[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 :<}1as!eo  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 uy'I#^Bt  
ccR#<Pb6q  
1）标量衍射理论设计 zjE|UK{  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 CU`yi.)T{  
+jD*J
tb<  
         n3z]&J5fr  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） )t#>fnN  
                           VsU*yG a  
'v^Zterr  
（b）达曼光栅衍射效率 ob.Br:x  
|7CFm  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ]&b>P ;j:  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 wjzR 8g0bQ  
2#jBh  
                               OUtXu7E$  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） rbt/b0ET  
L$zB^lSM  
&"gQrBa  
（b）达曼光栅衍射效率 (/i?Fd  
_8 C:Md`  
3）rsoft仿真 /LK,:6  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） -prc+G,qyp  
L#|6Lnp^  
                 0Z4o3r
[  
（a）标量衍射结果结构图     kVRh/<s  
L,\wB7t  
,&F4|{  
（b）衍射效率             c0U=Hj@@  
-\|S=< g  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 F1A7l"X]  
"?HDv WP=w  
                       ."u DM<  
（a）矢量衍射结果结构图   OD
8{ /7  
3:g~@PB  
                               =O o4O CF2  
（b）衍射效率     .,*68S0k7  
b#[EkI 0@  
2、偶数型达曼光栅设计 5H^"  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 MszX9wl  
                     &:?2IAe  
（a）结构图 JwNB)e D  
y[A%EMd
  
O<>cuW(l  
（b）衍射效率                                                                     vuoD~=z  
b haYbiX?  
                                   TbQ5  
（a）结构图 *l.tsICmbP  
*=b36M  
       NpAZuISD!  
（b）衍射效率