[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 &aY/eD  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 -Uzc"Lx B  
Ok*VQKyDLH  
1）标量衍射理论设计 ?68$3;  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 EfFj!)fz  
]#vWKNv:;  
         c
hKF6n  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） =*{K@p_  
                           I%
pCm||p  
{`+bW"9  
（b）达曼光栅衍射效率 W8Ke1(ws&  
iPA@<D%  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Bh\ [CY  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 d|>9rX+f  
zA2UFax=  
                               #x, ]D  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 5OPS&:  
sXSj OUI  
pZc9q8j3  
（b）达曼光栅衍射效率 2
dv|6p  
yonJd  
3）rsoft仿真 YnKFcEJrT  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） bs:C1j\&  
<FXQxM5"  
                 FI3sLA  
（a）标量衍射结果结构图     TvQWdX=  
Z|]l"W*w  
F;cI0kP=>  
（b）衍射效率             C*"Rd   
vs5 D:cZ}  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 `Mo~EHso.  
&i4 (s%z#  
                       wlm3~B\64  
（a）矢量衍射结果结构图   j)6@q@P/  
Q.j-C}a  
                               1h#w"4  
（b）衍射效率     ],BJ}~v,X  
L~^e\^sP  
2、偶数型达曼光栅设计 E`oSi ez)  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 C\;;9  
                     ~*66 3pA  
（a）结构图 @qg0u#k5  
hXV4$Dai  
>xxXPvM<`  
（b）衍射效率                                                                     ~@b9  
-=-x>(pRW7  
                                  
n`FQgC  
（a）结构图 v&t`5-e-A  
, I[^3Fn  
       d+gk q\  
（b）衍射效率