1、奇数型达曼
光栅设计
=5/9%P8j9 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
y(CS5v#FG {`LU+ 1）标量衍射理论设计
DW5Y@;[
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
5nT"r A LBM ^9W 
o0i fp=V
y （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
N G " C& v v"b+$* 
(tIo: j （b）达曼光栅衍射效率
&cxRD gW>uR3Ca4 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
Fl kcU
`j 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
tzZ`2pS h wy0tgy(' | 
8u6:=fxb （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
6-z%633DL %?}33yV
95 ; x=ju （b）达曼光栅衍射效率
7"sD5N/>uh fZ 0M%f 3）rsoft仿真
NdMb)l)m 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
e+~\+:[? }+.}J 
ABQ('#78 （a）标量衍射结果结构图
=]6%G7T `UD/}j@ 
ar__ Pf6r （b）衍射效率
)wC?T (gP)% rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
lR )67a ~Sj9GxTe 
NQBpX （a）矢量衍射结果结构图
1S{D6#bE vdAr|4^qB 
rp3V3 ]EE （b）衍射效率
"I3@m%qv ?9e_gV{&; 2、偶数型达曼光栅设计
gG0!C))8 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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U#lCj0iUt, （a）结构图
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@Ivh （b）衍射效率
uatm/o^~, (SpX w,: 
6 Q%jA7 （a）结构图
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A,JmX （b）衍射效率
