[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 8Y:x+v5  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 LCuz_LTFq{  
yI^7sf7k  
1）标量衍射理论设计 Fh/sD?  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 4[)tO-v:Y  
{BgJ=0g?  
         ph~BxK )i6  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） l(\F2_,2W  
                           `$q
0fTz  
tq51;L  
（b）达曼光栅衍射效率 I+31:#d  
s'bTP(wl9  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 n
cTMcu  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 I1I-,~hO  
'%YE#1*gH  
                               )JJF}m=  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 4um^7Ns)7  
%/qwqo`Q  
~wO-Hgd  
（b）达曼光栅衍射效率 EV7lgKM^  
Ys|SacWC  
3）rsoft仿真 kI2+&  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） YOUB%N9+  
OL_jU2,fv  
                 ^'fgQyj  
（a）标量衍射结果结构图     DO(3hIj  
RE4WD9n  
(H\ `/%Bp  
（b）衍射效率             f.$*9Fkw  
qW'L}x  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 f>|<5zm#
<  
#%w)w R3  
                       Z]x6
np  
（a）矢量衍射结果结构图   8H`L8: CM  
wvxsn!Ao&=  
                               ;--D?Gs]Qr  
（b）衍射效率     y~su1wUp  
9A/bA|
$  
2、偶数型达曼光栅设计 Uv652DC  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 `6;$Z)=.  
                     Kr;=4xg=  
（a）结构图 MSRk|0Mcr  
[HL>Lp&A?  
K\59vtga  
（b）衍射效率                                                                     .2s^8gO  
XVJH>Zw  
                                   ]Qa|9G,b  
（a）结构图 vVrM[0*c  
eTay/i<-  
       c((bUjS'=Y  
（b）衍射效率