1、奇数型达曼
光栅设计
oD 3Q{ e 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
m2v'zJd}g U-pBat.$'C 1）标量衍射理论设计
&I7T ? 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
/E^j}H{ 9t+:L(*pK 
$g '4' （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
RU +F~K< C *]XQ1F4 
qdxDR
2]U （b）达曼光栅衍射效率
T854}RX[{ |vY|jaV } 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
u& < NBxY 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
'@f#GNRT TGzs| - 
&uXu$)IZ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
tUhr gc !m?W+ z~J 
5@EX,$h （b）达曼光栅衍射效率
Fiaeo0 )NnkoCNeE 3）rsoft仿真
x }i'2 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
%B(E;t63W qb KcI+)47 
`o6T)49 （a）标量衍射结果结构图
vPM 2cc/o j1K?QH=e#{ 
$: qrh66 （b）衍射效率
FB
n . 4 YzYj/,?r rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
Bi|-KS.9 ZmZ7E]c 
oB% j3aAH （a）矢量衍射结果结构图
#Kt5+"+7 vjd;*ORB 
<zp|i#~ （b）衍射效率
gPF5|% 3) UB7C,:" 2、偶数型达曼光栅设计
;_E][m 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
~"22X`;h[G 
w
C-x' （a）结构图
Y 016Xg5 a ]=j 
%i@ Jw （b）衍射效率
A2"$B\j1 j,v2(e5: 
\< x{U3 q5 （a）结构图
c{!X DiT]P ty b-VO 
4H hQzVM{ （b）衍射效率
