[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 N/lEfy<&g:  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 P;(@"gD8z5  
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1）标量衍射理论设计 q9x@Pc2
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运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 S7j(4@  
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         vC&0UNe$  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） PC"=B[OlJ  
                            e4_A`j'  
?.ObHV*k  
（b）达曼光栅衍射效率 *eD[[HbKX  
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 \+Qd=,!i(  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 gCYe^KJ  
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)>  
                               w&#[g9G%  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） KBi(Ns#+  
{B#w9>'b  
8T+o.w==  
（b）达曼光栅衍射效率 d|87;;X|u  
^^k9Acd~p  
3）rsoft仿真 {c I~Nf?i  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 0 GFho$f  
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                 \ eba9i^  
（a）标量衍射结果结构图     5`}za-  
AD!w:jT
9  
Ymnh%wS  
（b）衍射效率             +p _?ekV\  
YXF^4||j.c  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 WhFE{-!gX  
m<;MOS  
                       >h9~ /  
（a）矢量衍射结果结构图   2]x,joB  
xvWP^Qkb  
                               6aAN8wO;b  
（b）衍射效率     :2b*E`+  
V6Of(;r  
2、偶数型达曼光栅设计 iP9Dr<P  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 hsK(09:J
 
                     8H3O6
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（a）结构图 @P=n{-pIW  
?H{?jJj$H  
R&'Mze fb  
（b）衍射效率                                                                     h7xgLe@  
=*UVe%N4  
                                   11!4#z6w  
（a）结构图 ep l1xfr  
|^w&dj\,  
       <BdC#t:*L  
（b）衍射效率