[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 zux+ooU  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Q[p0bD
:  
k&DHQvfB  
1）标量衍射理论设计 4T9hT~cT7  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 q'2PG@  
9MLvHrB;  

图片:2.jpg

         @WEem(@  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ok\+$+$ju  
                           Whd4-pR8  

图片:23.jpg

<'~8mV1  
（b）达曼光栅衍射效率 i?AZ|Ha[  
*!9/`zW  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ,0
&lag  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 oAyk  
qW7"qw=   

图片:untitled.jpg

                               4Ro(r sO  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ;6b#I$-J-  
a LmVOL{  

图片:untitled2.jpg

cfeX(0  
（b）达曼光栅衍射效率 ;@d%<yMf@  
0!vC0T[  
3）rsoft仿真 Rc6 )v  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） U*&ZQw  
NNl/'ge<\  

图片:捕获77.JPG

                 Etu>z+P!  
（a）标量衍射结果结构图     @5?T]V g  
=(n'#mV  

图片:捕88获.JPG

.@6]_h;  
（b）衍射效率             /a$+EQ$  
_).'SU)>  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 5R=lTx
/Hj  
4{vd6T}V!  

图片:1获.JPG

                       f0D Ch]  
（a）矢量衍射结果结构图   7 YK+TGmU^  
Q"Ec7C5eM  

图片:捕获.JPG

                               -YuvEm#f  
（b）衍射效率     N6J$z\ P  
&1h3o^K  
2、偶数型达曼光栅设计 lTB!yF.r|  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 *cf"l  

图片:捕获55.JPG

                     FvJSJ.;E,  
（a）结构图 N/%#GfXx  
*SY4lqN  

图片:捕获66.JPG

b{I`$E<[  
（b）衍射效率                                                                     Pu^~]^W)  
%f-<ol  

图片:捕获55.JPG

                                   s =5H.q%PV  
（a）结构图 5HbTgNI  
:7ngVc  

图片:捕获66.JPG

       A pjqSz"  
（b）衍射效率