1、奇数型达曼
光栅设计
wW2b?b{*Z 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
'-9B`O,& "^M/iv( 1）标量衍射理论设计
SURbH;[ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
S-x'nu$u %f[0&)1!.v 
wf*G+&b d2 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
bloe|o! Nr~9] S 
VF#2I %R* （b）达曼光栅衍射效率
r?cDy QE O7<- - 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
z!`aJ E/ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
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2ed4xh V （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
5e)2Jt: GSl vT: k 
!9 7U2L4 （b）达曼光栅衍射效率
|#OMrP+o i =Sjr*)<@j 3）rsoft仿真
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YFu 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
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^5EG;[ 
m .:2G （a）标量衍射结果结构图
|76G#K~<X >.sdLA Si 
~vL7$-: （b）衍射效率
0EWov~Y? o 8fB rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
Cd B sd [E q7!_ 3 
sY|b y\-c （a）矢量衍射结果结构图
ajr);xd ~Qg:_ @@\ 
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K2, （b）衍射效率
m!'moumL; .~3s~y*s 2、偶数型达曼光栅设计
f&=WgITa 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
Kivr)cIG 
2Ra} &ie （a）结构图
*s=jKV# G` ;YB 
3bWYRW （b）衍射效率
DHI%R< +ConK> ; 
M53{e;.kN （a）结构图
aLo^f= S Ur C>n 
n0\k(@+k （b）衍射效率
