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    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 8+cpNX  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 7b%Cl   
    RGuHXf  
    1)标量衍射理论设计 j/mp.'P1k  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 LtWU"42  
    Jl4XE%0  
             w*P4_= :%Y  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) y1My, ?"?  
                               Ngc+<  
    vK7,O%!S  
    (b)达曼光栅衍射效率 QLU; .&  
    ER0#$yFpM  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 ,[1`'nN@g  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 Vy~$%H94  
    :!!`!*!JH  
                                   nJH%pBc  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) L;7mt 4H  
    cNc _ n<M  
     8\ ;G+  
    (b)达曼光栅衍射效率 o`! :Q!+  
    b/Q"j3  
    3)rsoft仿真 !Qa7-  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) F <Z=%M3e  
    (k.7q~:  
                     =:8=5tj  
    (a)标量衍射结果结构图     =Fl4tY#X  
    L%Q *\d  
    7N=VVD~!b  
    (b)衍射效率             5D*V%v  
    P"@^'yR5WK  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 @Qozud\?  
    q0Pu6"^  
                           /2cOZ1G;  
    (a)矢量衍射结果结构图   U5 "v1"Ec  
    S @($c'  
                                   ;0q6 bp(<H  
    (b)衍射效率     `"Pd$jW  
    <sOB j'  
    2、偶数型达曼光栅设计 vdzC2T  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 ,DLNI0uV  
                         ^KR(p!%  
    (a)结构图 QLl44*@  
    P 'k39  
    3I(H.u  
    (b)衍射效率                                                                     ep|u_|sB/r  
    *CSFkWVa  
                                       g'E^@1{  
    (a)结构图  ^k=[P  
    rD?o97  
           )\^OI:E  
    (b)衍射效率    
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