[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 NI s4v(!  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Nd!2 @?V4  
a\m10Ih:  
1）标量衍射理论设计 gkk<-j'  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ,em6wIq,  
$'FPst8Q<  
         ,n!xzoX_  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Yhw* `"X  
                           c[y=K)<Z  
3Ob"r`  
（b）达曼光栅衍射效率 \ bT]?.si  
JcVq%~{M  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 $=m17GD  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 JN KZ'9  
kyo ,yD  
                               Z%OSW  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） C aJ
D*  
2aje$w-  
xf]4!zE  
（b）达曼光栅衍射效率 -X}R(.}x  
]VYl Eqe  
3）rsoft仿真 ToJru  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） I3x}F$^  
:A{-^qd(  
                 .CpF
0  
（a）标量衍射结果结构图     +%Gm2e;_u  
\%Smp2K  
^c7L!F  
（b）衍射效率             6kuSkd$.  
er#=xqUY  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 J;kbY9e  
zn~m;0Xi  
                       tQ}gBE63  
（a）矢量衍射结果结构图   `c
v:p|s  
/&dt!.WY^  
                               E37@BfpO3  
（b）衍射效率     E0pQRGPA  
|5/[0V-vy  
2、偶数型达曼光栅设计 d#tUG~jc  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 UK<"|2^sT  
                     KE3v3g<  
（a）结构图 O&s6blD11  
an2Tc*=~l(  
Mvh_>-i  
（b）衍射效率                                                                     qpeK><o  
e4b~s  
                                   e](=)h|  
（a）结构图 FS}z_G|4]  
9$S,P|  
       tVcs r  
（b）衍射效率