1、奇数型达曼
光栅设计
M4?8xuC 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
=IHje ;s _faJ B@a_ 1）标量衍射理论设计
cJ/]+|PQ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
.X'<
D* 3t aa^e. 
AmcC:5 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
c!Dc8=nE0m >SDp uG&> 
3.vgukkk5 （b）达曼光栅衍射效率
DMZ` Sx <m-.aK{9 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
V=}1[^ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
`4
UlJ4<` "8(U\KaX 
kus}W J （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
_k2w(ew? ?QpNjsF 
^%#grX# （b）达曼光栅衍射效率
}c|U X
ZW 2P9J'
L 3）rsoft仿真
KcXpH]>!9 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
uGCp#>+ SW9fE :v 
ii NSDc （a）标量衍射结果结构图
<KQ(c`KW7 Qn=$8!Qqa 
,W*H6fw+ （b）衍射效率
C6QbBo ^Mytp> 7 rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
p2d\ZgWD=) T20VX 8gX 
tu}>:mk （a）矢量衍射结果结构图
N 8t=@~] eb M{OI 
ai ^|N.! （b）衍射效率
W`L!N& fB ycX{NDGs 2、偶数型达曼光栅设计
Vb)zZ^va+ 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
LE;g
0s 
{-WTV"L5*2 （a）结构图
C1fyV] .
/m hu 
5 Op_*N{V （b）衍射效率
EW(J5/mn i_l+:/+G+ 
`s /?b|, （a）结构图
5w< A;f /[pqI0sf<A 
5H
!y 46z （b）衍射效率
