[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 }&Xf<6  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 f0{tBD!%  
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1）标量衍射理论设计 nl-tJ.MU"  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ~^~+p  
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         uF*tlaV6  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ]INt9Pvqm  
                           !*k'3rKOW  
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（b）达曼光栅衍射效率 Jj1lAg0  
Zqg AgN@  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 P=4o)e7E!  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 srU*1jD)  
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                               hZO=$Mm4p  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） OBM&N  
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Lu`y  
?+{qmqN  
（b）达曼光栅衍射效率 3=lQZi<]%  
Xr|e%]!**  
3）rsoft仿真 U4y ?z  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） a/q8vP  
0ARj3
 
                 hy
a $Vp  
（a）标量衍射结果结构图     "SwM%j  
TGG-rA6@Lx  
PrEfJ?  
（b）衍射效率             n#5pd;!n  
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 `hl1R3nBM  
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                       G8hDR^ra  
（a）矢量衍射结果结构图   J#k.!]r,Y  
4g/Ly8  
                               G]>P!]  
（b）衍射效率     }/-TT0*6j<  
1GgG9I  
2、偶数型达曼光栅设计 PKNpR  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Dj{t[z]$k  
                     sCRmLUD  
（a）结构图 9Or  
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（b）衍射效率                                                                     l`<u\],  
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（a）结构图 bQ_N^[oxQ  
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       JKYkS*.a}  
（b）衍射效率