1、奇数型达曼
光栅设计
$hL0/T-m 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
;BqX=X+# YXvKDw'95 1)标量衍射理论设计
KksbhN{AB 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
+"<f22cS1 ;j$84o{
Ac|`5'/Tx (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
'&"7(8E}
* og>f1NwS[
DT*/2TH*l (b)达曼光栅衍射效率
Ct B>
s7 !o`al` q' 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
:A[ Gtc(_ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
sIyLW O
@w=
As"'KR (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
Qwb@3{ z
>pq<}R6
lB-Njr (b)达曼光栅衍射效率
{vaq,2_w &?~> I[^~
3)rsoft仿真
3LEN~N} 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
Y$(G)Fs 8J)x>6
NWKD:{ (a)标量衍射结果结构图
P?bdjU#_n` &B))3WFy
#oHHKl=M (b)衍射效率
1f}Dza9 &R 0BuFL8 rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
er 97&5 0py0zE6,,
c0tv!PSw (a)矢量衍射结果结构图
vZ*593C8 F.JE$)B2EX
c^m}ep\F5L (b)衍射效率
P/^:IfuR 5Eq_L 2、偶数型达曼光栅设计
C3D1rS/I 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
HbCM{A9
Jr#ptf"Wu (a)结构图
grv 3aa@ Zu5`-[mw
{Bu^%JEn (b)衍射效率
.rwZ`MP T,k`WR
?:UDK? (a)结构图
ETYw H=B8'N
*r[PZ{D+ (b)衍射效率