[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 h8M_Uk  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 p;7wH\c  
hN0h
'JJ[7  
1）标量衍射理论设计 v; ewMiK@E  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 R$IsP,Uw  
O5:U2o-  

图片:2.jpg

         _qOynW  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） gkTwGI+w  
                           ;H8`^;  

图片:23.jpg

4_2oDcdf  
（b）达曼光栅衍射效率 Wn=I[K&&  
Z= -fL  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 dj9i*#F  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 FmF[S&gFRs  
.i?{h/9y  

图片:untitled.jpg

                               c*axw%Us  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） "g"%7jK  
P!j*4t  

图片:untitled2.jpg

]fh(b)8_,  
（b）达曼光栅衍射效率 4/\Ynb.L  
o[JZ>nm  
3）rsoft仿真 N|"q6M!ZL  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） vd^Z^cpip  
"5$p=|  

图片:捕获77.JPG

                 J^DyhCs  
（a）标量衍射结果结构图     n/BoK6g  
bx6=LK  

图片:捕88获.JPG

H,EZ% Gl  
（b）衍射效率             pwSkwJ]  
)eSQce7H  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 2RqV\Ji
k  
mo4F\$2N  

图片:1获.JPG

                       *\iXU//^)  
（a）矢量衍射结果结构图   *GhV1# <  
{fEb>  

图片:捕获.JPG

                               Kn?h  
（b）衍射效率     }43qpJe8U  
C[
KMaB  
2、偶数型达曼光栅设计 .DnG}884
 
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 9&kPcFX B  

图片:捕获55.JPG

                     \ ux{J  
（a）结构图 tK+JmbB\  
#{k+^7aQ  

图片:捕获66.JPG

FL$S_JAw  
（b）衍射效率                                                                     3T 0'zJ2f  
w!d(NA<|0]  

图片:捕获55.JPG

                                   <?;KF2A({  
（a）结构图 h<CRW-  
By*YBZ  

图片:捕获66.JPG

       _x$Eq: i  
（b）衍射效率