[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 E
rnjIx:  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 fMgB!y"Em  
2dg+R)%  
1）标量衍射理论设计 *mwHuGbZed  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 V(u#8M  
ji9 (!G  

图片:2.jpg

         Q8OA{EUtq  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） kK\G+{z?  
                           6aRPm%  

图片:23.jpg

o."k7fLB  
（b）达曼光栅衍射效率 Z<jio  
]zK'aod  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Y>W$n9d&G2  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 >zx]% W  
4LO4SYW7  

图片:untitled.jpg

                               ;aXu  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） sxc^n aK0  
<?yf<G'$  

图片:untitled2.jpg

4I
fOvAN%  
（b）达曼光栅衍射效率 `<_A#@  
P5-1z&9O  
3）rsoft仿真 $v5
)d J  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） [&y="6No  
YD>5zV%!D  

图片:捕获77.JPG

                 '9d<vWg  
（a）标量衍射结果结构图     xgeDfpF'  
17kh6(X  

图片:捕88获.JPG

" ,k(*  
（b）衍射效率             d+DdDr  
YNHQbsZUI,  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 RgTm^?Ex  
dRC RB  

图片:1获.JPG

                       bT93R8yp  
（a）矢量衍射结果结构图   F3uR:)4<M  
P}kBqMM  

图片:捕获.JPG

                               TEB<
ia3+  
（b）衍射效率     )\K;Ncp[  
PH!^ww6  
2、偶数型达曼光栅设计 a* 2*aH7  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 <=O/_Iu(  

图片:捕获55.JPG

                     i*ibx;s-  
（a）结构图 {9mXJu$cc  
o}^/Km+t  

图片:捕获66.JPG

@9$u
!ny0  
（b）衍射效率                                                                     -O&u;kh4g  
$4YyZ!_.@  

图片:捕获55.JPG

                                   VT@,RlB0  
（a）结构图 8nV#\J9  
y&A0}>a:d  

图片:捕获66.JPG

       &>%R)?SZh  
（b）衍射效率