[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 $X ]t}
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以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 D0*+7n3  
GbfA-
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1）标量衍射理论设计 .:9XpKbt  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 R^Y>v5jAe  
Z1N=tL  

图片:2.jpg

         rGgP9 (  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） <gLq?~e|A  
                           2"pFAQBw~i  

图片:23.jpg


{D`_q
|  
（b）达曼光栅衍射效率 %Y-KjSs+l  
 PE&$2(  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 qE@H~&  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。  BRF4p:  
[+(fN  

图片:untitled.jpg

                               Y5R|)x  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） iM +p{/bN  
?O.'_YS  

图片:untitled2.jpg

* am
Z  
（b）达曼光栅衍射效率 ^2-+MWW.  
byN4?3F  
3）rsoft仿真 ,#8H9<O9t  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） (yv)zg9  
4O>0gK{w  

图片:捕获77.JPG

                 :S=!]la0h  
（a）标量衍射结果结构图     q!whWA  
dz,4);Mg  

图片:捕88获.JPG

TFYp=xK(  
（b）衍射效率             wak`Jte=}m  
/ 0y5/  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 "VI2--%v3  
4)].{Z4q  

图片:1获.JPG

                       <qjolMO`  
（a）矢量衍射结果结构图   +x)x&;B)/  
ZeE(gtM  

图片:捕获.JPG

                               _64<[2  
（b）衍射效率     1(vcM  
k!ac_}&NNv  
2、偶数型达曼光栅设计 9RmdQ]1n4  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ^KjxQO6y3  

图片:捕获55.JPG

                     Y8Z-m (OQ  
（a）结构图 nna boD  
2UrE>_  

图片:捕获66.JPG

22gh,e2o  
（b）衍射效率                                                                     YE[{Y(5;q  
n{E9p3
i  

图片:捕获55.JPG

                                   (Z#j^}G_
l  
（a）结构图 CQI\/oaO  
TQsTL2a  

图片:捕获66.JPG

       m?]= =9  
（b）衍射效率