1、奇数型达曼
光栅设计
d!R+-F p 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
jF}kV%E PLs`Ci|` 1）标量衍射理论设计
SF-"3M 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
Q> y! ez[x8M> 
a7ZufB/ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
^#Q-?O B47 I?~{ 
SQ[D2v （b）达曼光栅衍射效率
}l$zZ>.\H c]#}#RJ`\ 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
! Ea! "} 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
U- 1UWq ;#v3C; 
7A(4`D J （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
l5 H5!$3~ b,~pwbHf 
Z@Q*An （b）达曼光栅衍射效率
g&2g>] Y3:HQ0w`| 3）rsoft仿真
BX[ IWP\% 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
E# (e2Z= Q2m[XcnX 
hui
#<2{ （a）标量衍射结果结构图
eu$VKLY* ~$T>,^K
y 
#1'q'f:7 & （b）衍射效率
TC yev[( 95@u| #n rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
'{
=F/q SQf[1}$ . 
V>)/z|[ （a）矢量衍射结果结构图
Oz-/0;1n }WC[ <AqI 
3R%JmLM+R9 （b）衍射效率
\HzmhQb+m o ;Z"I & 2、偶数型达曼光栅设计
A)n_ST0 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
A ~vx,|I 
o}KVT% } （a）结构图
=h-E N_[ =T2 SJ) 
|Ol29C$@| （b）衍射效率
1 PdG1' :~"m yn, 
>^g2 Tg: （a）结构图
J{\U w].|0 GV1Ol^ 
Iga + 8 k （b）衍射效率
