^sY ]N77 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
f`*Ip? V- nzmv>s&UW
cxFfAk\,en />S=Y"a/7 建模任务 Y .Na9&-(
U<|kA(5
MM"{ehd{^a H1N_ 入射平面波
zjs@7LN 波长 2.08 nm
H,9e<x#own 光斑直径: 3mm
dW
Y0 沿x方向线偏振
&Y;z[+(P ;]3Tuq 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
( ?3 )l 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
qiV#T+\ ):E4qlB 概览 u* G|TF •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
n qg=I •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
Sp: `Z1kH a02@CsH
xV @X%E 光线追迹模拟 "15mOW(!+ •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。
JeU|e$I4> •点击Go!
6H\3 •获得3D光线追迹结果。
J~9l+? ABvB1[s#
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%n 光线追迹模拟 Zmw'.hL •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。
";AM3 •单击Go!
-&oJ@Aa •结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
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N'w;1,c+ r%A- 光场追迹模拟 4<CHwIRHY •切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。
}A;J-7g6 •单击Go!
h lD0^8S E#X(0(A)
v@TP_Ka 6cQh8_/>{# 光场追迹结果(照相机探测器) 6|+I~zJ88 %:yJ/&-Q,Z •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
ZNNgi@6> •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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QL%&b\K 3Z;`n,g 光场追迹结果(电磁场探测器) 7'uuc]\5> ]p~w`_3v •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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