[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 )l[<3<@s  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 `Rub"zM  
2 :u4~E3  
1）标量衍射理论设计 f ?_YdVZ  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 G"T)+!6t  
pk%I98! Jy  
         5"u-oE&
 
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） T^B&GgW  
                           8  k9(iS  
 kj~)#KDN  
（b）达曼光栅衍射效率 $Q{)AN;m  
rk*Igqf  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 p%EU,:I6  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 eS8tsI  
 VT96ph  
                               z'=*pIY5f  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） :WIbjI=  
w|pk1~c(_  
B$1nq#@  
（b）达曼光栅衍射效率 .7++wo!,  
nud,ag  
3）rsoft仿真 pg1o@^OuL  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） S}gUz9ks  
&F1h3q)L  
                 ol^V@3[<  
（a）标量衍射结果结构图     k!H;(B"s-  
C(Ujx=G+3  
@+h2R  
（b）衍射效率             v|t_kNX;v*  
#F@53N  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 EGO;g^,  
{(]

B{n  
                       Y$uXBTR`y/  
（a）矢量衍射结果结构图   mVfg+d(  
N3g[,BE  
                                *>ju1f  
（b）衍射效率     +8Yt91   

EgM.wQHR]  
2、偶数型达曼光栅设计 z)xGZ*{=  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 LbOjKM^-  
                     osyY+)G'sV  
（a）结构图 kD dY i7g>  
-U)6o"O_CV  
6[,*2a8  
（b）衍射效率                                                                     m663%b(5>  
I1^0RB{~  
                                    /s.sW l  
（a）结构图 EQ1wyKZS2g  
S9d+#6rn  
      
8~AO~  
（b）衍射效率