[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 4^:=xL  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 wFZP,fQ9l  
vEJbA  
1）标量衍射理论设计 W'M*nR|xo  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 zTU0HR3A  
PdWx|y{%  

图片:2.jpg

         >z@0.pN]7  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） +6+i!Sip  
                           oUlVI*~ND  

图片:23.jpg

|yPu!
pfl  
（b）达曼光栅衍射效率 SvF<p3  
xJ.M;SF4  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 nU7[c| =  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 =T7.~W  
uwGc@xOgg,  

图片:untitled.jpg

                               _H@DLhH|=  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） l*G[!u  
'm$L Ij?@  

图片:untitled2.jpg

X^j
fuA  
（b）达曼光栅衍射效率 vnuN6M{  
U 6)#}
 
3）rsoft仿真 Jln:`!#fDf  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） |vj/Wwr  
|2A:eI8 ^  

图片:捕获77.JPG

                 u=e{]Ax#}  
（a）标量衍射结果结构图     ]7A'7p$Y  
fp"W[S|uL  

图片:捕88获.JPG

;!Fn1|)  
（b）衍射效率             YN5rml'-  
=Dj#gV  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
%8v\FS  
=?8@#]G+  

图片:1获.JPG

                       8LCb+^  
（a）矢量衍射结果结构图   "#g}ve,  
wC'Szni  

图片:捕获.JPG

                               J<lW<:!3]  
（b）衍射效率     ;$Jo+#  
RxQ*  
2、偶数型达曼光栅设计 {{!-Gr  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 {M)Nnst"~  

图片:捕获55.JPG

                     s5.CFA  
（a）结构图 0> \sQ,T  
yB!dp;gM{  

图片:捕获66.JPG

k;Y5BB  
（b）衍射效率                                                                     /x *3}oI  
"<gOzXpa  

图片:捕获55.JPG

                                   K(|}dl:  
（a）结构图 ;kKyksxlD  
%a7$QF]  

图片:捕获66.JPG

       _Z\

G5x  
（b）衍射效率