#e#8I7P 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
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Y3-P* N(
/PJJ~ 建模任务 S<>e(x3g]
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RJWlG'i Mpj3<vj 入射平面波
K.cNx 波长 2.08 nm
|e9}G,1 光斑直径: 3mm
Og,,s{\ 沿x方向线偏振
MLR3A
s 3QF!fll^ 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
|S4yol 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
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概览 :hevBBP •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
Z^h4%o-l{ •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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BBp
Hp 光线追迹模拟 +J^}"dG •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。
>i0FGmxH •点击Go!
Vb1@JC9b •获得3D光线追迹结果。
]v lQNd? aMHIOA%Kh
Ek4aC3 p?!]sO1l 光线追迹模拟 bFTWuM •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。
ck Tnb •单击Go!
beq)Frn^ •结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
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r%o!P` E`'+1 光场追迹模拟 )ei+ewVZ •切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。
ir\ •单击Go!
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T? =jKLPC FUHjY 光场追迹结果(照相机探测器) Pajr`gU 1ltoLd\{ •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
?$o8=h •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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}b+=, Sc" }b0qrr 光场追迹结果(电磁场探测器) Xe%n.DW m u{\`*dNx •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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