[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 B#&U5fSw+0  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ?y>xC|kt  
Fx~=mYU
 
1）标量衍射理论设计 yd]W',c  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 9IIQon  
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图片:2.jpg

         @OZW1
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  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） v}Gq.(b  
                           w")VcAq  

图片:23.jpg

YT+fOndjaF  
（b）达曼光栅衍射效率 "G)-:!H  
>M<rr!|  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 >:4}OylhM  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ;eI,1 [_  
PPU,o8E+  

图片:untitled.jpg

                               J!3 X}@_N  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） BB-E"
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g05:A0X#  

图片:untitled2.jpg

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2}C  
（b）达曼光栅衍射效率 (Gf1#,/3~  
rBye%rQRq  
3）rsoft仿真 |k$[+53A  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） v AP)(I  
1Y$ gt  

图片:捕获77.JPG

                 +e);lS"+/  
（a）标量衍射结果结构图     N&K:Jp  
51W\%aB  

图片:捕88获.JPG

EpB2?XGA  
（b）衍射效率             t%Vc1H2}  
x[U/ 8#f&  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 f;!1=/5u-  
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图片:1获.JPG

                       S75wtz)e  
（a）矢量衍射结果结构图   fWhwI+  
xgn@1.}G  

图片:捕获.JPG

                               \< <u  
（b）衍射效率     v: cO+dQ  
5, R\tJCK  
2、偶数型达曼光栅设计 'e^,#L_!o  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 "
*CQ<@+  

图片:捕获55.JPG

                     w&jyijk(  
（a）结构图 }dX[u`zQ  
V0q./NuO  

图片:捕获66.JPG

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（b）衍射效率                                                                     xQ\/6|  
mRZC98$ @r  

图片:捕获55.JPG

                                   :CH "cbo  
（a）结构图 I:CnOpR>A  
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图片:捕获66.JPG

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BC*fVr  
（b）衍射效率