[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 xDv5'IGBb  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 g_'F(An  
Teq1VK3Hr  
1）标量衍射理论设计 4pNIsjl}  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 #
m yiZL%  
~gU.z6us  

图片:2.jpg

         ti6\~SY  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） "";[U  
                           Q(Q.(  

图片:23.jpg

6;"^Id   
（b）达曼光栅衍射效率 /HCd52  
A0Z<1|6r*  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 "]*16t%Z%x  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 pdCn98}%-  
5cLq6[uO  

图片:untitled.jpg

                               l-|hvv5g  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ia=eFWt.  
OT-!n  

图片:untitled2.jpg

P=v 0|Y*q|  
（b）达曼光栅衍射效率 |KSd@  
R7axm<PR=  
3）rsoft仿真 4?Mb>\n%<^  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 9v[cy`\  
N$u;Q(^  

图片:捕获77.JPG

                 H(f~B<7q  
（a）标量衍射结果结构图     9[.vtk\iyH  
%{GYTc \'X  

图片:捕88获.JPG

zQY|=4NP  
（b）衍射效率            
Hj&mwn]  
Cm)_xnv  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 yL =*yC  
H"v3?g`S%  

图片:1获.JPG

                       HzADz%~  
（a）矢量衍射结果结构图   7PE3>cD  
fwvPh&U&  

图片:捕获.JPG

                               ^(,qkq'u D  
（b）衍射效率     m$glRs @  
GS),rNBur  
2、偶数型达曼光栅设计 `LD#fg*  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Yr9>ATR  

图片:捕获55.JPG

                     ~`J/618  
（a）结构图 NpS*]vSO  
"&jWC  

图片:捕获66.JPG

lgR;V]^YX  
（b）衍射效率                                                                     cW+6Emh  
9Z! j
 

图片:捕获55.JPG

                                   jpND"`Q  
（a）结构图 @WcK<Qho  
n<Vq@=9AE  

图片:捕获66.JPG

       Z+jgFl 4  
（b）衍射效率