[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 W`NF40)  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 {L~dER  
8>Cf}TvErx  
1）标量衍射理论设计 +:4>4=  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 gPT_}#_GxM  
=&,T@5&-=  

图片:2.jpg

         74MxU  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） b9m`y*My  
                           |w54!f6w_  

图片:23.jpg

lWtfcU?S[  
（b）达曼光栅衍射效率 Z"%.  
0c`nk\vUy  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 6/5,n0  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 6<$.Z-,  
0 !{X8>x  

图片:untitled.jpg

                               0<a|=kZ  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ~!qnKM>[  
iC
/*d  

图片:untitled2.jpg

()bQmNqmO=  
（b）达曼光栅衍射效率 [l3\0
e6-/  
5RFro^S9E  
3）rsoft仿真 , ?U)mYhI  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） {H)hoAenA  
PfRA\  

图片:捕获77.JPG

                 ]%HxzJ  
（a）标量衍射结果结构图     I;%1xdPt  
f? @Qt<+k  

图片:捕88获.JPG

-0#"
<!N  
（b）衍射效率             PA ?2K4  
6?~9{0  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 'jfE?n
gt  
$qz{L~ <  

图片:1获.JPG

                       +pwTM]bV  
（a）矢量衍射结果结构图   tWTHyL  
$rmxwxz&W:  

图片:捕获.JPG

                               G)%V 3h  
（b）衍射效率     kSzap+nB?  
}P0bNY5?%  
2、偶数型达曼光栅设计 "aF2:E'  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 wbAwmOiZ  

图片:捕获55.JPG

                     vJ}WNvncVF  
（a）结构图 $cHU,  
][jwy-Uy;  

图片:捕获66.JPG

PdqvXc  
（b）衍射效率                                                                     bE.<vF&  
or3OLBf*Q  

图片:捕获55.JPG

                                   %%}l[W  
（a）结构图 &gY578tU  
k
C%H E  

图片:捕获66.JPG

       t!Cz;ajNi  
（b）衍射效率