[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 &$1ifG   
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 kkyi`_ZKn  
 rkF>c  
1）标量衍射理论设计 Cj,Yy  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 \I@hDMqv  
GQ@`qYLZ+  

图片:2.jpg

         l8XgzaW  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） mM[!g'*  
                           OzVCqq"]  

图片:23.jpg

4dEfXrMf  
（b）达曼光栅衍射效率 0bR)]"K  
B#|c$s{  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 qy9RYIfZ  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 /tG0"
1{  
_i/x4,=xv  

图片:untitled.jpg

                               P1r)n{;  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
r@O5{V  
prWK U  

图片:untitled2.jpg

tRl01&0S  
（b）达曼光栅衍射效率 ho'Ihep,L  
sRMz[n5k  
3）rsoft仿真 XtJIaD|:3  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） gXNlnh%?S  
W<QMUu  

图片:捕获77.JPG

                 /S9(rI<'  
（a）标量衍射结果结构图     T4M"s;::1  
ZM6`:/lc  

图片:捕88获.JPG

:Zs i5>MT  
（b）衍射效率             \Nvu[P  
5~pQ$-  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ]g3RVA%\l  
>!U oS  

图片:1获.JPG

                       HGwSso
S  
（a）矢量衍射结果结构图   @X|Mguq5  
} xy>uT  

图片:捕获.JPG

                               (}#8$ )  
（b）衍射效率     4kNiS^h  
$ouw*|<  
2、偶数型达曼光栅设计 InAx;2'A:  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 _s1pif  

图片:捕获55.JPG

                     :rBPgrt  
（a）结构图 m\0Xh*  
5}+&Em":  

图片:捕获66.JPG

5Al1u|;HB  
（b）衍射效率                                                                     X0}+X'3  
*\n-yx]  

图片:捕获55.JPG

                                   Fuz'!  
（a）结构图 B%.vEk)*  
}%T8?d]  

图片:捕获66.JPG

       MyJ\/`8  
（b）衍射效率