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    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 zux+ooU  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Q[p0bD:  
    k&DH QvfB  
    1)标量衍射理论设计 4T9hT~cT7  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 q'2PG@  
    9MLvHrB;  
             @WEem(@  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) ok\+$+ $ju  
                               Whd4-pR8  
    <'~8mV1  
    (b)达曼光栅衍射效率 i? AZ|Ha[  
    *!9/`zW  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 ,0&lag  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 oAyk  
    qW7"qw=   
                                   4Ro(r sO  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) ;6b#I$-J-  
    a LmVOL{  
    cfeX (0  
    (b)达曼光栅衍射效率 ;@d %<yMf@  
    0!vC0T[  
    3)rsoft仿真 Rc6 )v  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) U*&ZQw  
    NNl/'ge <\  
                     Etu>z+P!  
    (a)标量衍射结果结构图     @5?T]V g  
    =(n'#mV  
    .@6]_h;  
    (b)衍射效率             / a$+EQ$  
    _).'SU)>  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 5R=lTx/Hj  
    4{vd6T}V!  
                           f0D Ch]  
    (a)矢量衍射结果结构图   7 YK+TGmU^  
    Q"Ec7C5eM  
                                   -YuvEm#f  
    (b)衍射效率     N6J$z\ P  
    &1h3o^K  
    2、偶数型达曼光栅设计 lTB!yF.r|  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 *cf"l  
                         FvJSJ.;E,  
    (a)结构图 N/%#GfXx  
    *SY4lqN  
    b {I`$E<[  
    (b)衍射效率                                                                     Pu^~]^W)  
    %f-<ol  
                                       s =5H.q%PV  
    (a)结构图 5HbTgNI  
    :7ngVc  
           A pjqSz"  
    (b)衍射效率    
     
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