[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 JpZ_cb`<E'  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 .l|
29{J  
v$+A!eo  
1）标量衍射理论设计 NJmx(!Xsh  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 Udf\;G@  
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         L,!\PV|  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） zo("v*d*q  
                           kd_!S[  
Hzc}NyJ  
（b）达曼光栅衍射效率 66sgs16k  
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 6G#[Mc yn  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 f,|;eF-Z  
epG]$T![  
                               BG)zkn$  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 2Nx:Y+[  
-m[ tYp,q  
kw} E0uY  
（b）达曼光栅衍射效率 G(wstHT;/  
=[[I<[BZq  
3）rsoft仿真 T!Tp:&O-  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） >;F}>_i  
vbX.0f "n  
                 4F6I7lu  
（a）标量衍射结果结构图     TXT<6(  
/|#2ehE  
E2z=U  
（b）衍射效率             y|i(~  
3sIdwY)ZS_  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 E{QjmlXQ<  
 Hyenn  
                       *_mER`  
（a）矢量衍射结果结构图   7h2/8YUgQ  
`sy_'`i>X  
                               iQ1[60?)T  
（b）衍射效率     B.smQt  
,_/\pX0  
2、偶数型达曼光栅设计 8kr$w$=q  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 s<Nw)Ynw  
                     NH:Bdl3  
（a）结构图 {.0I!oWv  
+fKV/tSWi  
f}KV4'n  
（b）衍射效率                                                                     KY0<N9{  
\Tn
K<83  
                                   W5e>Z&&  
（a）结构图 ^|vP").aQm  
2P${5WT  
       YHke^Ind
 
（b）衍射效率