1、奇数型达曼
光栅设计
Q{y{ rC2P 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
5<R%H{3j q=5l4| 1 1）标量衍射理论设计
%1}6q`:w 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
Qn+:/ zA; EX
"|H. ( 
Lp&k3?W （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
6mPm=I[oh S~yR5cb 
SF<Vds}A2 （b）达曼光栅衍射效率
)K]pnH| Q* ju
sm 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
s"~5']8 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
LN^f1/ b* {"}V&X160o 
wij,N(,H （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
07_oP(;jT r o\1]`6 
W>-B [5O&[ （b）达曼光栅衍射效率
WFv!Pbq, I.jZ
wW!r 3）rsoft仿真
eN>0wd5{L 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
R: Z_g !h eV!L^>>> 
dE(tFZx （a）标量衍射结果结构图
SN Y (* gK1g]Tc @G 
uO(w1Q"^ （b）衍射效率
SreYJT% VLvS$0(}Z rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
/yPXMJ6W~R F4C!CUI 
tw K^I6@ （a）矢量衍射结果结构图
`DW2spd 3YL
l;TP_ 
lP _db& （b）衍射效率
e@]-D
FG Af-UScD%G 2、偶数型达曼光栅设计
TwahR :T 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
dQ:cYNm 
F jrINxL7^ （a）结构图
&"E
lm oh-|'5+,;h 
&xd.Qi2 （b）衍射效率
rpV1y$n<F [0@` wZ 
\=e8%.#@J （a）结构图
+}kgQ^ ql{_%x? 
4 [2_,9} （b）衍射效率
