[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 `_H^k!^  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 4\EvJg@Z.  
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1）标量衍射理论设计 834dsl+U  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 i3\6*$Ug  
^5![tTJ  
         |MXv  w6P  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） rSfvHO:R  
                           jo8;S?+<|?  
9ApGn!
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（b）达曼光栅衍射效率 = g)G!  
A?sU[b6_  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 xd`!z`X!,s  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 )z#M_[zC>  
&$</|F)y  
                               r'ydjy  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Z"fnjH
 
/y"Y o  
R?Or=W)i  
（b）达曼光栅衍射效率 k99ANW  

qm)KO 4  
3）rsoft仿真 IFY,j8~q  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 5Y8/ZW~D0  
k&1~yW  
                 Y(]&j`%  
（a）标量衍射结果结构图     I!;#Nk>  
7^J-5lY3S  
7^~pOFdH  
（b）衍射效率             x6ig,N~AO  
2Ax HhD.  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 >, &6zj  
/.\$%bua  
                       U!-|.N,  
（a）矢量衍射结果结构图   d*lnXzQor  

/y,~?  
                               eD, 7gC-  
（b）衍射效率     <)]B$~(a  
E$FXs~a  
2、偶数型达曼光栅设计 d%9r"=/  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 )^^r\  
                     4.3Bz1p&#  
（a）结构图 g2hxWf"  
VYhZ0;' '  
Fa9]!bW  
（b）衍射效率                                                                     q5[%B K  
`ge{KB;*n#  
                                   L`+\M+  
（a）结构图 *kxk@(lT?  
h2KXW}y"4  
       / GJ"##<  
（b）衍射效率