[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 oR~d<^z(  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 =Yl ea,S  
ig YYkt  
1）标量衍射理论设计 NZZy^p&O  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 |,=^P`#%  
Iw.!*0$
 
         hi$AZ+  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） MCEHv}W  
                           5oCg&aT  
}wp/,\_ >  
（b）达曼光栅衍射效率
aaKf4}  
jDQ?b\^  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 l"+8>Mm  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ![Gn0X?]  
<b *sn]l  
                               U$OI]Dd9  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） J;^PM:6  
P%Vq#5  
z k}AGw  
（b）达曼光栅衍射效率 uY>M3h#qx  
`)cH(Rj  
3）rsoft仿真 Z- a
  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） zdU46|!u  
Z|x
|8 !D  
                 ^vT!24sK  
（a）标量衍射结果结构图     RjvW*'2G  
~ffT
}q7^  
iKd+AzT  
（b）衍射效率             R{bG`C8.d  
-3)jUzD  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ! #! MTk  
"OwVCym?  
                       itirh"[  
（a）矢量衍射结果结构图   Mth:V45G|  
i@5Fne  
                               ,G}i:7  
（b）衍射效率     3Ji$igL  
`vOL3`P  
2、偶数型达曼光栅设计 %>=6v}f,+  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 9NU0K2S  
                     hchG\i  
（a）结构图 t>?tW
SNf  
MaHP):~  
_ pz}  
（b）衍射效率                                                                     51y"#\7  
#I453  
                                   wz69Yw7  
（a）结构图 
!YjxCx  
/QyKXg6)l  
       `q<W %'Tb$  
（b）衍射效率