[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 DtF}QvA  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 "A[ b rG  
'\~^TFi  
1）标量衍射理论设计 q
f8[!5GM  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 #YK5WTn5  
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         I1"MPx{  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） UVEz;<5@\  
                           CxF-Z7 '  
ll<NIdf\r  
（b）达曼光栅衍射效率 ||eAE)  
.p&Yr%~  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 BfmsMW  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Qa`hR  
`<fh+*  
                               lE5v-z? &|  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） }Je>;{&%  
23ze/;6%A  
H0*,8i5I  
（b）达曼光栅衍射效率 ,k0r  
~?Omy8#  
3）rsoft仿真 tE"Si<[]H$  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Tg ?x3?kw  
Vpp&|n9^  
                 J5yidymrpW  
（a）标量衍射结果结构图     "!UVs+)]  
0l\y.   
Re=WfG  
（b）衍射效率             P0GeZ02]  
vO@s$qi  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 Q^_/By@  
KL?)akk  
                       {}Ejt:rKN  
（a）矢量衍射结果结构图   #AViM_u  
l{WjDed  
                               yL1bS|@  
（b）衍射效率     ktH8as^54!  
SUtf[6  
2、偶数型达曼光栅设计 `\Unpp\I  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 W WG /k17  
                     T-" I9kM  
（a）结构图 pchBvly+0  
1|QvN1?  
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（b）衍射效率                                                                     8cxai8  
O8u3y  
                                   [r
YT  
（a）结构图 @gfDp<  
 saZ>?Owz  
       2k -+^}r  
（b）衍射效率