[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 'y;[ fwo7  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 e[R364K  
EkjO4=~UC  
1）标量衍射理论设计 @uT\.W:Q2  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 uWi+F)GS^K  
 b.C!4^  
         #Q$9Eq8"[  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） aSKI%<?xN  
                           #.FtPR  
=wI,H@  
（b）达曼光栅衍射效率 }1d 6d3b  
_~5{l_v|I  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 S G]e^%i  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 *Pw;;#\B  
oD~VK,.  
                               gt'0
B-;W  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） x*bM C&Ea  
d t0?4 d  
yWt87+%T  
（b）达曼光栅衍射效率 Q@/wn  
>RF[0s'-  
3）rsoft仿真 JBi<TDm/  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） )Hl;9  
K~v"%sG{`  
                  3xV  
（a）标量衍射结果结构图     +a"Asvw2  
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^  
(ioi !p  
（b）衍射效率             &``;1/J*W  
N7}.9%EV  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 i<)c4  
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                       zOWbdd_zl  
（a）矢量衍射结果结构图   IqcPml{\  
}|{yd03+  
                               m3P%E8<Q#  
（b）衍射效率     A&F@+X6@  
pmIQD"  
2、偶数型达曼光栅设计 }c%QF  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 i&{8a3B  
                     r`B8Cik  
（a）结构图 f=g/_R2$xN  
8$xg\l0?KK  
OHM.xw*?.  
（b）衍射效率                                                                     2+ >.Z.pX  
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                                   0@^YxU[YN  
（a）结构图 osPX%k!yw  
`m@06Q  
       s26:(J [{  
（b）衍射效率