[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 �{x7,  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 875od  
iO[<1?  
1）标量衍射理论设计 LF7SS;&~f  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 hEk$d.!}  
80;(Gt@<"  

图片:2.jpg

         Jo}eeJ;k  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ??T#QQ
 
                           oRzi>rr  

图片:23.jpg

.~}1+\~5  
（b）达曼光栅衍射效率 9/;P->wy  
TPY}C  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 0;ji65  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 _2nx^E(pd  
'QIqBU'~  

图片:untitled.jpg

                               BB'OCN  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） M[u
A@  
EP+J
N  

图片:untitled2.jpg

'{`$#@a.  
（b）达曼光栅衍射效率 |I|fMF2K  
d/Q%IeEL.  
3）rsoft仿真 gdoLyxQ  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） p^_yU_  
)WoxMmz  

图片:捕获77.JPG

                 aATA9V  
（a）标量衍射结果结构图     eN~=*Mn(za  

69 o7EA  

图片:捕88获.JPG

AFfAtu  
（b）衍射效率             5BJmA2L  
2[;_d;oB@  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 p6WX9\qS(  
Ydy9  

图片:1获.JPG

                       r)6M!_]AW  
（a）矢量衍射结果结构图   h65-s  
LraWcO\or'  

图片:捕获.JPG

                               nJLFfXWx  
（b）衍射效率     :Lug7bUVD  
zA"`!}*  
2、偶数型达曼光栅设计 2wgg7[tGi  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 [66!bM&  

图片:捕获55.JPG

                     Pco'l#:  
（a）结构图  ^Va1f'g  
BV+ Bk+  

图片:捕获66.JPG

R^e.s -  
（b）衍射效率                                                                     OaZQ7BGq  
CsifKHI  

图片:捕获55.JPG

                                   IyPnp&_  
（a）结构图 >6pf$0  
K!]/(V(}  

图片:捕获66.JPG

       hDq`Z$_+KX  
（b）衍射效率