[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 h6*`V  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 -Q6pV<i  
[R4x[36Zp  
1）标量衍射理论设计 6<Z:Xw  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 WM"^#=+
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         O@iW?9C+  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Rs`a@Fn  
                           &r%*_pX  
PoJ$%_a}  
（b）达曼光栅衍射效率 F-^HN%  
+,Az\aT/%  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 (GG"'bYk  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Ug21d42Z4  
h '[vB^  
                               n5.>;N.*  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） !dY:S';~  
kA__*b}8UK  
{ah=i8$  
（b）达曼光栅衍射效率 |L;psK  
(:QQ7xc{}  
3）rsoft仿真 Net)l@IB]  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） GYC&P]  
5vft}f  
                 hXm}
d\  
（a）标量衍射结果结构图     y.p6%E_`  
Da[C'm=  
P]"deB|  
（b）衍射效率             N?;o_^C  
d&uTiH?0  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 AwUc{h l<  
).C!  
                       R9h>I3F=c  
（a）矢量衍射结果结构图   4|N\Q=,  
GQ2PmnV+  
                               ]<gCq/V#  
（b）衍射效率     V<4+g/  
H
hmVV"g  
2、偶数型达曼光栅设计 _AYC|R|  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 c%@~%IGF  
                     k%}89glm  
（a）结构图 2BDan^:-Av  
$-Pqs ^g  
rAWl0y_m  
（b）衍射效率                                                                     zN+*R;Ds  
3g[j%`k  
                                   vo ;F;  
（a）结构图 hNnX-^J<o  
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[VpN2*  
       V.ji _vX  
（b）衍射效率