1、奇数型达曼
光栅设计
uIO<6p) 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
fA k]]PU X YM 5' 1）标量衍射理论设计
e[(XR_EY 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
I!L`W
_ *C*'J7 
gq^j-!Q)Q< （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
/4}B}"`Sl= TI9]v( 
yi*2^??`
1 （b）达曼光栅衍射效率
dV( "g], ky^p\dMh 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
A=(<g";m 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
zP8a=Iv ~KW|<n4m 
]hPu （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
Pr%Y!| TB GN',, 
B`)gXqBt （b）达曼光栅衍射效率
xxsax/h ds*N1[
* 3）rsoft仿真
#'@pL0dj 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
t Lz,t&h R@+%~"Z 
O_M2 Axm （a）标量衍射结果结构图
*K<|E15 , !Rq.L 
94>EA/+Ek （b）衍射效率
xejQ!MAB &RzkM4" rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
) H'SU_YU n I63Ns 
#%;QcDXRe （a）矢量衍射结果结构图
VDyQv^= # s?:&# 
)nK-39,G （b）衍射效率
-/y ]'_a %a_ rYrL 2、偶数型达曼光栅设计
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Hz*5ZIw （a）结构图
Em%0C@C &tAh RMa 
Mx3MNX / （b）衍射效率
)\q A[rTG LkUYh3 
!R;NV|.eI6 （a）结构图
] WsQ= |8bqn^@$t 
bc?\lD$ $ （b）衍射效率
