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    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 f4Aevh:  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 |E:q!4?0  
    NUH;\*]8s  
    1)标量衍射理论设计 }!{9tc$<b  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 9Qja|;  
    oGz-lO{lt  
             R zG7Xr=t  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) ?CSc5b`eo  
                               #4uuT?!  
    \ci'Cbn\o  
    (b)达曼光栅衍射效率 D{1k{/cF  
    J+oK:tzt8  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 Y] Q=kI  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 et[n;nl>V  
    -olD!zKS  
                                   HmxA2 ~C  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) bs{i@1$  
    ];cJIa  
    (80 Tbi~+  
    (b)达曼光栅衍射效率 r9:Cq  
    :H/CiN  
    3)rsoft仿真 >jI( ^8?  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) xD[O8vQE  
    LU$aCw5 B;  
                     $#q:\yQsPC  
    (a)标量衍射结果结构图     y U"pU>fV@  
    (.6~t<DRv  
    YK(I '  
    (b)衍射效率             t[>y=89  
    tNsiokOm  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 bvVEV  
    # `}(x;ge  
                           Z)=S. )  
    (a)矢量衍射结果结构图   JBY`Y ]V3  
    3q +C8_:  
                                   pO^goo V\  
    (b)衍射效率     u#TRm?s  
    x4@v$phyH  
    2、偶数型达曼光栅设计 JIeKp7;^  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 khS b|mR)  
                         $#|iKi<Y@j  
    (a)结构图 HR0t[*  
    V5 $J  
    X~ca8!Dq  
    (b)衍射效率                                                                     <G d?,}\  
    Ln~Z_!  
                                       k [6%+  
    (a)结构图 d1&RK2  
    $:|z{p  
           cL/ 6p0S  
    (b)衍射效率    
     
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