[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 H"+wsM^@  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 =}v
;1m  
cZ|lCy^  
1）标量衍射理论设计 SK+@HnKd  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 OV[`|<C '  
~:[!Uyp0b  
         q#NR32byF  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） XJSa]P^B1  
                           @9 )}cg  
e1unzpWN  
（b）达曼光栅衍射效率 ,=|4:F9
  
F$Q04Qw  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Jx$iwu  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 < Dd%  
+8AvTSgX%  
                               3]/.\(2  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ; 0ko@ \Lq  
\iru7'S  
s<vs:jna  
（b）达曼光栅衍射效率 :CaTP%GW  
-U-P}6^  
3）rsoft仿真 MzzKJ;wbC6  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 
L-\ =J  
Zu21L3  
                 3qi_]*dD  
（a）标量衍射结果结构图     h^oH^moq<  
%d;<2
b0  
b5pMq$UVL  
（b）衍射效率             UTCzHh1  
t> . Fl-  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 !msNEE@[  
| o0RP|l  
                       i#W*'  
（a）矢量衍射结果结构图   2z_2.0/3  
}`o?/!X   
                               JA^
v  
（b）衍射效率     e1
/sqXWo  
`8:Kp  
2、偶数型达曼光栅设计 30Drrno7Io  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 T3N"CUk  
                     8W+5)m
.tp  
（a）结构图 #NNewzC<*  
qX#MV>1  
gU1#`r>[)  
（b）衍射效率                                                                     \
+nGOvM  
*:hyY!x  
                                   B,vOsa"x6`  
（a）结构图 t6lE#<xZV;  
vl:J40Kfn  
       XOy2lJ/  
（b）衍射效率