切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2836阅读
    • 0回复

    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线yalx
     
    发帖
    18
    光币
    53
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 (rm*KD"]  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 G[$g-NU+  
    7B{LRm6;Vu  
    1)标量衍射理论设计 Zi= /w  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 P+bA>lJd  
    "kd)dy95H  
             h'ik19  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) VMIX=gTZ  
                               Ra/Pk G-7  
    #%7)a;'  
    (b)达曼光栅衍射效率 +^|_vq^XR  
    E.eUd4XG  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 aI;-NnC  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 wl7 (|\-  
    |wINb~trz  
                                   #g=  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) `Vl9/IEk  
    1V.oR`&2E  
    R9\ )a2  
    (b)达曼光栅衍射效率 <NWq0 3:&  
    A~}5T%qb  
    3)rsoft仿真 'e/wjV  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) d$hBgJe>N  
    je8 5G`{DC  
                     Z5|BwM  
    (a)标量衍射结果结构图     Z0%:j\W4c  
    V:h7}T95  
    Z7XFG&@6  
    (b)衍射效率             1]69S(  
    ZeLed[J^xJ  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 VYjt/\ Z  
    7YFEyX10d  
                           7@ \:l~{  
    (a)矢量衍射结果结构图   )$ M2+_c  
    Bmt^*;WY+  
                                   ^B:;uyG]M  
    (b)衍射效率     -}3nIk<N  
    pO92cGJ8  
    2、偶数型达曼光栅设计 sGa}Cf;H@g  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 LUdXAi"f  
                         R.!.7dO  
    (a)结构图 LXqPNVp#  
    Y>6N2&Q  
    !<24Cy  
    (b)衍射效率                                                                     ALj~e#{;z  
    Wdi`Z E  
                                       u}b%-:-  
    (a)结构图 #a9O3C/MP  
    (x fN=Te,-  
           [5!dO\-[  
    (b)衍射效率    
    本主题包含附件,请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    分享到