1、奇数型达曼
光栅设计
cz<8Kb/XV 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
{Wp+Y9c[ kNqSBzg 1）标量衍射理论设计
oo sbf#V 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
>Hb>wlYR l1BbL5#1Q> 
@*Sge LeL （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
VbR /k,Co .R5[bXxe7 
S0?4}7`A （b）达曼光栅衍射效率
C%P)_)- -V .XD7};g 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
*((wp4b 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
q2v:lSFY PR rf$& u 
U(#)[S, （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
;4XvlcGo :.5l9 Ci4 
+%vBDcf （b）达曼光栅衍射效率
"[(& $ I ds@X%L; _ 3）rsoft仿真
z~tCag8I(k 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
]C.x8(2!f gD&/ k
9$[I~I#z （a）标量衍射结果结构图
f+>l-6M+p Fe8JsB- 
F\&Sn1>k （b）衍射效率
_-/aMfyQ IHqY/ j rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
27mGX\T [^wEKRt& 
o+(>/Ou （a）矢量衍射结果结构图
1~BDtHW7`n r(sQI#
P 
!]c]:ed\C （b）衍射效率
2kg<O%KA`c 0Y rdu,c 2、偶数型达曼光栅设计
'u@_4wWp 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
^`b&fb v 
lZT9 SDtS （a）结构图
Hg8n `a;R [NQ\(VQ1c 
yn&AMq
]o （b）衍射效率
X r7pFw Q y(Gy'q~ 
+$]eA'Bh@ （a）结构图
R#j -Z#/" g ucd]VH 
qyXx`'e （b）衍射效率
