[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 )!G
10  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 p=i6~   
1r*@1y<0"  
1）标量衍射理论设计 m?8o\|i,  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 X_Pbbx_j  
IEkbVIA(  
         f^IB:e#j;  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） CkV -L4Jq  
                           `@u9 fx.  
"W9z>ezp  
（b）达曼光栅衍射效率 W,!7_nl"u  
#P!M"_z  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 '9&@?P;  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 28-z  
D})12qB;u9  
                               zQu
9LN  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） }
%42Ty  
R-mn8N&  
>-w#&T &K  
（b）达曼光栅衍射效率 dAOJ: @y  
wCj)@3F  
3）rsoft仿真 A ;|P
\V  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 9gIim
 
'b
g'^PN>z  
                 E7B?G3|z3  
（a）标量衍射结果结构图     AOV{@b(  
:vaVghN\  
%`/F>`  
（b）衍射效率             aQ&K a  
wMCgLh\wi  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 M}=>~TA@  
3+iryW(\  
                       *Aug7 HlS  
（a）矢量衍射结果结构图   2)QZYgfh  
3m$Qd#|  
                               L E
FLKC  
（b）衍射效率     #hXvGon
$?  
53bVhPGv  
2、偶数型达曼光栅设计 axN\ZXU  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 l$R9c+L=  
                     OcC|7s",  
（a）结构图 [O]rf+NZ(5  
w:=:D=xH2  
ETdN<}
m  
（b）衍射效率                                                                     zzd PR}VG  
WHUl.h  
                                   O+=}x]q*y  
（a）结构图 {qCFd  
i]qxF&1  
       J*Cf1 D5!  
（b）衍射效率