[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 8+cpNX  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 7b%
Cl   
RGuHXf  
1）标量衍射理论设计 j/mp.'P1k  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 LtWU
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Jl4XE%0  
         w*P4_= :%Y  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） y1My, ?"?  
                           Ng

c+<  
vK7,O%!S  
（b）达曼光栅衍射效率 QLU;.&  
ER0#$yFpM  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ,[1`'nN@g  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Vy~$%H94  
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                               nJH%pBc  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） L;7mt 4H  
cNc_ n<M  
 8\ ;G+  
（b）达曼光栅衍射效率 o`! :Q!+  
b/Q"j3
 
3）rsoft仿真 !Qa7-  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） F<Z=%M3e  
(k.7q~:  
                 =:8=5tj  
（a）标量衍射结果结构图     =Fl4tY#X  
L%Q *\d  
7N=VVD~!b  
（b）衍射效率             5D*V%v  
P"@^'yR5WK  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 @Qozud\?  
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                       /2cOZ1G;  
（a）矢量衍射结果结构图   U5 "v1"Ec  
S@($c'  
                               ;0q6 bp(<H  
（b）衍射效率     `"Pd$jW  
<sOB j'  
2、偶数型达曼光栅设计 vdzC2T  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ,DLNI0uV  
                     ^KR(p!%  
（a）结构图 Q
Ll44*@  
P'k39  
3I(H.u  
（b）衍射效率                                                                     ep|u_|sB/r  
*CSFkWVa  
                                   g'E^@1{  
（a）结构图  ^k=[P  
rD?o97  
       )\^OI:E  
（b）衍射效率