1、奇数型达曼
光栅设计
J ayax]u7J 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
{;o54zuKf ;zSV~G6- 1）标量衍射理论设计
kmt+E'^] 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
~`5[Li:eP )i:"cyoE 
>b~Q%{1 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
ES#q/yab5 a, `B.I 
}IQ! [T5 （b）达曼光栅衍射效率
mXu";?2 iztgk/(+G 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
ncpA\E;ff^ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
2 ]r5e; I, V'J|=j 
NkQain9 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
L>N)[;| [p )2!]y 
S-brV\v7 （b）达曼光栅衍射效率
2(GLc*B> lg@q}
]1 3）rsoft仿真
YT@N$kOg_ 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
f Qw|SW }@53*h i( 
j92+kq>Xd （a）标量衍射结果结构图
vVo# nzeZ5 YLV$#a3 
}~#qDrK （b）衍射效率
"eI">`!g Nt[&rO3s rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
RC!T1o~L eqpnh^0}d 
@2\UjEo~ （a）矢量衍射结果结构图
5jTA6s9z A d"+ _`d=` 
Fd._D" （b）衍射效率
L.a~vk
1 w aD J 2、偶数型达曼光栅设计
^ .Q/iXgh 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
hiaTJE|J? 
Bv`3T Af2 （a）结构图
,UD5>Ai m h|HEkM 
eh3CVgH91; （b）衍射效率
~s[Yu!( KpO%)M!/Z# 
<%oT}K\; （a）结构图
`=8G?3 1:"ZS ] i 
E8We2T[^M （b）衍射效率
