1、奇数型达曼
光栅设计
=5/9%P8j9 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
y(CS5v#FG {`LU+ 1)标量衍射理论设计
DW5Y@;[
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
5nT"rA LBM ^9W
o0ifp=V
y (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
NG "C&v v"b+$*
(tIo:j (b)达曼光栅衍射效率
&cxRD gW>uR3Ca4 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
Fl kcU
`j 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
tzZ`2pSh wy0tgy(' |
8u6:=fxb (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
6-z%633DL %?}33yV
95 ;x=ju (b)达曼光栅衍射效率
7"sD5N/>uh fZ0M%f 3)rsoft仿真
NdMb)l)m 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
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ABQ('#78 (a)标量衍射结果结构图
=]6%G7T `UD/}j@
ar__ Pf6r (b)衍射效率
)wC?T (gP)% rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
lR )67a ~Sj9GxTe
NQBpX (a)矢量衍射结果结构图
1S{D6#bE vdAr|4^qB
rp3V3]EE (b)衍射效率
"I3@m%qv ?9e_gV{&; 2、偶数型达曼光栅设计
gG0!C))8 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
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U#lCj0iUt, (a)结构图
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@Ivh (b)衍射效率
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6 Q%jA7 (a)结构图
e7^mmm aS{|uE]
A,JmX (b)衍射效率