[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 (mIJI,[xn  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 j& iL5J;  
aiZo{j<6  
1）标量衍射理论设计 NJf(,Mr*|  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 <-:@} |br  
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图片:2.jpg

         a
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  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） `u\z!x'  
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图片:23.jpg

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（b）达曼光栅衍射效率 $7&l6~sMQ  
!LIfeL.4h  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 YB B$uGA  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 NTXL>Q*e  
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图片:untitled.jpg

                               $l,Zd6<1q  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） O| J`~Lk  
)6:]o&bZ  

图片:untitled2.jpg

Cz@FZb8  
（b）达曼光栅衍射效率 plx/}ah8  
M2E87w  
3）rsoft仿真 $7n#\h  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） CQjZAv  
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图片:捕获77.JPG

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（a）标量衍射结果结构图     Q A)9  
2PR7M.V7  

图片:捕88获.JPG

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（b）衍射效率             3> \fP#oQ  
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 W`u$7k]$  
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图片:1获.JPG

                       }WO9!E(  
（a）矢量衍射结果结构图   ~+<xFi  
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图片:捕获.JPG

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（b）衍射效率     mC:X4l]5  
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2、偶数型达曼光栅设计 0n*rs=\VG  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 kQw
m"Z  

图片:捕获55.JPG

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（a）结构图 V9zywM  
4ypRyO  

图片:捕获66.JPG

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（b）衍射效率                                                                     8Da(tS  

}2Cd1RnS  

图片:捕获55.JPG

                                   @TA8^ND  
（a）结构图 ..jq[(;N  
}O.LPQ0  

图片:捕获66.JPG

       "J P{Q  
（b）衍射效率