[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 (rm*KD"]  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 G[$g-NU+  
7B{LRm6;Vu  
1）标量衍射理论设计 Zi=/w  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 P+bA>lJd  
"kd)dy95H  
         h'
ik19  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） VMIX=gTZ  
                           Ra/Pk G
-7  
#%7)a;'  
（b）达曼光栅衍射效率 +^|_vq^XR  
E.eUd4XG  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 aI;-NnC  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 wl7 (|\-  
|wINb~trz  
                               #g=
  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） `Vl9/IEk  
1V.oR`&2E  
R9\ )a2  
（b）达曼光栅衍射效率 <NWq03:&  
A~}5T%qb  
3）rsoft仿真 'e/wjV  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） d$hBgJe>N  
je85G`{DC  
                 Z5|BwM  
（a）标量衍射结果结构图     Z0%:j\W4c  
V:h7}T95  
Z7XFG&@6  
（b）衍射效率             1]69S(  
ZeLed[J^xJ  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 VYjt/\Z  
7YFEyX10d  
                       7@ \:l~{  
（a）矢量衍射结果结构图   )$ M2+_c  
Bmt^*;WY+  
                               ^B:;uyG]M  
（b）衍射效率     -}3nIk<N  
pO92cGJ8  
2、偶数型达曼光栅设计 sGa}Cf;H@g  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 LUdXAi"f  
                     R.!.7dO  
（a）结构图 LXqPNVp#  
Y>6N2&Q  
!<24Cy  
（b）衍射效率                                                                     ALj~e#{;z  
Wdi`ZE  
                                   u}b%-:-  
（a）结构图 #a9O3C/MP  
(x fN=Te,-  
       [5!dO\-[  
（b）衍射效率