1、奇数型达曼
光栅设计
E AKW^'D 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
Ro<x #Uo 2 tCw{Om* 1）标量衍射理论设计
LP'q$iB! 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
Wm5[+z|2?9 MpvG F7H 
^tWSu?9 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
W1t_P&i m}z Xy\ 
}d iE' （b）达曼光栅衍射效率
0Zo><= 'zT7$ .L 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
N'$P(
bx 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
^Jdg%U? \u(G j]B#" 
OL:hNbw'~T （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
,Mi'NO B I<9xl]a 
5 wN)N~JE （b）达曼光栅衍射效率
Zr A*MN PxvxZJf$@ 3）rsoft仿真
8m
`Y 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
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aRI. &3- （a）标量衍射结果结构图
,1lW`Krx dn Xu(e% 
v)nv"o[ （b）衍射效率
X%fLV( "{H{-`Ni rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
Yl$ @/xAa 1p& =tN 
^^tTA^ （a）矢量衍射结果结构图
c'Z)uquvP G{ J u2HY 
zcH"Kh& （b）衍射效率
kApD D[ N TlX:05/V8 2、偶数型达曼光栅设计
'"rm66 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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YN:Sn\`D 8 （a）结构图
k]RQ 7e eoQt87VCU 
|Zp')
JiS （b）衍射效率
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j>
dZ26 >N （a）结构图
oY,{9H37b OPqhdqo 
RF4B ]Gqd
（b）衍射效率
