1、奇数型达曼
光栅设计
f4A evh: 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
|E:q! 4?0 NUH;\*]8s 1）标量衍射理论设计
}!{9tc$<b 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
9Qja|; oGz-lO{lt 
R zG7Xr=t （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
?CSc5b`eo #4uuT?! 
\ci'Cbn\o （b）达曼光栅衍射效率
D{1k{/cF J+oK:t zt8 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
Y]
Q=kI 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
et[n ;nl>V -olD!zKS 
Hm xA2 ~C （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
bs{i@ 1$ ]; c JIa 
(80 Tbi~+ （b）达曼光栅衍射效率
r9:Cq :H/ CiN 3）rsoft仿真
>jI( ^ 8? 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
xD[O8vQE LU$aCw5 B; 
$#q:\yQsPC （a）标量衍射结果结构图
y U"pU>fV@ (.6~t<DRv 
YK(I ' （b）衍射效率
t[>y=89 tNsiokOm rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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`}(x;ge
Z)=S. ) （a）矢量衍射结果结构图
JBY`Y ]V3 3q +C8_: 
pO^goo V\ （b）衍射效率
u#TRm?s x4@v$phyH 2、偶数型达曼光栅设计
JIeKp7 ;^ 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
khS b|mR) 
$#|iKi<Y@j （a）结构图
HR0t[* V5 $J 
X~ca8!Dq （b）衍射效率
<G d?,} \ Ln~Z_! 
k [6%+ （a）结构图
d1 &RK2 $:|z{p 
cL/ 6p0S （b）衍射效率
