[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 Q-w# !<L.  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 !d N[9}  
n{;Q"\*Sg  
1）标量衍射理论设计 uI-T]N:W8x  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 @GN2v,WA?  
j+_fHADq  

图片:2.jpg

         ~(V\.hq  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 'GJB9i+a^  
                           |Mq+QDTTw~  

图片:23.jpg

G]=z ![
$  
（b）达曼光栅衍射效率 P$obID  
C#U(POA  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ",b:rgpRp  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 bgorW"'  
0)WAQt\/  

图片:untitled.jpg

                               gyvrQ, u  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ,R[$S"]!SH  
l ;:IL\*1I  

图片:untitled2.jpg

2l)"I  
（b）达曼光栅衍射效率 %)lp]Y33  
l53i {o  
3）rsoft仿真 3NpB1lgh&:  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ^o3,YH  
R
ml'{S  

图片:捕获77.JPG

                 z;qDl%AF  
（a）标量衍射结果结构图     [KK |_  
?),b902C  

图片:捕88获.JPG

6j6CA?|  
（b）衍射效率             KYpS4&Xh  
g
s'M^|e)  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 Pp_4B  
D;Qx9^.  

图片:1获.JPG

                       /w?e(v<  
（a）矢量衍射结果结构图   a4,V(Hlm  
]UvB+M]Lv)  

图片:捕获.JPG

                               XKjrS 9:  
（b）衍射效率     -8n1y[  
fUjo',<s  
2、偶数型达曼光栅设计 LIID(s!bX  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 cLZ D\1Mt  

图片:捕获55.JPG

                     =?OU^u`C  
（a）结构图 8Rj5~+5  
*igmi9A  

图片:捕获66.JPG

Pm/<^z%  
（b）衍射效率                                                                     _KH91$iW8m  
vywB{%p  

图片:捕获55.JPG

                                   k+h}HCzE  
（a）结构图 ;"MChk  
R:~aX,qR  

图片:捕获66.JPG

       _w\9 \<%  
（b）衍射效率