[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 (v8jVbg  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Ij}RlYQz  
\6xVIQ& 0  
1）标量衍射理论设计 T
!)v9L  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 a ^b_&}y  
pRj1b^F5y  
         8:,l+[\  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） v>71?te  
                           o84!$2P+w  
<gKT7ONtg  
（b）达曼光栅衍射效率 \5Jpr'mY5  
Pz1pEyuL  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ,P<n\(DQ  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 lM5Xw  
.4~n|d>z  
                               8hi|F\$_h  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） -lm\~VZT3  
Cv|ya$}a  
kQ~*iY  
（b）达曼光栅衍射效率 `Q*L!/K+  
+I7n6s\  
3）rsoft仿真 ;z>)&F  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） _d&FB~=  
,&!Txyye  
                 QOkPliX  
（a）标量衍射结果结构图     @ Sw
[+`  
fNc3&=]]  
#!KbqRt  
（b）衍射效率             
5~CHj  
}Z-]m  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 B`}?rp  
Mjrl KI}f/  
                       %J?;@ G)r  
（a）矢量衍射结果结构图   Im1e/F]  
g&H6~ +\
 
                               1+PLj[;jJ:  
（b）衍射效率     {SW}S_  
i!<,8e=  
2、偶数型达曼光栅设计 DJ;G0*  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 _YY:}'+  
                     UfSWd
R)  
（a）结构图 ^PfFW  
` a5$VV%J  
]n0kO&  
（b）衍射效率                                                                     G@anY=D\EB  
!12W(4S5  
                                   lN)U8  
（a）结构图 69 R
8#M  
o-B9r+N  
       67Z|=B!7  
（b）衍射效率