[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 A/$QaB,x  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 |-67\p]  
e(;,`L\*  
1）标量衍射理论设计 r EE1sy/#  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 @Sn(lnlB  
Z9ZPr?C=  
         \A#41  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） a 7V-C  
                           KhR81\  
Oc0a77@  
（b）达曼光栅衍射效率 ,.8KN<A2]'  
dh iuI|?@  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 ]L.O8  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 @CL{D:d  
DH!~ BB;  
                               ]IQ&>z}<  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） #$07:UJ  
X=&ET)8-Y  
z (wc0I  
（b）达曼光栅衍射效率 OU_g
d
p  
!sP{gi#=  
3）rsoft仿真 &-6Gc;f8  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ;?iW%:_,  
20h, ^  
                 AM\'RHL  
（a）标量衍射结果结构图     N/2T[s_&  
-zgI_u9=EB  

,/I.t DH  
（b）衍射效率             z'n:@E  
I-*S&SiXjI  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 83\pZ1>)_  
&)ChQZA  
                       n5NsmVW\x  
（a）矢量衍射结果结构图   E7UU  
- %h.t+=U  
                               j{A y\n(  
（b）衍射效率     azp):*f("  
'G4ICtHQ  
2、偶数型达曼光栅设计 }<SQ  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 @o _}g !9=  
                     Lck
K\`mh  
（a）结构图 }2.`N%[  
osAd1<EI
C  
}q`S$P;  
（b）衍射效率                                                                     nRS}}6Q  
Jhhb7uU+  
                                   )9`qG:b'  
（a）结构图 0R'?~`aTt  
<0&*9ZeD  
       OKR "4n:  
（b）衍射效率