1、奇数型达曼
光栅设计
F|9+ +) 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
B Q#3QL't bAf,aV/C&| 1）标量衍射理论设计
t<nFy 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
oid[syPB @F>F#-2 
{`% hgR （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
J$ F nm\ kbxg_UI; 
Y d:Q`#7A （b）达曼光栅衍射效率
MIq"Wy|Zs A\z`c
e! 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
$Pxb1E 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
G"T\= cQz igD G}q3jG 
q$[n`w- （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
["y6b*;x r}_lxr 
GIT # <+" （b）达曼光栅衍射效率
@o>EBZ7MS !aPD}xCH# 3）rsoft仿真
>" v9iT 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
S]^`woD ~6`iY @) 
$ rUSKm# （a）标量衍射结果结构图
a?F!,=F E{4 e<%Y, 
zI^]esX!2_ （b）衍射效率
)I`if(fG [:h5 } rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
+r]zs^' /c` ^iPb 
wpXgPVZT （a）矢量衍射结果结构图
%{!R
l@ C!+I>J{4f 
Ipe n （b）衍射效率
,\YAnKn6_ p@ ~ic#X 2、偶数型达曼光栅设计
`!vUsM .d 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
A#rh@8h+ 
?>$l （a）结构图
6cz/n8M g * 27*>W1 
>|g?wC}V; （b）衍射效率
"l7NW qfB h|D0z_ f 
!m;H@KR{ （a）结构图
x|i_P|Z m&*JMA;^ 
Dnw| %6Y （b）衍射效率
