1、奇数型达曼
光栅设计
W =\45BJ 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
@!p0<&R@x 6d/1PGB 1）标量衍射理论设计
?(Ytc) 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
Fuy"JmeR
=[nuesP' 
tX~ *.W: （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
W Yd9p; k !4+ FN) 
\Sv 8c}8 （b）达曼光栅衍射效率
-1} &\=8M bkFO4OZd 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
/Csk"IfuO 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
Y T'ol k ] ]XXcQ,A 
6 l7 iX] （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
tP4z#0r2 G>,43S!< 
xq& r|el （b）达曼光栅衍射效率
Q#z U0K* ^ 6o&ZS @ 3）rsoft仿真
}h1y^fuGi 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
$V,ZH*
g ]DjnzC lx 
.~X&BY>qP （a）标量衍射结果结构图
6k`O ^j7> Ul, 
0( q:K6zI} （b）衍射效率
[xo-ZDIoG WOi+y rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
'Lh nl3 *yYeqm 
4Q:r83# （a）矢量衍射结果结构图
~rlPS#]o #=N6[:, 
=
Oz pI （b）衍射效率
QY c/f"9 @cc}[Uw4B 2、偶数型达曼光栅设计
9Y+7o%6e 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
Qt>Bvu Q 
v^aI+p6 （a）结构图
Zi{vEI ] y+h/jEbM</ 
z}F^HQ 1 （b）衍射效率
T% 4yP mY 5E^P2Mlc 
9SXp Z*S x （a）结构图
X@za4d pZKK7
kn+@)3W:* （b）衍射效率
