[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 |iM,bs  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 waMF~#PJlt  
NL2
1se  
1）标量衍射理论设计 Kz HYh  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 !eX0Q 2  
S?~0)EXj(  

图片:2.jpg

         -|>~I#vY  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） a6{Zp{"Y  
                           \!u<)kkyT  

图片:23.jpg

L\Se ,  
（b）达曼光栅衍射效率 hU?DLl:bXF  
'uL4ezTtA  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 'l*X?ccKy  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 a5*r1,  
3j7FG%\  

图片:untitled.jpg

                               (W1$+X  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） wh$bDTCj  
c1YDln  

图片:untitled2.jpg

fO<40!%9cQ  
（b）达曼光栅衍射效率 J1w;m/oV  
wgl<JO  
3）rsoft仿真 8>KUx]AN  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） qTsy'y;Z  
IJ^~,+  

图片:捕获77.JPG

                 yRXML\Ge  
（a）标量衍射结果结构图     o'2eSm0H  
$n<a`PdH  

图片:捕88获.JPG

BT7{]2?&V  
（b）衍射效率             <-VBb[M#  
br I;}m  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 HTQZIm  
q/O2E<=w*c  

图片:1获.JPG

                       HP# SR';E  
（a）矢量衍射结果结构图   TgiZ % G  
]$smF
F
 

图片:捕获.JPG

                               ?I+L  
（b）衍射效率     \VpEUU6^U  
CG1MT(V7?  
2、偶数型达曼光栅设计 x|O7}oj  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 5B=uvp|Y  

图片:捕获55.JPG

                     >|taU8^|G}  
（a）结构图 m8s
d2&4  
#Oka7.yz  

图片:捕获66.JPG

__=53]jGE  
（b）衍射效率                                                                     /U;j-m&   
U,g8:M xHK  

图片:捕获55.JPG

                                   nPyn~3  
（a）结构图 T^v763%  
BH:A]#_{  

图片:捕获66.JPG

       JK$3qUDnI  
（b）衍射效率