!rTmR@e$/ 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
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=^h~!ovj: o;`!kIQ 建模任务 8&}~'4[b[$
ARL
*M~.3$NN fk5XvL 入射平面波
J(h3]J/Yw 波长 2.08 nm
uhn%lV] 光斑直径: 3mm
0^_MN~s(X 沿x方向线偏振
;Gm>O7"|@ w;yx<1f 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
+lp{#1q0 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
sm s1%%~ M%=P)cC 概览 &v#`t~ •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
17py).\ •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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