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    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 (z8^^j[  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 UKfC!YR2J8  
    "Uk "  
    1)标量衍射理论设计 ]]R!MnU:$  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 \Z?.Po`!j  
    G7|CwzMg  
             *x0nAo_n  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) am+'j5`Ys  
                               k&<cFZU  
    XGs d"UW  
    (b)达曼光栅衍射效率 .}xF2'~E/  
    }DCR(p rD  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 '[T#d!T  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 )&jE<C0  
    {? a@UUvC  
                                   KNI* :  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) {c#{dT  
    :)djHPP*  
    vt(A?$j|A  
    (b)达曼光栅衍射效率 $qvk9 B0E  
    Xp_3EQl  
    3)rsoft仿真 X+R?>xq{=h  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) ~F{u4p7{N  
    UNoNsmP  
                     /4Df 'd  
    (a)标量衍射结果结构图     Ts~MkO  
    {6/Yu: ;  
    BAJEn6f?  
    (b)衍射效率             T+$Af,~  
    ^Z6N&s#6  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 ]<Ugg  
    {j0c)SETN  
                           r )pg9}+  
    (a)矢量衍射结果结构图   lZ\8$,B)  
    ox}LC, !  
                                   gG>|5R0  
    (b)衍射效率     +!'rw D  
    D>HX1LV  
    2、偶数型达曼光栅设计 NHL -ll-R  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。  e>FK5rz  
                         yv2&K=rZp  
    (a)结构图 =}8:zO 2'{  
    cb9ndZ)v.  
    t 7(#Cuv-  
    (b)衍射效率                                                                     88]UA  
    >f !  
                                       cTq}H_hC  
    (a)结构图 *8a8Ng  
    BB>R=kt  
           cyQ&w>'  
    (b)衍射效率    
     
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