[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 6oa>\PDy   
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 u/<ZGW(&s(  
h3bQ<?m  
1）标量衍射理论设计 7'OR;b$  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 1`1jSx5}.  
?V}ub>J/=  

图片:2.jpg

         rK3KxG  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 9OFH6-;6`\  
                           7;c^*"Ud  

图片:23.jpg

YZ]}l%e  
（b）达曼光栅衍射效率 8[.&ca/[  
S}fQis  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 )Tieef*Q~  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 KWxTN|>  
qzNXz_#+u  

图片:untitled.jpg

                               /0cm7[a?  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） {Q
[ G/=mx  
n*ROlCxV  

图片:untitled2.jpg

e_-7
,5Co  
（b）达曼光栅衍射效率 fK~8h  
2}7_Y6RS*  
3）rsoft仿真 E2 FnC}#W  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） '%ByFZzi  
s$zm)y5  

图片:捕获77.JPG

                 rg;4INs#  
（a）标量衍射结果结构图     Z t4q= Lr  
<2oMk#Ng^  

图片:捕88获.JPG

@{UUB=}9  
（b）衍射效率             33KCO  
!4`:(G59  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 JhjH_)  
HY eCq9S  

图片:1获.JPG

                       urE7ZKdI  
（a）矢量衍射结果结构图   ~%lA!tsek  
Niu |M@  

图片:捕获.JPG

                               QgKR=GR6  
（b）衍射效率     $9j>oUG  
1JUje  
2、偶数型达曼光栅设计 JU;`c>8=)  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 +)bn}L>Rl  

图片:捕获55.JPG

                     k q]E@tE*3  
（a）结构图  zR'EQ  
`#w#!@s#@  

图片:捕获66.JPG

l.]wBH#RS  
（b）衍射效率                                                                     Xn?.Od(  
z.\r7  

图片:捕获55.JPG

                                   glc<(V  
（a）结构图 mn=b&{')e  
TDbSK&w :s  

图片:捕获66.JPG

       g\q4
-  
（b）衍射效率