[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 khS >  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 $x|4cW2  
dBM> ;S;v  
1）标量衍射理论设计 C ehz]C  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 v
&}^8j  
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图片:2.jpg

         v5g]_v*F  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） m5\/7 VC  
                           >gGdzL  

图片:23.jpg

+Qo]'xKr  
（b）达曼光栅衍射效率 1-:{&!  
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G5g  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 M;zJ1  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 O\ph!?L  
VVVw\|JB>  

图片:untitled.jpg

                               {j4J
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（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 0w<G)p~%n  
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图片:untitled2.jpg

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（b）达曼光栅衍射效率 mmx;Vt$i  
f<}>*xH/k  
3）rsoft仿真 ua HB\Uc  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 8zWKKcf7t  
aFtL_# U  

图片:捕获77.JPG

                 _tO:,%dL  
（a）标量衍射结果结构图     Sz3Tp5b  
9&7$oI$!J  

图片:捕88获.JPG

6$_//  
（b）衍射效率             fqQ(EVpQ  
@>4=}z_e  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 HI*j6H?\  
CHo(:A.U>  

图片:1获.JPG

                       ,!'L~{  
（a）矢量衍射结果结构图   KQv97#n1  
$S_G:}tna  

图片:捕获.JPG

                               H<wrusRg  
（b）衍射效率     ds|L'7  
UKf
poDhEe  
2、偶数型达曼光栅设计 DP<[Uz&  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 PS3%V_2  

图片:捕获55.JPG

                     ]5`Y^hS_g  
（a）结构图 ._5"FUg  
BjsF5~+\  

图片:捕获66.JPG

Z9vJF.clO  
（b）衍射效率                                                                     /C"?Y'  
gW(7jFl  

图片:捕获55.JPG

                                   +(qs{07A$  
（a）结构图 u~VvGLFf5,  
DgiMMmpE  

图片:捕获66.JPG

       s%p,cz; ,  
（b）衍射效率