1、奇数型达曼
光栅设计
- sL4tMP 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
Dgm"1+ Q(/F7 "m 1）标量衍射理论设计
iG+=whvL 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
'Oa(]Br[ ? $~5ti#\ 
j71RlS 73 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
,Y`TP4Ip }$@ E pM 
A75z/O{ （b）达曼光栅衍射效率
wPl9% A O3MlK 9t 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
$aDkZ j 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
PYr'1D' j6#Vwc r 
1R"Z+tNB （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
y)mtSA8 |Pq z0n=v 
vBYk"a6SD （b）达曼光栅衍射效率
l\ HtP7] H -t" Z} 3）rsoft仿真
Y Sux#*#H 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
l^R1XBP oD=+ 
E{]PfUfFY （a）标量衍射结果结构图
cHX~-:KOr Pa-{bhllu) 
V?-SvQIk1 （b）衍射效率
PE<(eIr `c? 8i rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
X1o=rT =O>E>Q 
Ti $_V_ （a）矢量衍射结果结构图
nTCwLnX(O ~'0W(~Q8 
%a|m[6+O （b）衍射效率
Ue(\-b\) \CrWKBL 2、偶数型达曼光栅设计
:I8HRkp 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
8K2=WY N 
2<tU （a）结构图
|'](zEwq | nmt /[ 
La
r9}nx0 （b）衍射效率
W~Q;R:y S@c Ko&^ 
); d"gv(]D （a）结构图
0,j!* s^HI%mdf 
+ lZvj=gW （b）衍射效率
