[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 CT\rx>[J.6  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 HH3Z?g  
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1）标量衍射理论设计 {Zs EYUP  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 1Uah IePf  
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  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 6EY0Fjsi  
                           K=4|GZ~p}`  
PE_JO(e;Xm  
（b）达曼光栅衍射效率 xxgdp. (  
y`z?lmV)xM  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 \R 3O39[  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 =OrVaZ0  
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                               ?>R(;B|ER  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Lm^vS u  
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（b）达曼光栅衍射效率 6 G,cc  
U$=Z`^<  
3）rsoft仿真 >qMzQw2
 
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 1Si$Q  
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（a）标量衍射结果结构图     |*~SR.[`  
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（b）衍射效率             M"Y,kA|+  
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 #]*d8  
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                       i"^ yy+  
（a）矢量衍射结果结构图   f?QP(+M5.  
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                               FZ FPzH  
（b）衍射效率     )ItW}1[I  
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2、偶数型达曼光栅设计 (2 P&@!|  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Jg&f.  
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（a）结构图  bIuOB|  
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（b）衍射效率                                                                     Ih5CtcE1'd  
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（a）结构图 )'/xNR  
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       ,y)V5 c1  
（b）衍射效率