[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 %'i`Chc^!;  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 }c0EGoU}?  
N2S7=`5/T  
1）标量衍射理论设计 sAU!u  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 ob;$yn7ZO1  
:f58JLX  

图片:2.jpg

         -_|U"C$  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） j; )-K 3Ia  
                           z>./lu\  

图片:23.jpg

`}9jvR5  
（b）达曼光栅衍射效率 4XL]~3 c  
4^rO K  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 b
MpC
Q  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 2OJ=Xb1  
V:8ph`1  

图片:untitled.jpg

                               P~"`Og+  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） /SDDCZ`;|c  
u|a+:r)*4  

图片:untitled2.jpg

B^u qu  
（b）达曼光栅衍射效率 H+ Y+8   
6S2v3  
3）rsoft仿真 F)g.xQ  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 89{@2TXR
 
6~j.S "  

图片:捕获77.JPG

                 ]ZOzqh_0C  
（a）标量衍射结果结构图     w %sHA  
3d|n\!1r  

图片:捕88获.JPG

$5)ZaYx<  
（b）衍射效率             e)2
s2y@zi  
cp7Rpqg  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 406.6jmv  
tu6Q7CjW8  

图片:1获.JPG

                       3Vj,O?(Z  
（a）矢量衍射结果结构图   $'2yPoR  
pK~K>8\  

图片:捕获.JPG

                               AK*F,H9  
（b）衍射效率     O1_dA%m  
i; 3^vhbQ  
2、偶数型达曼光栅设计 aN5w  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 5-ju5z?=  

图片:捕获55.JPG

                     HFL(t]  
（a）结构图 .w`1;o  
=fZ)2q  

图片:捕获66.JPG

`/mcjKQ&9y  
（b）衍射效率                                                                     aT %A<'O!  
StP7t  

图片:捕获55.JPG

                                   i2EXE0;  
（a）结构图 J c~{ E  
.D`""up|{  

图片:捕获66.JPG

       )"IBw0]  
（b）衍射效率