[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ._
IBO;*@  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 s+OXT4>+  
N.@@ebuE  
1）标量衍射理论设计
`5CuH  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 &pZncm  
mJL=H
  
         -{rUE +  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） MGE8
S$Z  
                           24Uvi:B?~  
G2BB]] m3  
（b）达曼光栅衍射效率 #[.aj2  
5'zD}[2  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 >
qC,IQ'  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 T1_>qnSz  
k~=_]sLn  
                               *$yU|,  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） wY6m^g$h
3  
K#!c<
Li#  
] g]^^  
（b）达曼光栅衍射效率 EwKFT FL  
5Gw B1}q  
3）rsoft仿真 /U5!]7&gB  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） %UokR"  
*\PCMl  
                 hWD%_"yhd  
（a）标量衍射结果结构图     7/b\N
LeJ'  
5l[&-:(Lh  
"';K$&,[  
（b）衍射效率             !}PZCbDhL  
ptMDhMVW  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 'K*. ?M  
;G|#i?JJ  
                       ;Qq<5I"y  
（a）矢量衍射结果结构图   Vc*"Q8aZ~  
,zVS}!jRhy  
                               ^2)<H7p  
（b）衍射效率     g`\5!R1  
Bx9v2x.  
2、偶数型达曼光栅设计 ]wm<$+@  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 !@3"vd{^  
                     5VZZk%oy  
（a）结构图 F0x'^Z}Q;  
'B yB1NL  
A} v;uNS]  
（b）衍射效率                                                                     c.4WwzK  
^bk:
g}o  
                                   (bp
4ly^  
（a）结构图 v@ifB I  
7 F> a&r  
       wU(!fw\  
（b）衍射效率