切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2305阅读
    • 0回复

    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线yalx
     
    发帖
    18
    光币
    53
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 4n %?YQ[t  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 @q"m5  
    70lfb`  
    1)标量衍射理论设计 ,^gyH \  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 3SSm5{197  
    Qfky_5R\  
              Ug:\  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) 8/t$d#xHI  
                               P_c,BlfGMH  
    @]q BF]6  
    (b)达曼光栅衍射效率 'kYwz;gp  
    2o#,kGd  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 p-%|P ]&  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 11|Rdd+}  
    -!0_:m3  
                                   }<z_Q_b+e  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) +525{Tj  
    AW#<i_Ybf  
    8vuCc=  
    (b)达曼光栅衍射效率 lCF `*DM#  
    'TTUN=y  
    3)rsoft仿真 k'$!(*]\b  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) <*t4D-os  
    #q3l!3\mW  
                     -`f04_@>d  
    (a)标量衍射结果结构图     }tPk@$  
    ^E6d`2w-  
    ](eN@Xi&@  
    (b)衍射效率             xyH/e*a  
    mp~{W  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 qzFQEepso  
    5efxEt>U  
                           g\GdkiIj  
    (a)矢量衍射结果结构图   ;NV'W]  
    7([h4bg{  
                                   ?3Ij*}_O2  
    (b)衍射效率     0W`LVue  
    Px5t,5xT8  
    2、偶数型达曼光栅设计 l{ex?  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 7n)&FX K`  
                         u@p?  
    (a)结构图 hNXBVIL<&  
    NZu)j["  
    .bf<<+'o  
    (b)衍射效率                                                                     8u2+tB  
    I8H%=Kb?9  
                                       Fv?=Z-wk  
    (a)结构图 (#q<\`  
    /,5Z-Z*wq  
           %o?IsIys  
    (b)衍射效率    
     
    分享到