[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 3p$?,0ELH  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 0G(/Wb"/  
2,y|EpG#  
1）标量衍射理论设计 77 Q5d"sIi  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 mtpeRVcF  
^L,K& Jd  

图片:2.jpg

         8v6(qBK  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） .y'>[  
                           dUD[e,?  

图片:23.jpg

4V"E8rUL(  
（b）达曼光栅衍射效率 {Ea b j  
Q8$}@iA[  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Ky`qskvu  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ;_XFo&@  
,Y@Gyx!4  

图片:untitled.jpg

                               %6t
:(z  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） `C,n0'PL.  
HRpte=`q  

图片:untitled2.jpg

7kC^ 30@T3  
（b）达曼光栅衍射效率 !@5 9)  
%J}xg^+f  
3）rsoft仿真 m%0p\Y-/  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ~kV/!=  
~EW(Gs!=C  

图片:捕获77.JPG

                 ,10=  
（a）标量衍射结果结构图     8u"U1  
l&[O  

图片:捕88获.JPG

,S\CC{!  
（b）衍射效率             &L3M]  
O4 w(T  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 1l9G[o *  
&Hrj3E  

图片:1获.JPG

                       _OYasJUMG  
（a）矢量衍射结果结构图   y-Fo=y  
??5Q)Erm1  

图片:捕获.JPG

                               g%o(+d  
（b）衍射效率     Xa[.3=bV?  
R- X5K-  
2、偶数型达曼光栅设计 XM
Z,Y
7  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 'z8pzMmT  

图片:捕获55.JPG

                     53_Hl]#qZ  
（a）结构图 ~"gA,e-)  
JhYe6y[q  

图片:捕获66.JPG

v{RZJ^1  
（b）衍射效率                                                                     eb"VE%+Hu  
#x@$lc=k3  

图片:捕获55.JPG

                                   VCYwzB  
（a）结构图 4>YR{  
G+9,,`2  

图片:捕获66.JPG

       39c2pV[  
（b）衍射效率