[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 !SEg4z  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 jsc1B  
>STWt>s  
1）标量衍射理论设计 G'Jsk4:c  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 }"%tlU!}  
=K}5 fe  

图片:2.jpg

         OZs^c2 W
 
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） xR\$2(  
                           i5q VQo  

图片:23.jpg

fD]}&xc  
（b）达曼光栅衍射效率 8`kK)iCq  
i\2~yX
w\  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 D
NC2]kS<  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 `/8Dmg  
ytKh[Uo  

图片:untitled.jpg

                               f9F@G&&Ugg  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 5fA<I _ D  
JZ]4?_l  

图片:untitled2.jpg

AWc7TW  
（b）达曼光栅衍射效率 :WJ[a#  
TE3A(N'  
3）rsoft仿真 >@rsh-Z  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） j"9bt GX  
fOtL6/?  

图片:捕获77.JPG

                 8dNwi
&4  
（a）标量衍射结果结构图     3g`uLA X>u  
1c8J yp  

图片:捕88获.JPG

:4;ZO~eq!  
（b）衍射效率             oMM`7
wJw  
nM>oG'm[n  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 OV_Y`u7YR  
B#N(PvtE  

图片:1获.JPG

                       yL7D;<!S&  
（a）矢量衍射结果结构图   |^[]Oy=  
Xk8+m>   

图片:捕获.JPG

                               4 >at#Zc  
（b）衍射效率     J 6D?$  
b*\K I  
2、偶数型达曼光栅设计 Lo5itW  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 '%vb&a!.6  

图片:捕获55.JPG

                     Az8>^|@  
（a）结构图 vT#zc)j  
?|s1Cuc  

图片:捕获66.JPG

:GBWQXb G  
（b）衍射效率                                                                     YIvJN  
0GK<l  

图片:捕获55.JPG

                                   ) wtVFG  
（a）结构图 7Ps I'1v  
wt0^R<28  

图片:捕获66.JPG

       33z)F  
（b）衍射效率