切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2105阅读
    • 0回复

    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线yalx
     
    发帖
    18
    光币
    53
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 <%4M\n  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 { )g $  
    <uG6!P  
    1)标量衍射理论设计 aS! If>  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 q-hREO  
    \>$3'i=mQ  
             ;mT  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) r'(*#  
                               xovsh\s  
    d/Sw.=vq  
    (b)达曼光栅衍射效率 do.AesdXaq  
    4`e[gvh  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 X $2f)3  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 < k?pnBI_  
    ~&< Ls  
                                   q6PG=9d0B  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) +)hxYLk&I  
    0%<OwA2d  
    Xp+lpVcJ  
    (b)达曼光栅衍射效率 hmkm^2  
    KCIya[$*  
    3)rsoft仿真 Xf#+^cQ  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) 9.%t9RM^  
    [ $5u:*  
                     g=/!Ry=  
    (a)标量衍射结果结构图     {'p < o$(S  
    ?9;CC]D  
    k|,Y_h0Y  
    (b)衍射效率             fK^W6)uuV  
    P;`Awp?  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 sW-0G$,|  
    }Y^o("c(  
                           [vY#9W"!  
    (a)矢量衍射结果结构图   ;f~fGsH}e'  
    d6a3\f  
                                   dS8ydG2  
    (b)衍射效率     d#OAM;0}5  
    R< L =&I  
    2、偶数型达曼光栅设计 G6.lRaPu"m  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 DRpF EWsm  
                         mW$Oi++'d  
    (a)结构图 7},oY"" 8  
    DcNp-X40I  
    k`;d_eW  
    (b)衍射效率                                                                     5%N[hd1Ql  
    Z3yy(D>*  
                                       NLra"Z  
    (a)结构图 q_6fr$-Qh  
    TQu.jC  
           ;mYZ@g%e  
    (b)衍射效率    
     
    分享到