1、奇数型达曼光栅设计 vZTX3c:,1
以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 6QLWF@
lHV
bn7
1)标量衍射理论设计 pTST\0?
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 {Lk~O)E
=~?2i)-mC
*["9;_KD
(a)达曼光栅结构(坐标已归一化) 4G;+ETp
u<]-%ha$
f:B+R
(b)达曼光栅衍射效率 E O52 E|
.D-} 2<z
2)矢量衍射理论RCWA算法设计 xA`Q4"[I
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 =mn)].Wg
0X~
%?<C
?.
(a)达曼光栅结构(坐标已归一化) U!XC-RA3
_
g*N~r['dZ
q^JJ5{36e
(b)达曼光栅衍射效率 "e69aAA,
ipQJn_:2
3)rsoft仿真 PM=Q\0
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) ^Gq4Yr
D}SRr,4v
0F1 a
(a)标量衍射结果结构图 zg.'
ua0`&,a3I
W% YJ.%I
(b)衍射效率 c;xL.
U8c0N<j
rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 2Y(Phw2%
e=o<yf9>Q
E&Pv:h,pV&
(a)矢量衍射结果结构图 H2BD5
czi$&(N0w$
g:dw%h
(b)衍射效率 6^H64jM
Pg{Dy>&2`I
2、偶数型达曼光栅设计 mEa\0oPGB
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 C;0H _
yc8iT`
(a)结构图 I+kGEHO}
9.m_3"s
Sqed*
(b)衍射效率 SZpBbX$
%Nwap~=H;
?_%*{]mt(
(a)结构图 o|>2X[T
EFW'D=&h8
G!RbM.6
(b)衍射效率