[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 $hL0/T-m  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ;BqX=X+#  
YXvKDw'95  
1）标量衍射理论设计 KksbhN{AB  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 +"<f22cS1  
;j$84o{  

图片:2.jpg

         Ac|`5'/Tx  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） '&"7(8E} *  
                           og>f1NwS[  

图片:23.jpg

DT*/2TH*l  
（b）达曼光栅衍射效率 Ct B> s7  
!o`al` q'  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 :A[ Gtc(_  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 sIyLW  
O @w=  

图片:untitled.jpg

                               As"'KR  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Qwb@3{  
z >pq<}R6  

图片:untitled2.jpg

lB-Njr  
（b）达曼光栅衍射效率 {vaq,2_w  
&?~> I[^~  
3）rsoft仿真 3LEN~N}  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Y$(G)F
s  
8J)x>6  

图片:捕获77.JPG

                 NWKD:{  
（a）标量衍射结果结构图     P?bdjU#_n`  
&B))3WFy  

图片:捕88获.JPG

#oHHKl=M  
（b）衍射效率             1f}Dza9  
&R 0BuFL8  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 er97&5  
0py0zE6,,  

图片:1获.JPG

                       c0tv!PSw  
（a）矢量衍射结果结构图   vZ*593C8  
F.JE$)B2EX  

图片:捕获.JPG

                               c^m}ep\F5L  
（b）衍射效率     P/^:If
uR  
5Eq_L  
2、偶数型达曼光栅设计 C3D1rS/I  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 HbCM{A9  

图片:捕获55.JPG

                     Jr#ptf"Wu  
（a）结构图 grv 3aa@  
Zu5`-[mw  

图片:捕获66.JPG

{Bu^%JEn  
（b）衍射效率                                                                     .rw
Z`MP  
T,k`WR  

图片:捕获55.JPG

                                   ?:UDK?  
（a）结构图 ETYw  
H=B8'N  

图片:捕获66.JPG

       *r[PZ{D+  
（b）衍射效率