[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 +-qa7  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ':]Hj8t_  
.pIO<ZAFT  
1）标量衍射理论设计  huvn_  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 m+xub*/  
2IXtIE  
        
n_kE  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） L9d|7.b  
                           A+(+PfU  
=ba1::18  
（b）达曼光栅衍射效率 mQ2=t%  
12tk$FcY8*  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 l YpoS  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 9V>C %I  
<7`U1DR=  
                               M9?f`9  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Q+s2S>U{v  
~vcua@  
v ,zD52  
（b）达曼光栅衍射效率 dtig_s,)D  
xXSfYW  
3）rsoft仿真 g @NwW&  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） gyxC)br  
uw(Ml=  
                 zF(abQ0  
（a）标量衍射结果结构图     25<qo{  
`cP
ZsL  
~zVe?(W  
（b）衍射效率             {u4AOM=)  
@U9`V&])F[  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 V=8npz   
LMuDda  
                       tl`x/  
（a）矢量衍射结果结构图   r 5t{I2  
h.kjJF  
                               \UZ7_\  
（b）衍射效率     [}l#cG6 k  
y{2\T  
2、偶数型达曼光栅设计 Z+=-)&L  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 AuZISb%6  
                     .yD5>iBh  
（a）结构图 4'Ya-xx  
8Wgzca Q*  
PsOq-  
（b）衍射效率                                                                     '*^9'=  
+.zX?}  
                                   `qRyh}Ax"  
（a）结构图 PcjeuJZ  
9FPqd8(]*V  
       6C\WX(@4  
（b）衍射效率