1、奇数型达曼
光栅设计
Q{y{rC2P 以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
5<R%H{3j q=5l4|1 1)标量衍射理论设计
%1}6q`:w 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,
结构图和衍射图如下所示。
Qn+:/zA; EX
"|H.(
Lp&k3?W (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
6mPm=I[oh S~yR5cb
SF<Vds}A2 (b)达曼光栅衍射效率
)K]pnH| Q*ju
sm 2)矢量衍射理论RCWA算法设计
s"~5']8 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。
LN^f1/b* {"}V&X160o
wij,N(,H (a)达曼光栅结构(坐标已归一化)
07_oP(;jT r o\1]`6
W>-B [5O&[ (b)达曼光栅衍射效率
WFv!Pbq, I.jZ
wW!r 3)rsoft仿真
eN>0wd5{L 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大)
R: Z_g!h eV!L^>>>
dE(tFZx (a)标量衍射结果结构图
SNY (* gK1g]Tc @G
uO(w1Q"^ (b)衍射效率
SreYJT% VLvS$0(}Z rsoft应用RCWA算法进行
仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。
/yPXMJ6W~R F4C!CUI
tw K^I6@ (a)矢量衍射结果结构图
`DW2spd 3YL
l;TP_
lP_db& (b)衍射效率
e@]-D
FG Af-UScD%G 2、偶数型达曼光栅设计
TwahR:T 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。
dQ:cYNm
F jrINxL7^ (a)结构图
&"E
lm oh-|'5+,;h
&xd.Qi2 (b)衍射效率
rpV1y$n<F [0@`wZ
\=e8%.#@J (a)结构图
+}kgQ^ ql{_%x?
4[2_,9} (b)衍射效率