[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 e`Yx]3;u(  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 iA=
9Lel  
hMi[MB7~  
1）标量衍射理论设计 XO\P4x:c  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 @ j'
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         Byon2|nf7  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Dtelr=/s  
                           TC ^EyjD  
Ww@Rewo  
（b）达曼光栅衍射效率 V7 c7(G  
qdzc"-gH`  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 AWGeK-^  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 I,.>tC  
g,9o'
fs`x  
                               %<K`d  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 8j8FQ!M  
>`u} G1T\  
YwEXTy>0  
（b）达曼光栅衍射效率 <1V!-D4xu  
WFy90*@Z  
3）rsoft仿真 5^[V%4y>  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） entO"~*EX  
Nf
Ki,^O  
                 5G=2=E  
（a）标量衍射结果结构图     %J7 ;b<}To  
I%;xMtY1o  
e<>(c7bF  
（b）衍射效率             d:Wh0y}  
f0}+8JW5h  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 uQ. m[y  
7>v1w:cC]  
                       PWx2<t<;9  
（a）矢量衍射结果结构图   L<*wzl2Go  
!3}vl Y1  
                               EnZrnoGM  
（b）衍射效率     }JoCk{<31  
&.;tdT7  
2、偶数型达曼光栅设计 /N]?>[<NW  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 }`M[%]MNc  
                     UVA|(:  
（a）结构图 jv?`9{-  
:J5xO%WA(  
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zaM   
（b）衍射效率                                                                     1\TXb!OtL  
D`2Iy.|!  
                                   rhsSV3iM  
（a）结构图 bncIxxe  
?,O{,2}  
       d7qHUx'=z  
（b）衍射效率