1、奇数型达曼
光栅设计
zux+ooU 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
Q[p0bD: k&DHQvfB 1)标量衍射理论设计
4T9hT~cT7 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
q'2PG@
9MLvHrB;
@WEem(@ (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
ok\+$+$ju Whd4-pR8
<'~8mV1 (b)达曼光栅衍射效率
i?AZ|Ha[ *!9/`zW 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
,0 &lag 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
o Ayk qW7"qw=
4Ro(r
sO (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
;6b#I$-J- a
LmVOL{
cfeX(0 (b)达曼光栅衍射效率
;@d%<yMf@ 0!vC0T[ 3)rsoft仿真
Rc6
)v 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
U*&ZQw NNl/'ge<\
Etu>z+P! (a)标量衍射结果结构图
@5?T]V g =(n'#mV
.@6]_h; (b)衍射效率
/a$+EQ$ _).'SU)> rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
5R=lTx/Hj 4{vd6T}V!
f0D Ch] (a)矢量衍射结果结构图
7
YK+TGmU^ Q"Ec7C5eM
-YuvEm#f (b)衍射效率
N6J$z\
P &1h3o^K 2、偶数型达曼光栅设计
lTB!yF.r| 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
*cf"l
FvJSJ.;E, (a)结构图
N/%#GfXx *SY4lqN
b{I`$E<[ (b)衍射效率
Pu^~]^W) %f-<ol
s =5H.q%PV (a)结构图
5HbTgNI :7ngVc
A pjqSz" (b)衍射效率