[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 n0i&P
9@B1  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 %Z5k8  
Gf]s?J^a  
1）标量衍射理论设计 B# H  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 O.}gG6u5  
tx1jBh:e=  
         tr/dd&(Y1  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） -5 W0K}  
                           x[^A9  
835Upj>  
（b）达曼光栅衍射效率 #f~a\}$I  
)?bb]hZg?O  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 \
mu9ikZ<  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 jRkq^}  
pz IMj_  
                               ^[Er%yr0  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 9iy|=  
Q%xY/xH]  
|O9=C`G_  
（b）达曼光栅衍射效率 2!3&Ub#FO  
Yr=mLT|JN  
3）rsoft仿真 fDqXM;a"  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） @ty|HXW  
uW
Inx6p  
                 -d3y!|\>a  
（a）标量衍射结果结构图     @Kr)$F  
|\(/dXXP  
h*9o_  
（b）衍射效率             ~+C#c,Nw  
Lb{D5k*XU  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 G0Eq}MyF  
LG|,g3&  
                       ibc/x v2  
（a）矢量衍射结果结构图   ] zY  
,7g;r_qwA  
                               {LD8ie|x1`  
（b）衍射效率     dR+$7N$  
v+sbRuo8  
2、偶数型达曼光栅设计 A,e^bM  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 _D4}
[`  
                     R*0F)M  
（a）结构图 8vw]u_e  
T_Y}1n|7[  
x+e _pb   
（b）衍射效率                                                                     UVJ(iNK"  
X8x>oV;8  
                                   eFI4(Y  
（a）结构图 ~m?~eJK#a  
e"6i>w!  
       k#) .E X  
（b）衍射效率