1、奇数型达曼
光栅设计
(z8^^j[ 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
UKfC!YR2J8 "Uk " 1）标量衍射理论设计
]]R!MnU:$ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
\Z?.Po`!j G7|CwzMg 
*x0nAo_n （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
am+'j5`Ys k &<cFZU 
XGs
d"UW （b）达曼光栅衍射效率
.}xF2'~E/ }DCR(p rD 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
'[T#d! T 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
)&jE< C0 {? a@UUvC 
K NI* : （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
{c#{dT :)djHPP* 
vt(A? $j|A （b）达曼光栅衍射效率
$qvk9 B0E Xp_3EQl 3）rsoft仿真
X+R?>xq{=h 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
~F{u4p7{N UNoNsmP 
/4Df ' d （a）标量衍射结果结构图
Ts~MkO {6/Yu: ; 
B AJEn6f? （b）衍射效率
T +$A f,~ ^Z6N&s#6 rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
]< Ugg {j0c)SETN 
r )pg9}+ （a）矢量衍射结果结构图
lZ\8$,B) ox}LC, ! 
gG>|5R0 （b）衍射效率
+!'rw D D>HX1LV 2、偶数型达曼光栅设计
NHL -ll-R 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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yv2&K=rZp （a）结构图
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2'{ cb9ndZ)v. 
t 7(#Cuv- （b）衍射效率
88 ]UA > f ! 
cTq}H_hC （a）结构图
*8a 8 Ng BB>R=kt 
cyQ&w>' （b）衍射效率
