[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ,_X/Gb6)  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 qwK2WE%T  
)r[&RGz6  
1）标量衍射理论设计 #f
J] o_  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 cuK,X!O  
Ndo a4L)$  
         K{ \;2M  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） f{"8g"[[)(  
                           lj{VL}R  
p
/2jh&  
（b）达曼光栅衍射效率 GEEW?8  
-AhwI  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 0]D{V
a  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 =)E,8L  
&z]K
\-xp  
                               =7m}yDs6$  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） xS7$%w['  
/sr2mt-Q  
DhX#E&  
（b）达曼光栅衍射效率 @q"m5  
WWL4`s  
3）rsoft仿真 fZxIY,  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） iA0q_( \X  
,R$u?c0>'&  
                 RN)dS>$  
（a）标量衍射结果结构图     M\Gdn92pd  
?KITC;\\  
'{[5M!B  
（b）衍射效率             }U SC1J  
^/5XZ} *  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 dgDy5{_  
[HN|\afz  
                       !r`,=
jK"  
（a）矢量衍射结果结构图   ifo7%XPcg  
50 A^bbid  
                               l^d[EL+  
（b）衍射效率     ltkI}h,e  
;SwMu@tg  
2、偶数型达曼光栅设计 X*Z8CM_  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 4O:W#bx  
                     ]`bQW?  
（a）结构图 GZ{]0$9I'  
oQv3GpO  
oG7q_4+&  
（b）衍射效率                                                                     kNT}dv]<  
Kf 2jD4z}  
                                   `]LSbS  
（a）结构图 ork=`};  
T~fmk f$  
       [xh*"wT#g  
（b）衍射效率