1、奇数型达曼
光栅设计
L2tmo-]nw 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
=]Bm>67" 1Pc'wfj 1）标量衍射理论设计
}DwXs` M7 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
vsR&1hs Vngi8%YWp 
h@ 8 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
,+{ 43;a Ha\ hQ'99 
3M`J .> （b）达曼光栅衍射效率
5$w1[}UUd JJa?"82FXZ 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
$S/ 8T 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
BC+qeocg IS~oyFS 
(~4AG \ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
[ j _jee d {jl&:
q3t@)+l>* （b）达曼光栅衍射效率
b87d'# . `^x^=
og' 3）rsoft仿真
Pd?YS!+S 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
4|UIyDt8 #/6X44
*u 
&aU+6'+QXB （a）标量衍射结果结构图
v%w]Q B ,'}ZcN2) 
1OKJE(T （b）衍射效率
9`{cX CJ >=odK[ rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
%8/ $CR 9:WKG'E8a 
E&AR=yqk （a）矢量衍射结果结构图
"`wq:$R }K\_N]#6n 
*@Z'{V\ （b）衍射效率
dEn hNPeRl Hqk2W*UTl 2、偶数型达曼光栅设计
?T"crX 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
|k0V Ji 
Lj#6K@u@Z （a）结构图
9v A`\\9 1Ppzch7 
- =Hr|AhE （b）衍射效率
- K{ID$!p ))vwofkw4 
>=(e}~5y （a）结构图
(`N/1}vk xHmc8G$zu 
{rDZKy^f （b）衍射效率
