1、奇数型达曼
光栅设计
/jD-\,:L} 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
;5|1M8]=0 d-!<C7O} 1）标量衍射理论设计
Y'"N"$n'_ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
s<T?pH +6W(z3($ 
N=,j}FY （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
e (\I_ rjojG59U> 
l\q}
| o （b）达曼光栅衍射效率
>w'$1tc?+F M^ SuV 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
{E,SHh 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
/NBTvTI 4L:>4X[T 
8:g!w:$x （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
;[5r7
jHU L`K;IV%; 
v|+5:jFOqb （b）达曼光栅衍射效率
ZCiY,;c $iMC/Kym 3）rsoft仿真
o)]FtL:mm 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
WfVMdwz= Y)p4]>lT+8 
xks?y.wA （a）标量衍射结果结构图
+ l\<? (r F?If 
70i H0j ) （b）衍射效率
pt!'v$G/* c4] u&tvjJ rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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h[U7!aM （a）矢量衍射结果结构图
*Tn zkNN_, {\We72! 
6Y?` =kAp （b）衍射效率
CIQw l 6H9 "3y} F 2、偶数型达曼光栅设计
:('I ) C 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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x;U|3{I o （a）结构图
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FzhT$7Gw （b）衍射效率
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bF6gBM@* （a）结构图
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)0|): g （b）衍射效率
