[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 pKZRgA#kN  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 QQI,$HId  
I%(YR"  
1）标量衍射理论设计 e'I/}J  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 z][hlDv\j  
u}r>?/V!  
         b!p
]\B!  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） *jR4OY|DXH  
                           &u+l`F^Z  
TW?_fse*[  
（b）达曼光栅衍射效率 baQORU=X  
\+M6R<Qw  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 q]scKWYI  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 d4~;!#<  
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                               #Mw 6>5}<  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） "_^vQ1M]Z  
jFDVd;#CS  
vmzc0J+3p  
（b）达曼光栅衍射效率 CP'b,}Dd?I  
8KyRD1 (-R  
3）rsoft仿真  \OJam<hZ  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） y'5`Uo?\",  
TTa$w
iW7'  
                 w!dgIS$  
（a）标量衍射结果结构图     S;0z%$y  
/S{U|GBB%r  
v!`:{)2C  
（b）衍射效率             yJK:4af;.  
5,\-;  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 %lk^(@+ T  
9])Id;+91  
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（a）矢量衍射结果结构图   {^D; ($lm  
Qz"+M+~%&  
                               R-Ys<;  
（b）衍射效率     Z;O!KsJ  
s\zY^(v4  
2、偶数型达曼光栅设计 Cnr=1E=  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 9a2[_Wy  
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s9U9t
 
（a）结构图 ExhK\J  
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（b）衍射效率                                                                     sYhHh$mwA  
SBy{sbx4&F  
                                   gR+P!Eow  
（a）结构图 2 g\O/oz  
uO>x"D5tZ:  
       {,!!jeOO  
（b）衍射效率