[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 4n %?Y
Q[t  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 @q"m5  
70l
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1）标量衍射理论设计 ,^gyH \  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 3SSm5{197  
Qfky_5R\  

图片:2.jpg

         Ug:\  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 8/t$d#xHI  
                           P_c,BlfGMH  

图片:23.jpg

@]qBF]6  
（b）达曼光栅衍射效率 'kYwz;gp  
2o#,kGd  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 p-%|P]&  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 11|Rdd+}  
-!0_:m3  

图片:untitled.jpg

                               }<z_Q_b+e  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） +525{Tj  
AW#<i_Ybf  

图片:untitled2.jpg

8vuCc=  
（b）达曼光栅衍射效率 lCF`*DM#  
'TTUN=y  
3）rsoft仿真 k'$!(*]\b  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） <*t4D-os  
#q3l!3\mW  

图片:捕获77.JPG

                 -`f04_@>d  
（a）标量衍射结果结构图     }tPk@$  
^E6d`2w-  

图片:捕88获.JPG

](eN@Xi&@  
（b）衍射效率             xyH/e*a  
mp~
{W  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 qzFQEepso  
5efxEt>U  

图片:1获.JPG

                       g\GdkiI
j  
（a）矢量衍射结果结构图   ;NV'W]  
7([h4b
g{  

图片:捕获.JPG

                               ?3Ij*}
_O2  
（b）衍射效率     0W`LVue  
Px5t,5xT8  
2、偶数型达曼光栅设计 l{ex?  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 7n)&FXK`  

图片:捕获55.JPG

                     u@p?  
（a）结构图 hNXBVIL<&  
NZu)j["  

图片:捕获66.JPG

.bf<<+'o  
（b）衍射效率                                                                     8u2+tB  
I8H%=Kb?9  

图片:捕获55.JPG

                                   Fv?=Z-wk  
（a）结构图 (#q<\`  
/,5Z-Z*wq  

图片:捕获66.JPG

       %o?IsIys  
（b）衍射效率