(~D=)B  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 3XB`|\:  
)o:sDj`b]  

图片:1获.JPG

                       Jqzw94  
（a）矢量衍射结果结构图   [*u\S  
`StuUa  

图片:捕获.JPG

                               _N:$|O#  
（b）衍射效率     v6G1y[Wl  
|11vm
#  
2、偶数型达曼光栅设计 Pm#/j;  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ]O}e{Q>  

图片:捕获55.JPG

                     T-yEn&r4)  
（a）结构图 %7-(c  
dLGHbeZ[(  

图片:捕获66.JPG

7C
p/{l;d  
（b）衍射效率                                                                     s#<fj#S  
:' 5J[]J  

图片:捕获55.JPG

                                   4<tbZP3/6)  
（a）结构图 EKO'S+~  
tBkgn3w  

图片:捕获66.JPG

       $@kOMT  
（b）衍射效率