[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 obKWnet  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 oMawINDa  
/_5I}{  
1）标量衍射理论设计 v=
zqj}T  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 I&?(=i)N  
47.c  

图片:2.jpg

         YQ9@Dk0R  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） D0Yl?LU3  
                           Gx ci  

图片:23.jpg

Y u\
<  
（b）达曼光栅衍射效率 HgPRz C  
YhYcqE8  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 1OJD!juL$  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 Fk@A;22N  
+b"RZ:tKp  

图片:untitled.jpg

                               aT1T.3 a  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） =QFnab?N  
,_@C(O  

图片:untitled2.jpg

SN+B8*!  
（b）达曼光栅衍射效率 QlmZBqK}&  


GO{o #}  
3）rsoft仿真 ,e{(r0  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） NWWa
g}  
np,L39:sf  

图片:捕获77.JPG

                 _PD RUJ  
（a）标量衍射结果结构图     Y?W"@awE"\  
<3C~<  

图片:捕88获.JPG

v-M3/*  
（b）衍射效率             Bf33%I~  
}_93}e  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 6REv(E]  
F4'g}yOLd  

图片:1获.JPG

                       $Y.Z>I;  
（a）矢量衍射结果结构图   4lhoA  
Jlw%t!Kx  

图片:捕获.JPG

                               ,RIGV[u  
（b）衍射效率     u3)Oj7cX  
BayO+,>K
 
2、偶数型达曼光栅设计 sf
)ojq6s  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 #-$\f(+<  

图片:捕获55.JPG

                     dzJ\+ @4  
（a）结构图 PhF.\Wb  
$MD|YW5  

图片:捕获66.JPG

rvO7e cR"  
（b）衍射效率                                                                     t I}@1  
09z%y[z  

图片:捕获55.JPG

                                   F F<xsoZJ  
（a）结构图 YoiM
\gw  
*fyC@fI>  

图片:捕获66.JPG

      
x/D"a|  
（b）衍射效率