[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 +-2o b90_m  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Bie#GKc  
&rs
  
1）标量衍射理论设计 71b0MHNkvv  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 0gTv:1F/  
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         Zaime  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） X(_xOU)V  
                           5ir Ffr  
)SU\s+"M  
（b）达曼光栅衍射效率 ] MP*5U>;  
7XzhKA6  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 O"^3,-  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 G`D rY;  
 m#K)
%0  
                               Y8v13"P6  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） w :nYsuF  
$;iMo/  
}_mVXjF  
（b）达曼光栅衍射效率 d6^:lbj  
r{cmw`WA/P  
3）rsoft仿真 u*}ltR~/  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） IN8G4\r  
`uP:UQ9S
 
                 t|PQ4g<  
（a）标量衍射结果结构图     Xfc+0$U@  
6.Jvqn  
B%7Az!GX  
（b）衍射效率             HOaNhJ{7D  
+$}3=n34)  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 5bB\i79$  

/9pN.E  
                       %?`O .W  
（a）矢量衍射结果结构图   CP'b,}Dd?I  
-=cxUDB  
                               {=%,NwPs  
（b）衍射效率     8$F"!dc _  
x{O) n  
2、偶数型达曼光栅设计 FMOO  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 4aP 96  
                     \wV^uS  
（a）结构图 dAWB.#  
$PstE
L  
[I?[N.v  
（b）衍射效率                                                                     de/oK c  
bN\;m^xfu  
                                   )2lB  
（a）结构图 C547})  
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       ^sKdN-{  
（b）衍射效率