[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 3IQI={:k|D  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 )1B?<4  
K mH))LIv  
1）标量衍射理论设计 E;s_=j1f  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 J^yqu{
  
}DM W,+3  
         {[tmz;C  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） X>yDj]*4P  
                           ukEJD3i  
SyI~iW#Y1  
（b）达曼光栅衍射效率 ;YY<KuT  
i6k6l%  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 8Cp@k=  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 95~bM;TVr  
#J3o~,t<  
                               VnkhY  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） }:c~5whN  
qMVuFwPhi  
7r'_p$  
（b）达曼光栅衍射效率 G^nG^HTo5  
"*D9.LyM  
3）rsoft仿真 4]m{^z`1  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） n0co* ]X+k  
BK4S$B  
                 z"yW):X  
（a）标量衍射结果结构图     Be@g|'r  
JD0s0>q_  
0j4n11#  
（b）衍射效率             B-]bhA4|:  
5PZ7-WJ/  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 frPQi{u$  
yp$jLBA  
                       #~/9cVm$  
（a）矢量衍射结果结构图   z-kv{y*Hu  
syg{qtBz^  
                               O&aD]~|
  
（b）衍射效率     beikzuC  
8%u|[Si;  
2、偶数型达曼光栅设计 /{hT3ncb  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 bj@R[!ss  
                     N atC}k  
（a）结构图 W[DoQ @q  
F*#!hWtb  
e#k rr  
（b）衍射效率                                                                     de2G"'F  
@d~]3T  
                                   :3R3>o6m  
（a）结构图 cq?,v?m  
2>^(&95M  
       Ew{*)r)m  
（b）衍射效率