[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /QCyA%y  
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建模任务 fE/|U|5L[  
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概述 1$
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 f'3sT(1&  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %R[X_
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光线追迹仿真 [O"8Tzr  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]w[T_4l  
•单击go！ GcYT<pwN6  
•获得了3D光线追迹结果。 #[{xEVf  
vs~lyM/  
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光线追迹仿真 #yVMC;J?W  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,"W.A  
•单击go！ @|GKNW#  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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场追迹仿真 XUyoZl?  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 xz$S5tgDQK  
•单击go！ p-t*?p C  
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场追迹仿真（相机探测器） _("&jfn  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 MYb^ILz H3  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 = 5E:CP  
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场追迹仿真（电磁场探测器） !F|iL  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CF`fn6  
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     K{&b "Ba1  
场追迹仿真（电磁场探测器） =!`\=!y  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &Tf R].  
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