SWr?>dl 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
6JWCB9$4 ;dl> 
sDnHd9v<?t mj0{Nd 建模任务 yp=Hxf
QRnkj]b
q u[ ~# 7<[p1C*B 入射平面波
@psyO]D=j% 波长 2.08 nm
4l2i'H 光斑直径： 3mm
`r+"2.z* 沿x方向线偏振
Ec| Gom? hXi^{ntw, 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
<,d .`0:y 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
Hlq vXt\ c0]^V>}cl 概览 2Yt#%bj7^ •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
\P]w^ •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
e&f9/rfx 3jPua)=p 
J#B%
#X 光线追迹模拟 m xtLcG4G •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
2g1[ E_? •点击Go！
`_sc_Y|C! •获得3D光线追迹结果。
h+Km | LZm6\x 
y0qrl4S)v S!qJqZ<Bv 光线追迹模拟 t4pc2b •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
N2uxiXpQZ= •单击Go！
T9]|*~ ,T •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
kf+] bV )n 1b 
hK"hMyH^ ?P[uf 光场追迹模拟 j <>|Hi
#` •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
/>;1 } •单击Go！
* ]~ug%a $$~x: iN 
Eq ^k @ X-9>;Mb~y 光场追迹结果（照相机探测器） n'=-bj` ]kq{9b'; •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
qd"1KzQ WO •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
;>_\oZGj_ Gwxx W 
)%x oN< kA?a} 光场追迹结果（电磁场探测器） #+HLb BL<.u •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
fv_}7t7 pkpD1c^ 
V %'`nJ! Qk<W(
"P HkbU W-q2|NK 
RvKP& "l!WO`.zp= 
