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    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 Q{y{rC2P  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 5<R%H{3j  
    q=5l4|1  
    1)标量衍射理论设计 %1}6q`:w  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 Qn+:/ zA;  
    EX "|H.(  
             Lp&k3?W  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) 6mPm=I[oh  
                               S~yR5cb  
    SF<Vds}A2  
    (b)达曼光栅衍射效率 )K]pnH|  
    Q*ju sm  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 s"~5']8  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 LN^f1/ b*  
    {"}V&X160o  
                                   wij,N(,H  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) 07_oP(;jT  
    r o\1]`6  
    W>-B [5O&[  
    (b)达曼光栅衍射效率 WFv!Pbq,  
    I.jZ wW!r  
    3)rsoft仿真 eN>0wd5{L  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) R: Z_g !h  
    eV!L^>>>  
                     dE(tFZx  
    (a)标量衍射结果结构图     SN Y (*  
    gK1g]Tc@G  
    uO(w1Q"^  
    (b)衍射效率             SreYJT%  
    VLvS$0(}Z  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 /yPXMJ6W~R  
    F4C!CUI  
                           tw K^I6@  
    (a)矢量衍射结果结构图   `DW2spd  
    3YL l;TP_  
                                   lP _db&  
    (b)衍射效率     e@]-D FG  
    Af-UScD%G  
    2、偶数型达曼光栅设计 TwahR:T   
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 dQ:cYNm  
                         F jrINxL7^  
    (a)结构图 &"E lm  
    oh-|'5+,;h  
    &xd.Qi2  
    (b)衍射效率                                                                     rpV1y$n<F  
    [0@`wZ  
                                       \=e8%.#@J  
    (a)结构图 +}kgQ^  
    ql{_%x?  
           4[2_,9}  
    (b)衍射效率    
     
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