1、奇数型达曼
光栅设计
<%4M\n 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
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$ <uG6!P 1)标量衍射理论设计
aS! If > 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
q-hR EO \>$3'i=mQ
;mT (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
r'(*# xovsh\s
d/Sw.=vq (b)达曼光栅衍射效率
do.AesdXaq 4`e[gvh 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
X$2f)3 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
<k?pnBI_ ~ &<Ls
q6PG=9d0B (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
+)hxYLk&I 0%<OwA2d
Xp+lpVcJ (b)达曼光栅衍射效率
hmkm^2 KCIya[$* 3)rsoft仿真
Xf#+^cQ 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
9.%t9RM^ [ $5u:*
g=/!Ry= (a)标量衍射结果结构图
{'p <
o$(S ?9;CC]D
k|,Y_h0Y (b)衍射效率
fK^W6)uuV P;`Awp? rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
sW-0G$,| }Y^o("c(
[vY#9W"! (a)矢量衍射结果结构图
;f~fGsH}e' d6a3\f
dS8ydG2 (b)衍射效率
d#OAM;0}5 R<
L =&I 2、偶数型达曼光栅设计
G6.lRaPu"m 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
DRpFEWsm
mW$Oi++'d (a)结构图
7},oY""8 DcNp-X40I
k`;d_eW (b)衍射效率
5%N[hd1Ql Z3yy(D>*
NLr a"Z (a)结构图
q_6fr$-Qh TQu.jC
;mYZ@g%e (b)衍射效率