1、奇数型达曼
光栅设计
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%?YQ[t 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
@q"m5 70lfb` 1)标量衍射理论设计
,^gyH
\ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
3SSm5{197 Qfky_5R\
Ug:\ (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
8/t$d#xHI P_c,BlfGMH
@]qBF]6 (b)达曼光栅衍射效率
'kYwz;gp 2 o#,kGd 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
p-%|P]& 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
11|Rdd+} -!0_:m3
}<z_Q_b+e (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
+525{Tj AW#<i_Ybf
8vuCc= (b)达曼光栅衍射效率
lCF`*DM# 'TTUN=y 3)rsoft仿真
k'$!(*]\b 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
<*t4D-os #q3l!3\mW
-`f04_@>d (a)标量衍射结果结构图
}tPk@$ ^E6d`2w-
](eN@Xi&@ (b)衍射效率
xyH/e*a mp~{W rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
qzFQEepso 5efxEt>U
g\GdkiIj (a)矢量衍射结果结构图
;NV'W] 7([h4bg{
?3Ij*}_O2 (b)衍射效率
0W`LVue Px5t,5xT8 2、偶数型达曼光栅设计
l{ex? 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
7n)&FXK`
u@p? (a)结构图
hNXBVIL<& NZu)j["
.bf<<+'o (b)衍射效率
8u2+tB I8H%=Kb?9
Fv?=Z-wk (a)结构图
(#q<\` /,5Z-Z*wq
%o?IsIys (b)衍射效率