[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ,Qvclu8r  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 xs
<~[l  
Hg8n`a;R  
1）标量衍射理论设计 
D(3\m)  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 a& >(*PQ  
(_&W@:"z  
         zJ;K4)"j  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） v(ABZNIn  
                           En&bwLu:s  
a*4"j2j v  
（b）达曼光栅衍射效率 ,(aOTFQS  
_@es9  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 'qD5  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 w k1O*_76  
rBBA`Ut@F  
                               ;zy[xg
.7  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） U?/UW;k[  
f1R&Q  
>dH5n$Gb  
（b）达曼光栅衍射效率 piIr.]  
j.C)KwelBS  
3）rsoft仿真 9G8n'jWyY  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 8o' a  
cG%ttfq\  
                 )c9]}:W&  
（a）标量衍射结果结构图     ]W,K}~!
 
_n9+
(X3  
P3[+c4  
（b）衍射效率             ;K[ G]8  
KM$5Zb
CF:  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 rE?(_LI  
wg6![Uh  
                       ] iKFEd  
（a）矢量衍射结果结构图   Zf~[4Eeb  
r,p6J7/lfS  
                               _!FM^N}|  
（b）衍射效率     w)bLdQ  
K`.wj8zGY  
2、偶数型达曼光栅设计 p%304oP6  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 JyPsRpi\  
                     )k5lA=(Yr+  
（a）结构图 u7|{~D&f  
ejj|l   
c"aiZ(aP  
（b）衍射效率                                                                     |xI\)VE^  
Ks&~VU  
                                   \ iL&Aq}BO  
（a）结构图 mT57NP  
OHnHSb'?\  
       0x'-\)v>3  
（b）衍射效率