1、奇数型达曼
光栅设计
Fb%?qaLmCv 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
:adz~L$ v G\J8s 1）标量衍射理论设计
5 D^#6h 4 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
fd>{ UyU Xnjl {` 
$6wSqH?q （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
o ^UOkxs.
J@_^] 
E wFq1~ （b）达曼光栅衍射效率
q@[F|EF= ^GY^g-R 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
Y!_c/ !Tx 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
hB.8\-}QMq pY
)x&uM! 
;)CN=J! （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
2 A!*8w .9B@w+=6 
8uLS7\,$z （b）达曼光栅衍射效率
mR@d4 (:J? r2.w4RMFua 3）rsoft仿真
!0Nf`iCQ( 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
}Cw,m0KV/ ^$l Z 
hZ
e{Ri （a）标量衍射结果结构图
K)J_q3qo P<vU!`x% q 
a7ZufB/ （b）衍射效率
Pm)*zdZ8 6#CswSpS rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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O]=jI （a）矢量衍射结果结构图
CV"}(1T z!bT^_Cc0 
;#v3C; （b）衍射效率
16 `M=R 7JQ 4*RM 2、偶数型达曼光栅设计
K\U`g TGc 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
i]k)wr( 
1[Yl8W%pj （a）结构图
vMou`[\WlJ =oL:|$Pj 
E# (e2Z= （b）衍射效率
\z !lw TA*}p=?6?! 
Sj(>G; （a）结构图
MW rhVn{R ,(x` zpp _ 
TC yev[( （b）衍射效率
