[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 l9=Ka{$^*  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 P![ZO6`:W'  
0
[%{YmI{W  
1）标量衍射理论设计 VV/T)qEe7>  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 fg#e*7Odn  
SH=S>  

图片:2.jpg

         6wwbH}*=?  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 1R~$m  
                           '[F`!X  

图片:23.jpg

S}U_uZ$b  
（b）达曼光栅衍射效率 x,10o
 
gAsmP
I.K  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 c|9g=DjK  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ojf6@p_  
>W-xDzJry  

图片:untitled.jpg

                               _[-MyUs  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ?#:']q  
ri59LYy=  

图片:untitled2.jpg

2SD Z  
（b）达曼光栅衍射效率 RS}_cm0  
!w%c=V]tV  
3）rsoft仿真 db_?da;!`  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） xPUukmG:B  
t855|  

图片:捕获77.JPG

                 SUMfebW5  
（a）标量衍射结果结构图     Oi:
Hs  
x  zF  

图片:捕88获.JPG

>\pF5a`  
（b）衍射效率             9M9Fif.  
2(3Q#3V  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 _oBx:G6E  
M$ieM[_T  

图片:1获.JPG

                       #'%ii,;wQ  
（a）矢量衍射结果结构图   AU`z.Isf  
"A~dt5GJ  

图片:捕获.JPG

                               3T]cDVQ_  
（b）衍射效率     rqN+0CT  
leNX5 sX  
2、偶数型达曼光栅设计 oowof
i(E  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 v*GS
>S  

图片:捕获55.JPG

                     .Er+*j;&w  
（a）结构图 FN!?o:|(  
l}^ziY!  

图片:捕获66.JPG

s,[I_IiPf  
（b）衍射效率                                                                     MDIPoS3BRa  
j1{`}\e  

图片:捕获55.JPG

                                   l6WEx -d  
（a）结构图 b~>@x{  
>E4,zs@7t  

图片:捕获66.JPG

       x2)WiO/As  
（b）衍射效率