[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 Jf
3xK"in  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 9*CJWS;  
H+?@LPV*N  
1）标量衍射理论设计 BWev(SF{Ny  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 )ad
6>Y  
iT,Ya-9"  

图片:2.jpg

         @lu`oyM  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） JL:\\JT.  
                           ,cwjieM  

图片:23.jpg

<-s5 ;xwtS  
（b）达曼光栅衍射效率 q7aH=dhw  
GI[XcK^*w  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 aC,?FWm  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 1Farix1YDq  
0s o27k  

图片:untitled.jpg

                               bc%N !d  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） p)YI8nW  
tXW7G@  

图片:untitled2.jpg

TBu[3X%  
（b）达曼光栅衍射效率 nv}z%.rRUj  
[l:}#5\]4  
3）rsoft仿真 E0_S+`o2y  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） yl UkVr   
&A)u!l Ue  

图片:捕获77.JPG

                 +GFK!Pf  
（a）标量衍射结果结构图     {-.ZFUZmT  
ZO\x|E!b  

图片:捕88获.JPG

pGT?=/=*  
（b）衍射效率             Rpou.RrXR7  
xt=ELzu$  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 HWOOw&^<  
OTV$8{  

图片:1获.JPG

                       A#x_>fV  
（a）矢量衍射结果结构图   Qzq3{%^x_  
L)-1( e<x  

图片:捕获.JPG

                               NsUP0B}.  
（b）衍射效率     
u[+/WFH  
;)ji3M  
2、偶数型达曼光栅设计 %}1v-z  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ?r/)s()ALf  

图片:捕获55.JPG

                     ~=i<O&nai  
（a）结构图 {L.=)zt>  
YAJr@v+Ls  

图片:捕获66.JPG

aZB$%#'vR  
（b）衍射效率                                                                     C)qy=lx%  
q&d5V~q  

图片:捕获55.JPG

                                   fUa[3)I  
（a）结构图 &8M^E/#.^;  
y6`zd
B  

图片:捕获66.JPG

       < +X,oxg  
（b）衍射效率