ixJwv\6Y 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
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6'JP%~QlS 2"B3Q:0he| 建模任务 (Ek=0;Cr
6EkD(w
Op
;){JT \\,z[C 入射平面波
YL@d+
-\ 波长 2.08 nm
?`Som_vKO 光斑直径: 3mm
YbE1yOJ&m 沿x方向线偏振
FUKE.Uxd Wg5i#6y8w 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
{#%;Hq P 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
p&(~c/0 Ujss?::`G 概览 }NETiJ"6 •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
fSzX /r •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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dIDs~ 光线追迹模拟 +hd1|qa4 •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。
V39)[FH} •点击Go!
-g)*v<Fb5 •获得3D光线追迹结果。
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a3oSSkT /'0,cJnm 光线追迹模拟 IXmO1*o@ •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。
Is !DiB •单击Go!
od~`q4p1(- •结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
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2\=cv 3a#j&] 光场追迹模拟 o'nrLI(t •切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。
Y4dTv<=K@i •单击Go!
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?#X`Eu aXefi'!6 光场追迹结果(照相机探测器) S+C^7# lT 1eDc:!^SD •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
))>)qav •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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SAGLLk07G [{B1~D- 光场追迹结果(电磁场探测器) o$r]Z1 c{t[iXDG •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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