[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 o3b=)E  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 3CL1Z\8To  
9w3KAca  
1）标量衍射理论设计 To/6=$wto  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。
`JQw]\f4>  
2P35#QI[)  
         L6d^e53AP  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） <JUumrEo  
                           ;Mw<{X
-  
{
CH5`&  
（b）达曼光栅衍射效率 --OAs
br  
h2jrO9  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Qg6tJ
B   
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 u
@]rR&h`  
SfSWjq  
                               W3+;1S$k  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） rX(Ol,&oP  
Kz~E"
?  
?,}:)oA_  
（b）达曼光栅衍射效率 hZIbN9)8A  
Six2{b)p  
3）rsoft仿真 PGd?c#v#  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） U8S<wf&  
xiv8q/  
                 q}PUwN6  
（a）标量衍射结果结构图     cqYMzS t  
vRkVPkZ6|  
_<Ip0?N  
（b）衍射效率            
n +v(t  
`\beQ(g  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 B#]:1:Qn  
 o,rK8x  
                       ZAJ~Tbm[f  
（a）矢量衍射结果结构图   @Os0A  
XqLR2d  
                               &8;Fi2}(L  
（b）衍射效率     uS<
og P  
'7<^x>D|  
2、偶数型达曼光栅设计 g'+2bQ  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 QVF561Yz  
                     %0p9\I  
（a）结构图 RD6>\9  
vYybQ&E/  
v}5||s!=  
（b）衍射效率                                                                     '/s/o]'sUd  
dUQ)&Hv  
                                   i,zZJ=a$  
（a）结构图 /hur6yI8  
DzbcLg%:W  
       ]`q]\E
H  
（b）衍射效率