[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 *fSM'q;  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 dSVu_*y  
:dN35Y]a  
1）标量衍射理论设计 wsrx|n[]  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。
prN(V1O  
`M ygDG+u  

图片:2.jpg

         wW8 6rB  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） CLEG'bZa,  
                           k8e"5 he  

图片:23.jpg


0>=)  
（b）达曼光栅衍射效率 O&w3@9KJ?  
@/~k8M/  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ]B3FTqR{i  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 i\;&CzC:  
/]zib@i  

图片:untitled.jpg

                               _c8.muQ<  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） yH%+cmp7  
9K46>_TyH  

图片:untitled2.jpg

MQ(/l_=zQ  
（b）达曼光栅衍射效率 npcBpGL{  
.k`*$1?73x  
3）rsoft仿真 BG:`Fq"T  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Gv,92ny!|  
gAA %x7  

图片:捕获77.JPG

                 &8+6!T
N7  
（a）标量衍射结果结构图     ,{?bM  
d Zz^9:C+  

图片:捕88获.JPG

J(0=~Z[  
（b）衍射效率             pq?[wp"  
_8li4;F  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 s.;KVy,=Bu  
~hz@9E]O  

图片:1获.JPG

                       ZqbM%(=z(`  
（a）矢量衍射结果结构图   N~}v:rK>g  
h0GdFWN  

图片:捕获.JPG

                               9U9c"'g  
（b）衍射效率     :+ 9Ft>  
y-<PsP-I  
2、偶数型达曼光栅设计 )SL@>Cij  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 CDW(qq-zD  

图片:捕获55.JPG

                     CES
e}^)n  
（a）结构图 nUud?F^_  
.l( r8qY#  

图片:捕获66.JPG

2x`xyR_Q.R  
（b）衍射效率                                                                     Wqs.oh  
:qCm71*  

图片:捕获55.JPG

                                   QE#-A@c  
（a）结构图 '5xuT _  
NkA6Cp[Q,1  

图片:捕获66.JPG

       !v5sWVVR  
（b）衍射效率