1、奇数型达曼
光栅设计
QC.W R'. 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
9"_JiX~3 gwk$|aT@ 1）标量衍射理论设计
MdK!Y 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
_+0l+a*D GF5WR e(E 
`Z]Tp1U （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
7|3Qcn7P)@ sZFIQ)b9 
!}wJ+R ^2 （b）达曼光栅衍射效率
h: :'s&| evf){XhT;n 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
9 v )p0 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
J 2%^%5&0 hGi"=Oud2 
<tK 6+isc （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
(gBP` *2 r{qM!(T 
e#Jx|Ej= （b）达曼光栅衍射效率
$C h!]lJA $Tu %dE(OF 3）rsoft仿真
^
ab%Mbb 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
"!<Kmh5 \&]M \ 
6N(Wv0b $ （a）标量衍射结果结构图
log{jF /6}4<~~4TA 
x.ZV<tDi7 （b）衍射效率
flTK *v3/8enf rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
V ~w(^;o@ `+$'bNPn& 
L>$yslH; b （a）矢量衍射结果结构图
[oOZ6\?HB S!8eY `C. 
9 )l-5o: D （b）衍射效率
E ^L h4H~;Wl0 2、偶数型达曼光栅设计
eKn&`\j6 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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x|*v(,7b]! （a）结构图
STu!v5XY}- 2D` @$)KL 
aB<~T[H%h （b）衍射效率
tu6oa[ s =Z_\8 qc 
1C+Y|p?KA （a）结构图
'-3AWBWI1 4]nU%`Z1w 
XyJ*>;q （b）衍射效率
