[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 2}$Vi$ R  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 2O<Sig=  
tborRi)  
1）标量衍射理论设计 yC+N18y?  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 }2`S@Rq.WW  
*VHBTO9  
         +FY-r[_~  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） :]y;t/  
                           h,FP,w;G  
^>%=/RX  
（b）达曼光栅衍射效率 "{z9 L+  
1G.+)*:3  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 5CU< ?  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 45kMIh~~X  
B susXW$  
                               ^3=8*Xr  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） oYJ&BPuA'  
k\ I$ve"*  
Zr}`W\  
（b）达曼光栅衍射效率 Y1`.  
*9PS2*n  
3）rsoft仿真 Sw5H+!  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） }[LK/@h  
B1nb23SY T  
                 s3J T1TX  
（a）标量衍射结果结构图     2i,Jnv=sR  
^jf$V#z0/  
f\r$T Nd6  
（b）衍射效率             A: 0] n  
{E6W]Mno  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ]"/ *7NM  
?MpGzCPa  
                       *2
:)Rf  
（a）矢量衍射结果结构图   ngm7Vs  
`&pb`P<`  
                               .*Hv^_  
（b）衍射效率     QO#ZQ~  
h$ZF[Xbfe  
2、偶数型达曼光栅设计 k;LENB2iv  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ^
f<f&V  
                     B5I(ai7<M  
（a）结构图 (/@o7&>*50  
"Ww^?"jQ)  
A%Bz52yg  
（b）衍射效率                                                                    
#(  kT  
(_nkscf  
                                   
.zegG=q  
（a）结构图 kQ'G+Kw~F  
vm4]KEyrX  
       F&cA!~  
（b）衍射效率