[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 Y }aa6  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 he;&KzEu  
?`3`azfM  
1）标量衍射理论设计 f^Lw3|rq4  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 a$l  
Rku9? zf^  

图片:2.jpg

         eI/9uR%  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Re0ma%~LP  
                           udMDE=1~L  

图片:23.jpg

wWQv]c%  
（b）达曼光栅衍射效率 0jF~cV  

_jQ"_Ff  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 M8oI8\6[  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 eR4%4gW)  
m(L]R(t  

图片:untitled.jpg

                               p
'fU}B1  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 7aj|-gZ  
)4vZIU#  

图片:untitled2.jpg

y'(l]F1]  
（b）达曼光栅衍射效率 sk.<|-(o  
!ZPa
U11  
3）rsoft仿真 mFC0f?nr  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） wO;\,zU  
T\55uQ  

图片:捕获77.JPG

                 _@3@_GE  
（a）标量衍射结果结构图     u[$ \ az7  

yCy4t6`e  

图片:捕88获.JPG

/p+ (_Y  
（b）衍射效率             ],YIEOx6  
/f@VRME  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 "T|%F D&[  
na,j  

图片:1获.JPG

                       B{^o}:e  
（a）矢量衍射结果结构图   Sp3?I2 o  
rV>/:FG  

图片:捕获.JPG

                               YKk?
BQ"  
（b）衍射效率     0!!b(X(  
I0trHrX9  
2、偶数型达曼光栅设计 %8NAWDb{  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 8.3888  

图片:捕获55.JPG

                     -'*\KA@u  
（a）结构图 #05#@v8.f  
(\}>+qS[  

图片:捕获66.JPG

n8n(<  
（b）衍射效率                                                                     >DeG//rv
 
`OO=^.-u  

图片:捕获55.JPG

                                   c+|,qm  
（a）结构图 +`O8cHx  
pCS2sq8RC  

图片:捕获66.JPG

       !$P+hX`  
（b）衍射效率