[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 *kX3sG$8  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 <.PPs:{8#  
L Q I: ]d  
1）标量衍射理论设计 eh({K;>  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 hRuo,FS#:  
s=^r/Sz902  
        
BiHiVhD_  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） &rl]$Mtt  
                           {Y3_I\H8{  
veYsctK~  
（b）达曼光栅衍射效率 aBqe+FXp4  
l5\B2 +}7  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ^7ea6G"  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 EzD -1sJ  
G+#| )V  
                               egxJ3.  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） #a7Amh\nT  
j=xtnIq  
lRF_ k  
（b）达曼光栅衍射效率 -!C Y,'3  
GvZac  
3）rsoft仿真 #lBpln9  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） :f?,]|]+-  
1K? & J2  
                 .T#y N\S1  
（a）标量衍射结果结构图     g:.,}L  
c:?#zX  
\J,- <wF  
（b）衍射效率             @n~>j&Kp  
|l6<GWG+  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 Oi kU$
~|  
L#7)X5a__  
                       -CU7u=*b  
（a）矢量衍射结果结构图   u/!mN2{Rd  
a O"nD_7  
                               e\d5SKY  
（b）衍射效率     XvA0nEi  
G!e}j @@  
2、偶数型达曼光栅设计 yv!''F:9F  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 :"<B@Z  
                     A1k&` |k  
（a）结构图 8zCGMhd  
}> !"SU:d  
s_GK;;  
（b）衍射效率                                                                     Ew?/@KAV\  
l$p_])x  
                                   aCUV[CPw  
（a）结构图 qOcG|UgF  
OU)p)Y_z  
       YL9t3]  
（b）衍射效率