H~V=TEj 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
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SIN:
;=^WIC+Nr =u;q98r 建模任务 ;QEGr|(
X 4/r#<Da
czZ-C +}% Q o= 入射平面波
;N1FP* 波长 2.08 nm
I"
j7 光斑直径: 3mm
6kDU}]c:H] 沿x方向线偏振
n--`zx-[' rW6w1 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
6w]]KA 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
HE,wEKp Bf*
F^ 概览 X@D3 •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
Ys3C'Gc •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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6G n 光线追迹模拟 UNAuF8>K •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。
eBN>|mE4N •点击Go!
PCIC*!{ •获得3D光线追迹结果。
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#UI`G3w< j68Gz5;j 光线追迹模拟 8'quQCx*= •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。
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s •单击Go!
D@ lJ^+ •结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
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JC+VG;kcs "bO] 光场追迹模拟
q_K1L •切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。
w##Fpv<m •单击Go!
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7xcYM x$p\ocA 光场追迹结果(照相机探测器) l00D|W_9 JjCf<ktE. •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
KWY G\#S0] •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
";xEuX +Q9HsfX/
;K_B,@:' m6gr!aT 光场追迹结果(电磁场探测器) M]{!Nx hh{liS% 10 •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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