[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 <
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以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 { )g $  
<uG6!P  
1）标量衍射理论设计 aS! If>  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 q
-hREO  
\>$3'i=mQ  

图片:2.jpg

         ;mT  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） r'(*#  
                           xovsh\s  

图片:23.jpg

d/Sw.=vq  
（b）达曼光栅衍射效率 do.AesdXaq  
4`e[gvh  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 X$2f)
3  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 <k?pnBI_  
~&<Ls  

图片:untitled.jpg

                               q6PG=9d0B  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） +)hxYLk&I  
0%<OwA2d  

图片:untitled2.jpg

Xp+lpVcJ  
（b）达曼光栅衍射效率 hmkm^2  
K
CIya[$*  
3）rsoft仿真 Xf#+^cQ  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 9.%t9RM^  
[ $5u:*  

图片:捕获77.JPG

                 g=/!Ry=  
（a）标量衍射结果结构图     {'p < o$(S  
?9;CC]D  

图片:捕88获.JPG

k|,Y_h0Y  
（b）衍射效率             fK^W6)uuV  
P;`Awp?  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 sW-0G$,|  
}Y^o("c(  

图片:1获.JPG

                       [vY#9W"!  
（a）矢量衍射结果结构图   ;f~fGsH}e'  
d6a3\f  

图片:捕获.JPG

                               dS8ydG2  
（b）衍射效率     d#OAM;0}5  
R< L =&I  
2、偶数型达曼光栅设计 G6.lRaPu"m  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 DRpFEWsm  

图片:捕获55.JPG

                     mW$Oi++'d  
（a）结构图 7},oY""8  
DcNp-X40I  

图片:捕获66.JPG

k`;d_eW  
（b）衍射效率                                                                     5%N[hd1Ql  
Z3yy(D>*  

图片:捕获55.JPG

                                   NLr
a"Z  
（a）结构图 q_6fr$-Qh  
TQu.jC  

图片:捕获66.JPG

       ;mYZ@g%e  
（b）衍射效率