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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    RXu` DWN  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ,E@}=x9p  
    V?jWp$  
    5)0'$Xxqa0  
         u_8Z^T  
    建模任务 tbfwgK  
    M!%|IKw  
    Sogt?]HB$  
    概述 sWKdqs  
    I SdB5Va  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'e$8 IZm  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 m}>Q#IVZ  
    qagR?)N)u  
    m6A\R KJ'  
    k\g:uIsv$  
    光线追迹仿真 KYl!Iw67d  
    ~8-xj6^  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /*GCuc|  
    •单击go! [F{P0({%?  
    •获得了3D光线追迹结果。 ,s:viXk  
    O3#eQs  
    F%O+w;J4  
    gr# |ZK.`  
    光线追迹仿真 "{2niBx  
    f9)0OHa  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 l?Ibq}[~  
    •单击go! IABF_GwF  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 WYkh'sv >  
    CW.T`F  
    [h8macx  
    9kbczL^Y  
    场追迹仿真 +c__U Qx  
    hf7[<I,jov  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 C\^,+)Y\~  
    •单击go! b&AeIU}&  
    9w=[}<E  
    7" )~JBH  
         IA`Lp3Z  
    场追迹仿真(相机探测器) |=V~CQ]  
    ToD_9i }6  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0F 2p4!@W  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 8`90a\t'Z  
    I<+:Ho=6  
    p\.IP2+c  
    *9EW &Ek  
    场追迹仿真(电磁场探测器) \m:('^\6o  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "^Y zHq6  
    k~fH:X~x  
    0]^gT'  
         J@#rOOu  
    场追迹仿真(电磁场探测器) gP |>gy#e  
    i)$<j!L  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?I\,RiZkz^  
    n9R0f9:*  
     
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