1、奇数型达曼
光栅设计
mY 1l2 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
'}hSh .eJKIck 1)标量衍射理论设计
/$; Z ~^P 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
[+[W\6 |O8e;v72g^
rc=E%Qv%? (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
3p#UEH3 7ZUN;mr
48xgl1R(j (b)达曼光栅衍射效率
x^y$ pr UynGG@P@ 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
<exCK*G 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
lU1SN/'zx r]e{~v/
eu(Fhs
(a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
DwBe_h . O@$>'Z
30h[&Oc (b)达曼光栅衍射效率
G"r{!IFL r6S 3)rsoft仿真
qZ<n\Mt 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
Trirb'qO +:Zwo+\kSN
I gJu/{:y^ (a)标量衍射结果结构图
|]kiH^Ap LNL}R[1(
RY5e%/bg~U (b)衍射效率
4W>DW`{ wG O-Z']i rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
orJ|Q3c)d @;EQ{d
}%KQrlbHJl (a)矢量衍射结果结构图
&tOo[U? rbf5~sw&8+
6Emn@Mn= (b)衍射效率
-n:2US< l"8g9z 2、偶数型达曼光栅设计
%\it4 r3 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
+aL6$
$Y/z+ea (a)结构图
q`AsnAzo& $bp'b<jx
@#wG)TA (b)衍射效率
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!s{ 8h
ol4'B
r%: :q^b3 (a)结构图
}ll&EB }5E H67
,$]m1|t@z (b)衍射效率