[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 bUV >^d  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Ft=zzoVKg  
NqHy%'R  
1）标量衍射理论设计 5wB =>  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 8bK|:B#6,  
Sgim3):Z  
         CZnK8&VDY  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） t- u VZ!`\  
                           y4Z&@,_{  
mE O\r|A  
（b）达曼光栅衍射效率 -&82$mj  
yNW\?Z$@q  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 TlAR.cV  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Xdi:1wW@p  
c0c|z Ym  
                               d\MLOXnLq;  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） WH ?}~u9  
g 6]epp[8  

!g~1&Uw1  
（b）达曼光栅衍射效率 ~AYN  
a8u9aEB  
3）rsoft仿真 gK#mPcn^  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） M7f;Pa  
gM>t0)mGK  
                 HCK|~k  
（a）标量衍射结果结构图     qbrpP(.  
=/<LSeLxH  
g71[6<D  
（b）衍射效率             *vgl*k?)  
g&dPd7  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 W{z.?$SH  
$,I q;*7N  
                       {NpM.;  
（a）矢量衍射结果结构图   ['z[  
3X9b2RY*L/  
                               x@
m
L $  
（b）衍射效率     jF`BjxrG  
l1ZY1#%j  
2、偶数型达曼光栅设计 f>'Y(dJ'W  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 "~UUx"Y  
                     8x`.26p  
（a）结构图 Iff9'TE  
y(R? ,wa=]  
Va Z!.#(P  
（b）衍射效率                                                                     f}guv~K  
=to=8H-  
                                   "5cM54Z0  
（a）结构图 wf,7==  
.xf<=ep  
       IH$0)g;s  
（b）衍射效率