sN1H{W 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
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3YLK?X8 h1q 3}- 建模任务 f1:>H.m`
oq vu8"
}m<+tn3m cy@oAoBq 入射平面波
fa]8v6 波长 2.08 nm
bDDP:INm. 光斑直径： 3mm
P\dfxR;8% 沿x方向线偏振
GOxP{d? 6/cm TT $i 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
J P TLh{/ 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
D% *ww'mt0 _8$xsj4_ 概览 U`)
" ;WN •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
]A[}:E 5} •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
.~I:Hcf/ Srw`vql{( 
`}t5` :#k 光线追迹模拟 (;g/wb: •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
|m\7/&@< •点击Go！
T ^eD •获得3D光线追迹结果。
c@,1?q1bv . ?#Q(eLj 
`%|3c CHS}tCfos> 光线追迹模拟 ~Q"qz<WO •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
rui 8x4c •单击Go！
EiD41N •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
ipu~T ) } W/RB |TMT 
kK6t|Yn& ,^CG\); 光场追迹模拟 sz%]rN6$ •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
@ [FO;4w •单击Go！
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-c8h!.Q$ M.SF }U 光场追迹结果（照相机探测器） _$A ? S9 *68l •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
0 {d)f1 •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
*B4OvHi)' mb_6f:Qh3 
A~{vja0 ? bOYM-\
{y 光场追迹结果（电磁场探测器） \1?'JdN pQZ`dS\ •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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