[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 Z0
>DNmH*  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 BMIyskl=i  
79yd&5#e?  
1）标量衍射理论设计 =FT98H2*|  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 fn/7wO$!  
3TZ*RPmFRm  

图片:2.jpg

         rUjdq/I:Z  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ~b|`'kU  
                           E|$Oha[  

图片:23.jpg

q0bHB_|wL  
（b）达曼光栅衍射效率 Y05P'Q  
o(Cey7  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计
=60~UM  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ')$NfarQ.  
\OpoBXh  

图片:untitled.jpg

                               :ECi+DxBK  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 0G2g4DSKD  
45H!;Qsk  

图片:untitled2.jpg

`j9$T:`  
（b）达曼光栅衍射效率 9r2IuS0  
xyE1Gw`V  
3）rsoft仿真 h`}3h< 8  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） LN_OD5gZ  
2w$twW-  

图片:捕获77.JPG

                 .~gl19#:
T  
（a）标量衍射结果结构图     <d7V<&@o=  
2spg?]  

图片:捕88获.JPG

(:+>#V)pZ  
（b）衍射效率             kV Rn`n0  
^-M^gYBR  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 <vbIp&  

6dEyv99  

图片:1获.JPG

                       OlQ,Ce  
（a）矢量衍射结果结构图   #D
kD!dW(l  
ksjUr1o  

图片:捕获.JPG

                               BD#.-xWV  
（b）衍射效率     te4= S  
'~wpP=<yyF  
2、偶数型达曼光栅设计 v}v 5  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 I6L
D)?  

图片:捕获55.JPG

                     GW2')}g  
（a）结构图 U~2`P  
#m8sK(#lo  

图片:捕获66.JPG

yO>V/5`  
（b）衍射效率                                                                     gK3Mms
]}m  
"MiD8wX-  

图片:捕获55.JPG

                                   /LQ:Sv7  
（a）结构图 i$-#d
c2qY  
[[)_BmS5r  

图片:捕获66.JPG

       7nHTlI1b  
（b）衍射效率