[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 eEw.'B  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 Zj9c9  
_ -..~K.|  
1）标量衍射理论设计 QfpuZEUK  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 &9[P-w;7u  
kBWrqZ6  
         1T|$BK@)  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） S;\R!%t_  
                           d j5hv
~  
Djt%r<  
（b）达曼光栅衍射效率 DC4C$AyW r  
:QQlI  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 0BU=)Swku  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 -apXI.  
;iQEkn2T|}  
                               #
J\rv'  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 3z =^(Y  
FiAY\4  
m
.Lij!0  
（b）达曼光栅衍射效率 ii|?;  
9q[;u
[A8^  
3）rsoft仿真 ]/2T\w.<  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） B|Wk?w.{r\  
np$zo  
                 _k66Mkd#b  
（a）标量衍射结果结构图     " {dek  
PD[z#T!'  
pHE}ytcT  
（b）衍射效率             PO-"M)M  
s}5+3f$f  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 \.{AAj^qD  
7 h=QW5  
                       N;sm*+r  
（a）矢量衍射结果结构图   wEft4o  
o @Z#  
                               ]1`g^Z@ 0  
（b）衍射效率     f
L*T3[d  
f>9s!Hpu_  
2、偶数型达曼光栅设计 vv0Q$ O->  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 u_O# @eOc  
                     ,?cH"@RJ  
（a）结构图 6cS>bl  
EM j;2!  
qi
[Z,&  
（b）衍射效率                                                                     #E7AmmqD%  
Q\Kx"Y3i  
                                   Gctsp2ndW  
（a）结构图 TYns~X_PR  
8AFczeg[[  
       -1|iz2^N  
（b）衍射效率