[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 geB]~/-p  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 El)Wj
cmH  
XKq}^M&gy  
1）标量衍射理论设计 &;O)Dw  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 QL4BD93v  
nd/.]"  

图片:2.jpg

         2gnmk TyF  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ;_vo2zl1  
                           *(sUz?t  

图片:23.jpg

l /\n7:  
（b）达曼光栅衍射效率 4]$$ar)  
pl.K*9+  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 wkwsBi  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ^E3i]Oem  
zU1[+JJY"{  

图片:untitled.jpg

                               Hkck=@>8H*  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） {a `#O9  
 H*]B7?S  

图片:untitled2.jpg

)HN,Az"  
（b）达曼光栅衍射效率 {KO+t7'Q  
?g21U97Q  
3）rsoft仿真 <(U:v  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） t$W~X~//  
C_JDQByfL  

图片:捕获77.JPG

                 0=^A{V!m  
（a）标量衍射结果结构图     yxt`  
}.j09[<  

图片:捕88获.JPG

4pfv?!Oj  
（b）衍射效率             OAhCW*B  
h7h[!>  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 MSw:Ay[9  
If*t$f>y4N  

图片:1获.JPG

                       17nONhh  
（a）矢量衍射结果结构图   `Ko6;s#  
jK{)gO  

图片:捕获.JPG

                               eZ^-gk?  
（b）衍射效率     *75?%l  
e+t2F |xDh  
2、偶数型达曼光栅设计 z`:uvEX0  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 j5yxdjx9  

图片:捕获55.JPG

                     '&.QW$B\B_  
（a）结构图 V!Q1o!J  
8=#J:LeXj  

图片:捕获66.JPG

-8]M ,,?  
（b）衍射效率                                                                     P{-f./(JD  
.Y"H{|]Mnh  

图片:捕获55.JPG

                                   P;#}@/E  
（a）结构图  OEN!~-u  
+4,v.B@  

图片:捕获66.JPG

       :i4>&4j  
（b）衍射效率