[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 O(~`fN?n  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 4D$$KSa  
fk*JoR.o  
1）标量衍射理论设计 V F6OC4 K  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 | (v/>t  
lLmVat(  
         %ghQ#dZ]&  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Gd%6lab  
                           9C|T/+R  
,{%/$7)  
（b）达曼光栅衍射效率 yeE_1C .  
{8@?9Z9R{  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Tx/  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 #
c+N}eX{  
p tv  
                               "LaNXZ9  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） y"cK@sOo  
gLl?e8[F  
g}ciG!0  
（b）达曼光栅衍射效率 tI*u"%#t  
o7/_a/  
3）rsoft仿真 []3xb`<&  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ]8+%57:E  
u-OwL1S+  
                 C0i:*1  
（a）标量衍射结果结构图     rU<  H7U  
%dw-}1X  
|rW}s+Kcr  
（b）衍射效率             S,G=MI"  
cp0>Euco=  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 Mr2dhSQ!  
r5lp<md  
                       v{Zh!mk* L  
（a）矢量衍射结果结构图   |WXu;uf$.u  
%j2YCV7  
                               ukS@8/eJ  
（b）衍射效率     *3S,XMS{O  
>bz}IcZP  
2、偶数型达曼光栅设计 F=iz\O!6  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 {(D
$Xb  
                     .}SW`RPk  
（a）结构图 w gATfygr  
j
,6dGb  
i&mu=J[  
（b）衍射效率                                                                     k/?+jb  
~S"G~a(&j  
                                   Ywr^uy1V,/  
（a）结构图 zhHQJcQ.  
P~ffgzP  
       e_k1pox]l  
（b）衍射效率