[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ms~8QL  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 8V5a%2eV  
5JFV%odo  
1）标量衍射理论设计 9XV^z*E(J  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 5 d ;|=K  
PJ 9%/Nrh  
         [N|xzMe  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） QD<eQsvV  
                           &2.+Igo|G  
# .q#OC  
（b）达曼光栅衍射效率 Bh`IXu  
F=&;Y@t  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 @"1}16b#f  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 MTmO>V&O  
8sw,k   
                               )mkS5j`5\  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 7U:=~7GH  
W(&6  
zLek&s&-  
（b）达曼光栅衍射效率 =,Ttw>  
8B@JFpg^  
3）rsoft仿真 ')nnWlK  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） AQ@v>wr}  
eoJ]4-WFq  
                 x N`T  
（a）标量衍射结果结构图     .C5@QKU  
|NEd@  
.[f;(WR  
（b）衍射效率             4r*Pa(;y  
f9'] jJ+  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 `$-lL"  
"T*I|  
                       +"L$ed(=nJ  
（a）矢量衍射结果结构图   ~n]N
yVFP  
R{<Y4C2~  
                               K/Jk[29"\  
（b）衍射效率     u33zceE8  
5<N~3 1z  
2、偶数型达曼光栅设计 @+dHF0aXd  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 N5\{yV21",  
                     lO&cCV;  
（a）结构图 'rx?hL3VW  
]<X2AO1  
&"AQ;%&N  
（b）衍射效率                                                                     l;5`0N?QO  
|#cAsf_{  
                                   AM?Ec1S #a  
（a）结构图 6z]`7`G  
>a9l>9fyY  
       !Mil?^  
（b）衍射效率