[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 K4{1}bU{>  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ^tFbg+.  
FS1> J%P  
1）标量衍射理论设计 \?VNr
2  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 `> :^c  
sb3k? q  

图片:2.jpg

         K!\$MBI  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） H E'1Wa0r  
                           xX5EhVR   

图片:23.jpg

d`g)(*  
（b）达曼光栅衍射效率 ?c;T4@mB  
*wd@YMOP  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 L (#DVF  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 68 *~5]  
icw (y(W  

图片:untitled.jpg

                               YWXY4*G  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ,1!
~@dhs  
8F;f&&L"y  

图片:untitled2.jpg

qIC9L"I  
（b）达曼光栅衍射效率 CU7WK}2h2C  
!gKz=-C  
3）rsoft仿真  el"XD"*  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Cr a@  
\{RMj"w:  

图片:捕获77.JPG

                 8do7`mN  
（a）标量衍射结果结构图     RaBq@r*(
 
MB:VACCr  

图片:捕88获.JPG

3%NbT  
（b）衍射效率             ydx-`yg#  
O9_S"\8]@  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 dZ"B6L!^(  
'cpO"d?{  

图片:1获.JPG

                       {$ (X,E  
（a）矢量衍射结果结构图   I.qP$j  
K@0/iWm*  

图片:捕获.JPG

                               pT;{05  
（b）衍射效率     #zL0P>P'a  
waYH_)Zx  
2、偶数型达曼光栅设计 ,m08t9F  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 nbhzLUK  

图片:捕获55.JPG

                     @TWtM#  
（a）结构图 ZnVx'Y  
KVC$o+<'`%  

图片:捕获66.JPG

(oiF05n h  
（b）衍射效率                                                                     qtQB}r8  
M.(shIu!+  

图片:捕获55.JPG

                                   .Y^UPxf@  
（a）结构图 KkF3E*q\H  
*GMs>"C  

图片:捕获66.JPG

       1I1Z),  
（b）衍射效率