[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ieL7jN,'m  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 <?>1eU%  
%2;Nj; J$  
1）标量衍射理论设计 5{"v/nXV  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。  mdtG W  
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图片:2.jpg

         !2o1c  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） "P
D^]m  
                           u{'|/g&  

图片:23.jpg

3i;sB
 
（b）达曼光栅衍射效率 $1E'0M`  
@,:6wKMc  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 s;ivoGe}  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 JqmxS*_P  
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图片:untitled.jpg

                               ++=f7yu  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） RDSkFK( D  
L7`=ec<  

图片:untitled2.jpg

mp:xR^5c  
（b）达曼光栅衍射效率 QhJuH_f 0  
]wZlJK`K  
3）rsoft仿真 z|$M,?r'  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） m
4r<=o  
TFAd  

图片:捕获77.JPG

                 GyZpdp!  
（a）标量衍射结果结构图     yp!7^
  
DuMzK%  

图片:捕88获.JPG

>lV'}0u)  
（b）衍射效率             rHa*WA;TE  
DP8%/CV!*  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 _qO'(DKylC  
}WV}in0
 

图片:1获.JPG

                       jl"su:y  
（a）矢量衍射结果结构图   j2RdBoCt  
}|OwUdE!R9  

图片:捕获.JPG

                               EvKzpxCh  
（b）衍射效率     I'E7mb<2  
&~aS24c  
2、偶数型达曼光栅设计 &e6!/y&  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ~Jh1$O,9o  

图片:捕获55.JPG

                     |kGQ~:k+P  
（a）结构图 dLfB){>S  
Fy$f`w_H@  

图片:捕获66.JPG

&"?S0S>r!  
（b）衍射效率                                                                     &<LBz|  
[Qqomm.[\w  

图片:捕获55.JPG

                                   {[)n<.n[g  
（a）结构图 ^~;"$=Wf  
ictV7)  

图片:捕获66.JPG

       >/4N:=.h  
（b）衍射效率