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    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 =5/9%P8j9  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 y(CS5v#FG  
    {`LU+  
    1)标量衍射理论设计 DW5Y@;[  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 5nT"rA  
    LBM ^9W  
             o0ifp=V y  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) N G "C&v  
                               v"b+$*  
    (tIo:j  
    (b)达曼光栅衍射效率 &cxRD  
    gW>uR3Ca4  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 Fl kcU `j  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 tzZ`2pSh  
    wy0tgy(' |  
                                   8u6:=fxb  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) 6-z%633DL  
    %?}33yV  
    95 ;x=ju  
    (b)达曼光栅衍射效率 7"sD5N/>uh  
    fZ0M%f  
    3)rsoft仿真 NdMb)l)m  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) e+~\+:[?  
    }+.}J  
                     ABQ('#78  
    (a)标量衍射结果结构图     =]6%G7T  
    `UD/}j@  
    ar__ Pf6r  
    (b)衍射效率             )wC?T  
    (gP)%  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 lR )67a  
    ~Sj9GxTe  
                           NQBpX  
    (a)矢量衍射结果结构图   1S{D6#bE  
    vdAr|4^qB  
                                   rp3V3]EE  
    (b)衍射效率     "I3@m%qv  
    ?9e_gV{&;  
    2、偶数型达曼光栅设计 gG0!C))8  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 #.rdQ,)<  
                         U#lCj0iUt,  
    (a)结构图 yA)/Q Yge  
    ZP@ $Q%up  
    _K]_ @Ivh  
    (b)衍射效率                                                                     uatm/o^~,  
    (SpX w,:  
                                       6 Q%jA7  
    (a)结构图 e7 ^mmm  
    aS{|uE]  
           A,JmX  
    (b)衍射效率    
     
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