[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 mY 1l2  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 '}hSh  
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JKIck  
1）标量衍射理论设计 /$; Z ~^P  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 [+[W\6
 
|O8e;v72g^  

图片:2.jpg

         rc=E%Qv%?  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 3p#UEH3  
                           7ZUN;mr  

图片:23.jpg

48xgl1R(j  
（b）达曼光栅衍射效率 x^y$pr  
UynGG@P@  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 <exCK*G  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 lU1SN/'zx  
r]e{~v/  

图片:untitled.jpg

                               e
u(Fhs   
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） DwBe_h.  
O@$>'Z  

图片:untitled2.jpg

30h[&
Oc  
（b）达曼光栅衍射效率 G"r{!IFL  
r6S  
3）rsoft仿真 qZ<n\Mt  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Trirb'qO  
+:Zwo+\kSN  

图片:捕获77.JPG

                 I gJu/{:y^  
（a）标量衍射结果结构图     |]kiH^Ap  
LNL}R[1(  

图片:捕88获.JPG

RY5e%/bg~U  
（b）衍射效率             4W>DW`{  
wGO-Z']i  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 orJ|Q3c)d  
@;EQ
{d  

图片:1获.JPG

                       }%KQrlbHJl  
（a）矢量衍射结果结构图   &tOo[U?  
rbf5~sw&8+  

图片:捕获.JPG

                               6Emn@Mn=  
（b）衍射效率     -n:2US<  
l"8g9z  
2、偶数型达曼光栅设计 %\i
t4 r3  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 +aL6$  

图片:捕获55.JPG

                     $Y/z+ea  
（a）结构图 q`AsnAzo&  
$bp'b<jx  

图片:捕获66.JPG

@#wG)TA  
（b）衍射效率                                                                     _3 !s{  
8h ol4'B  

图片:捕获55.JPG

                                   r%: :q^b3  
（a）结构图 }ll&EB  
}5EH67  

图片:捕获66.JPG

       ,$]m1|t@z  
（b）衍射效率