[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 eXG57<t ON  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 C0<YH "  
Y|RdzCM  
1）标量衍射理论设计 7P*Z0%
Q  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 WK4@:k m6)  
YxyG\J\|,  

图片:2.jpg

         fnOIv#  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） (}"S)#C  
                           +'%\Pr(  

图片:23.jpg

W>$BF[x!{  
（b）达曼光栅衍射效率 sOQcx\dK  
RH~sbnZ)F  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 [%~^kq=|  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 <4f,G]UH_  
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图片:untitled.jpg

                               xYwkFB$$*  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） SUu >6'LN  
*l-`<.  

图片:untitled2.jpg

`Cg^in\  
（b）达曼光栅衍射效率 pl\b-  
jsdBd2Gdc  
3）rsoft仿真 p8>R#9  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） lsFfb'>  
Tq#<Po $  

图片:捕获77.JPG

                 :kN5?t=  
（a）标量衍射结果结构图     PG"@A  
_+n;A46  

图片:捕88获.JPG

B{PLIis
c  
（b）衍射效率             _:%U_U  
Qi:j)uDW  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 Snx<]|
 
_[JkJwPTx  

图片:1获.JPG

                       QkE,T0,/?h  
（a）矢量衍射结果结构图   n ,1tD  
S.hC$0vrj  

图片:捕获.JPG

                               :t5uDKZ_j)  
（b）衍射效率     $',3Pv  
!sG"n&uZq  
2、偶数型达曼光栅设计 {+\'bIV[  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 [TEcg^  

图片:捕获55.JPG

                     W>:kq_gT  
（a）结构图 nuxd S,  
^jOCenE3  

图片:捕获66.JPG

{_7Hz,2U  
（b）衍射效率                                                                     1LyT7h  
:d({dF_k;p  

图片:捕获55.JPG

                                   %YCd%lAe,  
（a）结构图 uS-3\$  
hHEPNR[.  

图片:捕获66.JPG

       xD0NZ~w%  
（b）衍射效率