1、奇数型达曼
光栅设计
/#m=*&!CB 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
NbU [l FXi{87F2 1）标量衍射理论设计
A^y|J ` k| 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
t3&LO~Ye xT+zU} z 
b"vv>Q~U （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
L_wk~ z {ZI)nQ{ 
\v.C]{Gzc （b）达曼光栅衍射效率
(4d huT j]aoR 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
ih P|E,L=L 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
g!+| I L.j h 
'Pn 3%&O$ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
s3R(vd BE_ay- 
5`gQ~ （b）达曼光栅衍射效率
83Q 4O n ak |WW]R 3）rsoft仿真
O d %"B\ 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
.[ 3Z1v, fi$-;Gz 
8$; =Uf,x （a）标量衍射结果结构图
f,:9N 5Z Z3& _ 
!VI]oRgP （b）衍射效率
0^RXG N - Ty*aov rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
fvF?{k> ~} U~j
^I^ 
v 4.#;F.\m （a）矢量衍射结果结构图
YtfVD7m +i2}/s@JJ 
kMt 8/ E` （b）衍射效率
,H19`;Q V*iH}Y?^p 2、偶数型达曼光栅设计
%^>ju;i^O 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
@p NNq 
52,m:EhL （a）结构图
AbYqf%~7`l L g*B>= 
km1~yQ"bH （b）衍射效率
`/ q|@B7 ##V5-ZG{: 
x\s|n{ （a）结构图
m$W < HOE_S!N 
-!N&OZ+R
（b）衍射效率
