1、奇数型达曼
光栅设计
f4Aevh: 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
|E:q!4?0 NUH;\*]8s 1)标量衍射理论设计
}!{9tc$<b 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
9Qja|; oGz-lO{lt
RzG7Xr=t (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
?CSc5b`eo #4uuT?!
\ci'Cbn\o (b)达曼光栅衍射效率
D{1k{/cF J+oK:tzt8 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
Y]
Q=kI 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
et[n ;nl>V -olD!zKS
HmxA2 ~C (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
bs{i@1$ ];cJIa
(80 Tbi~+ (b)达曼光栅衍射效率
r9:Cq :H/CiN 3)rsoft仿真
>jI(^8? 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
xD[O8vQE LU$aCw5 B;
$#q:\yQsPC (a)标量衍射结果结构图
yU"pU>fV@ (.6~t<DRv
YK(I' (b)衍射效率
t[>y=89 tNsiokOm rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
bvVEV #
`}(x;ge
Z)=S. ) (a)矢量衍射结果结构图
JBY`Y]V3 3q +C8_:
pO^gooV\ (b)衍射效率
u#TRm?s x4@v$phyH 2、偶数型达曼光栅设计
JIeKp7;^ 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
khSb|mR)
$#|iKi<Y@j (a)结构图
HR0t[* V5$J
X~ca8!Dq (b)衍射效率
<G d?,}\ Ln~Z_!
k[6%+ (a)结构图
d1&RK2 $:|z{p
cL/6p0S (b)衍射效率