[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 212  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Z+S1e~~  
t[bZg9;  
1）标量衍射理论设计 '# J/e0o@  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 l]geQl:7`r  
m^1'aO_;q  

图片:2.jpg

         {9h`h08?z  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） G-R
E  
                           q>dERN&  

图片:23.jpg

}H9V$~}@-  
（b）达曼光栅衍射效率 HVM(LHm=:  
A!_yZ|)$T  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 5[rA>g~  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 qoJ<e`h}
 
d>`s+B9K0  

图片:untitled.jpg

                               8FT@
TUFb  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 0/b3]{skK  
K55]W2I9  

图片:untitled2.jpg

C +S>;1  
（b）达曼光栅衍射效率 MVe4[<  
|F?/L>  
3）rsoft仿真 .^!uazPE0  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） a^Lo;kHY  
.Gnzu"lod  

图片:捕获77.JPG

                 E>x,$w<?  
（a）标量衍射结果结构图     [O^mG 9  
:3By7BZgj  

图片:捕88获.JPG

sKGR28e  
（b）衍射效率             $or8z
2d1  
>I*uo.OF  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 r>7Dg~)V  
l=ZX9<3  

图片:1获.JPG

                       *d,Z?S/  
（a）矢量衍射结果结构图   PRyzUG&  
vo]$[Cp|4  

图片:捕获.JPG

                               ]s^
Pw>/`  
（b）衍射效率     d<afO?"  
]MV=@T^8#  
2、偶数型达曼光栅设计 |C.[eHe&D  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 sWX\/Iyy2p  

图片:捕获55.JPG

                     LP5@ID2G  
（a）结构图 \kVi&X=q:  
$|!@$Aj  

图片:捕获66.JPG

h<IPV'1  
（b）衍射效率                                                                     1A;f[Rze  
@N+6qO}  

图片:捕获55.JPG

                                   M07==R7  
（a）结构图 $Rv(v%  
=9cN{&qf  

图片:捕获66.JPG

       K6@9=_A  
（b）衍射效率