[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 MIWI0bnf  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 WiclG8l  
NxQ+z^o\  
1）标量衍射理论设计 5y|/}D>  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ;/.XAxkFL  
wr;8o*~  

图片:2.jpg

         _l!TcH+e  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Wq]Lb:&{a  
                           "]D2}E>U;  

图片:23.jpg

HESORa;  
（b）达曼光栅衍射效率 rz3!0P
!"K  
:g=z}7!s  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 N6_<[`  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 S,TK;g
 
R} aHo0r  

图片:untitled.jpg

                               'Ijjk`d&c  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） YDr/Cw>J  
Z2u5n`K  

图片:untitled2.jpg

y%x2  
（b）达曼光栅衍射效率 3xGk@ 333  
N_"mC^Vx  
3）rsoft仿真 5//.q;z  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） L|[0&u!  
@9<MW  

图片:捕获77.JPG

                 []rg'9B2b  
（a）标量衍射结果结构图     F2$Z4%x#  
AHre#$`97  

图片:捕88获.JPG

tMWsgK.B  
（b）衍射效率             Q+UqLass  
-h<Rby  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 PI0[  
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1,  

图片:1获.JPG

                       4^mpQ.]lO  
（a）矢量衍射结果结构图   ?`%)3gx|  
%l7|+%M.{  

图片:捕获.JPG

                               0*KU"JcXd  
（b）衍射效率     I?mU_^no  
*?Sp9PixP  
2、偶数型达曼光栅设计 f._FwD  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ovn)lIs  

图片:捕获55.JPG

                     ,U#$Qb 12  
（a）结构图 h)qapC5z,  
E%vG#
 

图片:捕获66.JPG

^Pk-<b4}  
（b）衍射效率                                                                     71?>~PnbH}  
HJ2r~KIw  

图片:捕获55.JPG

                                   7VdG6`TDR  
（a）结构图 ,nELWzz%{  
MR@*09zP(?  

图片:捕获66.JPG

       "3"9sIZ(  
（b）衍射效率