1、奇数型达曼
光栅设计
izebQVQO* 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
``nuw7\C: 2o] V q 1）标量衍射理论设计
)-xx$0mL- 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
MH. ,dB& Lco JltY{5 
mQ;b'0& （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
89v9BWF Y#V`i K 
+XLy Pj （b）达曼光栅衍射效率
\zR@FOl`q u >
XCE|D* 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
(@B
gsY 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
#Q.A)5_ D.kLx @Z 
\sEq
r)\k （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
JfxD-9U^>u hD/bgquT 
0.'$U}#b （b）达曼光栅衍射效率
<.HX_z3l 0j %s
H 3）rsoft仿真
ts`c_hH,1' 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
@] uvpI!h #K.OJJaG 
H5'/i; （a）标量衍射结果结构图
x9 bfH1 F" FGPk 
\HF|&@}hU （b）衍射效率
*v
1hMk d Yrw&gn rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
^ # B`GV 3.Z}2F] 
.K]n< +zW （a）矢量衍射结果结构图
5 ,cq-` }enm#0Ha 
:V*c9,>ZO （b）衍射效率
x o k8 X31[ 2、偶数型达曼光栅设计
vnwS &;-k~ 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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ZX[ @P?A+- （a）结构图
`qnSq(tNq FBJw ( .Jr 
Yj)H!Cp.xD （b）衍射效率
xTiC[<j _^]2??V 
1vk& ; （a）结构图
ZFpi'u.& }c|)i,bL 
8MqKS}\H （b）衍射效率
