[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 V8Fp1?E9S  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ?DwI>< W  
`Nnaw+<]  
1）标量衍射理论设计 e}u68|\EC  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 S#^2k!(|G  
hn-!W;j  
         <0w"$.K#3  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） +}.~"  
                           ,'nd~{pX"(  
 l:i&l?>_  
（b）达曼光栅衍射效率 J_|LGrt})  
M&v;#CV  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Mxmo}tt  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 v><c@a=[  
2I|`j^  
                               l+vD`aJ3  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） t4P`#,:8  
7'~Oai~r  
yZ:AJNb  
（b）达曼光栅衍射效率 ~Oc:b>~  
VL?sfG0  
3）rsoft仿真 Z0'&@P$  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） x@)G@'vV|  
-P.51q  
                 lM|}K-2
 
（a）标量衍射结果结构图     E-`3}"{  
CQANex4&\  
;}dvc7  
（b）衍射效率             q?
* z<)#  
N8E  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 
KL<,avC/  
J85S'cwZZ  
                       #>ob1b|  
（a）矢量衍射结果结构图   ?]AF? 0/  
euyd(y$'k  
                               * @=ZzL  
（b）衍射效率     f|'0FI  
)Ggv_mc h  
2、偶数型达曼光栅设计 Vm*E^ v  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 o}p^q:T*  
                     gWu<5Y=C  
（a）结构图 KPrH1 [VU  
WbWEgd%8.  
QG=K^
g  
（b）衍射效率                                                                     Z_h-5VU-  
(UB?UJ
c  
                                   8-PHW,1@a3  
（a）结构图 fpa~~E-  
h.*v0cq:  
       ]<*-pRN  
（b）衍射效率