1、奇数型达曼
光栅设计
HRb_ZJz 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
Iiy:<c -91l"sI 1）标量衍射理论设计
x# YOz7. 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
3,F/i+@ D1j 7iv 
yav)mO~QU6 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
_+Q$h4t
9e1 6 g 
KOmP-q=6 （b）达曼光栅衍射效率
b?bYPN+ @"/}Al 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
{//F>5~[ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
3 =<iGX"z fgp 7 |;Y 
oOL3O@)w> （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
g~y9j8 8?
A5`7 o9 
=3zn
Ta } （b）达曼光栅衍射效率
a:| 4q ; OPCBd r 3）rsoft仿真
]8_h9ziz 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
t Z@ +18 \G= E%aK 
4bxkp3~h; （a）标量衍射结果结构图
dikWk |be r:1 
23f[i<4e （b）衍射效率
*M|\B|A. <bx9;1C>zd rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
7>zKW? cyhD%sB[D9 
B
5 i/E=D （b）衍射效率
Uo @NK '<0q"juXE 2、偶数型达曼光栅设计
C^%zV>o 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
uTU4Fn\$L 
O|>1~^w （a）结构图
|x6mkSf]ke #8z, '~\ 
baNfS （b）衍射效率
Ke ?uE Vf?#W,5>= 
ya{>= （a）结构图
}R1`ThTM rEh f_[Dv 
$CmX
&%L= （b）衍射效率
