[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 D{Jc+Q$  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 4,R\3`b  
A{n*NxKCX!  
1）标量衍射理论设计 @zq\z$  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 @zVBn~=i  
0 6G[^  
         z?b(|f\!  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） %l]rQjV-  
                           h>`'\qy  
f@x( ,p  
（b）达曼光栅衍射效率 M%Kx{*aw&  
G3^n_]Jb  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ZCOuv6V+  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 MIMPJXT#.  
V
}r_   
                               {H7$uiq3:B  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） dM@k(9|  
hnfrnYH  
7+2aG  
（b）达曼光栅衍射效率 bQ:3G;  
#\!hBL @b  
3）rsoft仿真 ~]t2?SqNm  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） (w7cdqe  
Fy+7{=?^F  
                 3\U,Kg  
（a）标量衍射结果结构图     SUFaHHk@/b  
]P ?#lO6  
oT5rX ,8  
（b）衍射效率             5IF~]5s  
AQBx k[  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 l.W1$g  
#.t$A9'  
                       G4`sRaT.  
（a）矢量衍射结果结构图   YaE['a  
<xh'@592  
                               0T{Y_IG  
（b）衍射效率     Zv7$epDUz  
6;=wuoJi  
2、偶数型达曼光栅设计 ^{]sD}Q"  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ~6kA<(x  
                     Zo638*32  
（a）结构图 1J%qbh  
/n3&e  
4>tYMyLt0  
（b）衍射效率                                                                     y7L4jO9h  
uC8T!z  
                                   _/w-gL{  
（a）结构图 qFsg&<  
a_fW{;}[  
       8J(zWV7 r  
（b）衍射效率