1、奇数型达曼
光栅设计
_'o^@v: 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
uvAy#, ?7uStqa 1）标量衍射理论设计
_16 &K}< 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
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Yqj.z| }Nb （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
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NXwT0t 7{6cLYl 
X_Of k （b）达曼光栅衍射效率
DdA}A>47 f%{ ag 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
8aIq#v 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
4N^ Qd3[d >@92K ]J 
pOe` *2[ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
%W|Zj QI^ =M
km: '1r 
cbHn\m)J, （b）达曼光栅衍射效率
W Y qL oKqFZ,m[ 3）rsoft仿真
"/]tFY%Y 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
bT6)(lm >[3,qP ]E 
GeW$lA I （a）标量衍射结果结构图
e, 3(i!47 ^T
J 
e X),B （b）衍射效率
2/o/UfYjgF ReGb .pf rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
A2FU}Ym0= >^)5N<t? 
Oh85*3 （a）矢量衍射结果结构图
(6y3"c be .L|ax).D 
^ XB8A=xi （b）衍射效率
tcdn"]#U ~oR&0e t 2、偶数型达曼光栅设计
gBS#Z. 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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#\;w: : （a）结构图
5K-)X9z? e*Med)tc^$ 
E"yf !* （b）衍射效率
# \["y%;W >o= p5#{ 
T/6=A$4
# （a）结构图
6(^9D_"@ d iL l>z 
[1MEA; （b）衍射效率
