1、奇数型达曼
光栅设计
J G xuB*} 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
+'9l 2DI; G 3Hm Lz 1）标量衍射理论设计
:yN;_bC!b% 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
Y_3 {\g|x 12\ h| S~ 
B w1ir （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
58"Cn ||tF yUF<qB 
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5d （b）达曼光栅衍射效率
hr&&"d {s 5Z]z ul@+* 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
P9~7GFas| 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
q -%;~LF 7mipj] 
<]6])f,y\ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
NIcPjo hnM?wn 
xc.(-g[ （b）达曼光栅衍射效率
jm1f,=R q@K;u[zFK 3）rsoft仿真
"oZ-W?IK E 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
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XUT,)dL （a）标量衍射结果结构图
TfaL5evio uGIA4CUm 
w%jc' ;| （b）衍射效率
@= f2\hU B#RwW, rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
}J27Y ;Zp9 b/ IT8Cm3 
+cQGX5 K （a）矢量衍射结果结构图
q_ eGY&M ~1 xln?Q 
$]IX11.m （b）衍射效率
Kh<xQ:eMy _5 'OQ'P2 2、偶数型达曼光栅设计
s`W\`w} 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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n82N@z<8] （a）结构图
1&A @Zo5| ". jY3<bQg 
mM .-MIp （b）衍射效率
%a%x`S3 gqR?hZD 
x<#Z3Kla （a）结构图
0j*-ZvE)30 PjriAlxD 
{2<A\nW （b）衍射效率
