1、奇数型达曼
光栅设计
]fZ<`w8u} 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
-OrR $w|e TXjloGv^ 1）标量衍射理论设计
E !zX)|Z< 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
C}q>YRubZ BWh }^3?l 
pV7N byb4 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
+Gow5-( F|Q H 
Y&K <{\vE （b）达曼光栅衍射效率
/%!~x[BeJ> iwU[6A 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
w d/G|kNO 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
tmO`|tn& qy
,"X)^# 
k^%2_H （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
{pWBwf>R C }x:0os 
)s)_X L （b）达曼光栅衍射效率
%m eLW& < C'Z H'p 3）rsoft仿真
?sXG17~Bm 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
: lgi>^ v>H=,.`0\ 
RP!
X8~8 （a）标量衍射结果结构图
)T1iN(Z T/l1qcf`wT 
[k $efwJ （b）衍射效率
*/(I[p /1d<P! H rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
8.QSqW7t o_f-GO 
OX\$ nQ\o （a）矢量衍射结果结构图
(?>cn_m BtsdeLj| 
_'!kuE ,*1 （b）衍射效率
wfR&li{ ;JT(3yK4>p 2、偶数型达曼光栅设计
7C7>y/u S 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
irKIy 
+&5' uAe （a）结构图
booRrTS bcH_V| 5} 
19t{|w< （b）衍射效率
Vn, >< g P`(Mk6gE 
=lp1Z> （a）结构图
;b0NGa(k uwmQ?LS]V 
`s"d]/85VW （b）衍射效率
