[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 k0YsAa#6V  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 XeB>V.<y  
M|v.5l#   
1）标量衍射理论设计 !:n),sFv45  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 y(]|jRo  
hv"toszj\  

图片:2.jpg

         _kx  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） w7Pe<vT  
                           F889JSZ%  

图片:23.jpg

bMUIe\/v[  
（b）达曼光栅衍射效率 ={b ]  
dq8 /^1P  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 (En\odbvt  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 |O)deiJRy  
y[zA[H:  

图片:untitled.jpg

                               vW{cBy  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） h/fCCfO,  
@\DD|o67  

图片:untitled2.jpg

`HM3YC  
（b）达曼光栅衍射效率 vaf9b}FL  
hY1|qp  
3）rsoft仿真 38m%if
h)  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 5i/E=D  
Uo@NK  

图片:捕获77.JPG

                 ZM vTDH!  
（a）标量衍射结果结构图     Hr+-ndH!Pq  
y\_S11{v  

图片:捕88获.JPG

r9M={jC  
（b）衍射效率             {IMzR'PN  
g&Z7h4!\  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 .?
p}
:  
[Kj:~~`T   

图片:1获.JPG

                       ~^^ey17 
 
（a）矢量衍射结果结构图   t>wxK ,  
nP3GI:mjL  

图片:捕获.JPG

                               gr 5]5u   
（b）衍射效率     )KqR8UO
  
$CmX &%L=  
2、偶数型达曼光栅设计 @g75T`N  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Xo@YTol  

图片:捕获55.JPG

                     ^)q2\YE;  
（a）结构图 O$Vm#|$sq  
h6h1.lZ  

图片:捕获66.JPG

gx*rSS?=N  
（b）衍射效率                                                                     :6u3Mj{  
;1.>"zX(  

图片:捕获55.JPG

                                   Z% ;4Ed  
（a）结构图 pIu H*4Vz  
i$
L]X[  

图片:捕获66.JPG

       j#e.rNG  
（b）衍射效率