[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 y4kn2Mw;  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 z4YDngf=4  
=F\Xt "  
1）标量衍射理论设计 F@<cp ?dR  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 y3efie {J  
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图片:2.jpg

         x// uF  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） WOO3z5 La  
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图片:23.jpg

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（b）达曼光栅衍射效率 ;` L%^WZ;-  
XpANaqH\  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ;Rv WF )  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 q7CLxv &QG  
Z66Xj-o  

图片:untitled.jpg

                               |eRE'Wd0  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） T={!/y+
 
vd%AV(]<LJ  

图片:untitled2.jpg

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（b）达曼光栅衍射效率 "M:ui0YP  
Z`kVyuQ  
3）rsoft仿真 +(!/(2>~  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） :Quep-:fy<  
Z(q]rX5"  

图片:捕获77.JPG

                 y{M7kYWtHV  
（a）标量衍射结果结构图     ~C{:G;Iy0  
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图片:捕88获.JPG

,|*Gr"Q=  
（b）衍射效率             Tv#d>ZSD  
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 4V9BmVS|Th  
m^FKE:  

图片:1获.JPG

                       6D| F1UFU  
（a）矢量衍射结果结构图   &Sg]P  
29=ob("  

图片:捕获.JPG

                               <zpxodM@T  
（b）衍射效率     fln[Q2zl  
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2、偶数型达曼光栅设计 bGwOhd<.  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 8pEA3py  

图片:捕获55.JPG

                     GLIY!BU<C  
（a）结构图 ^U?Ac=  
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图片:捕获66.JPG

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（b）衍射效率                                                                     bj`GGxzOb  
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图片:捕获55.JPG

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（a）结构图 Zb_A(mnzh  
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图片:捕获66.JPG

       .RmFYV0,  
（b）衍射效率