$ylxl"Y 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
VH L[Y i A'p!l |P 
Ku3NE- ) !8R JHMX& 建模任务 !Uhc jfq`e
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V@ 1,( (,l ?b]f$
2 入射平面波
;BHIs s7 波长 2.08 nm
ZMK1V)ohn 光斑直径： 3mm
S@4bpnhK 沿x方向线偏振
bF +d_t W)Yo-% 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
s>TC~d82 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
4!?4Tc!X 5?E;Yy A 概览 o+S?j*mv@ •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
ksYPF&l •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
2D3m Tpw = mhg@N4 
QX. U:p5C 光线追迹模拟 g+ C~}M_7 •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
T 7M];@q •点击Go！
SNH AL F •获得3D光线追迹结果。
^)3=WD'! 7~H$p X 
b 1Ba} ) _Iu 7b 光线追迹模拟 [-#q 'S •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
]\3<UL •单击Go！
L 1q] •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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2W63/kRbU GbC JG qOR 光场追迹模拟 hCj8y.X|E( •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
8:
VRq •单击Go！
miY=xwK& pJQ_G`E 
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? 光场追迹结果（照相机探测器） ]TsmW ob ^3Z~RK\} •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
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•下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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)fc+B_ IXR%IggJA 光场追迹结果（电磁场探测器） `Z
(` t&G #% •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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} G-DOI 
Ys@\~?ym+ )79F"ltz h 
