[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 A=d$ir K[  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。  &Z!K]OSY  
%`1CE\f  
1）标量衍射理论设计 RLOQ>vYY  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 0(/D|  
yPh2P5}H>  

图片:2.jpg

         )z235}P  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ,]_(-tyN|  
                           6*aa[,>  

图片:23.jpg

(e3Gs+;  
（b）达曼光栅衍射效率 6.h  
auTTvJ  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 )1nCw  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 I#E(r>KW*  
O& %"F8B  

图片:untitled.jpg

                               vF
6*c  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） [7Lx
t
 
(S)E|;f%C  

图片:untitled2.jpg

W
({TC  
（b）达曼光栅衍射效率 wEnuUC4j  
~/jxB)t  
3）rsoft仿真 O< tnM<"(  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Jp3di&x  
}#HTO:r  

图片:捕获77.JPG

                 Hn9F gul&  
（a）标量衍射结果结构图     _p J_V>l  
j H.Ju|nO  

图片:捕88获.JPG

V l~Y  
（b）衍射效率             %:w% o$  
PL9eUy  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 k/_8!^:'  
0YpiHoM  

图片:1获.JPG

                       B(\r+"PB  
（a）矢量衍射结果结构图   >PJtG]D  
GtM( Y  

图片:捕获.JPG

                               2@3.xG  
（b）衍射效率     Awa|rIM  
OVUs]uK
 
2、偶数型达曼光栅设计 ,]uX:h-EM  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 9U=fJrj'u  

图片:捕获55.JPG

                     X(y  
（a）结构图 ..q63dr  
cF_;hD|YZ  

图片:捕获66.JPG

tSb?]J  
（b）衍射效率                                                                     _iGU|$a  
C](z#c~c  

图片:捕获55.JPG

                                   8{G?92 {rN  
（a）结构图 JXL9Gge  
[EmOA.6  

图片:捕获66.JPG

       I>H;o{X#  
（b）衍射效率