1、奇数型达曼
光栅设计
(z8^^j[ 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
UKfC!YR2J8 "Uk " 1)标量衍射理论设计
]]R!MnU:$ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
\Z?.Po`!j G7|CwzMg
*x0nAo_n (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
am+'j5`Ys k&<cFZU
XGs
d"UW (b)达曼光栅衍射效率
.}xF2'~E/ }DCR(p rD 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
'[T#d! T 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
)&jE<C0 {? a@UUvC
KNI* : (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
{c#{dT :)djHPP*
vt(A?$j|A (b)达曼光栅衍射效率
$qvk9 B0E Xp_3EQl 3)rsoft仿真
X+R?>xq{=h 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
~F{u4p7{N UNoNsmP
/4Df 'd (a)标量衍射结果结构图
Ts~MkO {6/Yu:;
BAJEn6f? (b)衍射效率
T+$Af,~ ^Z6N&s#6 rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
]< Ugg {j0c)SETN
r )pg9}+ (a)矢量衍射结果结构图
lZ\8$,B) ox}LC,!
gG>|5R0 (b)衍射效率
+!'rwD D>HX1LV 2、偶数型达曼光栅设计
NHL -ll-R 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
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yv2&K=rZp (a)结构图
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2'{ cb9ndZ)v.
t7(#Cuv- (b)衍射效率
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cTq}H_hC (a)结构图
*8a8Ng BB>R=kt
cyQ&w>' (b)衍射效率