[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 F#Z]Xq0r  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 |'Ve75 W6u  
\`|,wLgH  
1）标量衍射理论设计 I{B8'n{cN  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 "c1vW<;  
Ya304Pjd  
         T-f+<Cxf  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） |;9OvR> A  
                           2Xe2%{  
5wP(/?sRy  
（b）达曼光栅衍射效率 2*%0m^#^6  
in(n[K  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 khc5h^0  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 /0Zwgxt4?7  
b>Vs5nY!  
                               o6Vc}jRH  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） \AkeC6[D  
)wSsxX7:  
/HI#8  
（b）达曼光栅衍射效率 ~)sb\o  
3Mr)oM<Q  
3）rsoft仿真 3U1xKF  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ikyvst>O  
vnXpC!1  
                 w}oH]jVKL6  
（a）标量衍射结果结构图     g&riio7lx  
j"}alS`-  
wyvs#T  
（b）衍射效率             JcvK]x  
/of,4aaK7  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 {#Mz4s`M  
a+r0@eFLc  
                       @0n #Qs|E!  
（a）矢量衍射结果结构图   V"T;3@N/4  
V..m2nQj  
                               |]\qI  
（b）衍射效率     {jggiMwo.v  
d=H C;T)  
2、偶数型达曼光栅设计 :+!hR4Z~\;  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 F-UY~i8  
                     zx0{cNPK5  
（a）结构图 w9i1ag  
]>*Z 1g;
  
:mY(d6#A>  
（b）衍射效率                                                                     0dXZd2oK@  
Jw"'ZW#W  
                                   vIz~B2%x  
（a）结构图 YujhpJ<  
j/dNRleab  
      
t6s#19g  
（b）衍射效率