[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 j !H^-d}q  
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建模任务 R 94
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概述 fV\]L4%  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :i
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 # Su~`]  
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光线追迹仿真 B&?sF" Y  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $ &UZy|9  
•单击go！ PkuTg";  
•获得了3D光线追迹结果。 +9;2xya2  
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光线追迹仿真 ~FU@wV^  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {R6HG{"IS6  
•单击go！ zCaT tb|@  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 w?Ju5 5  
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场追迹仿真 r=.A'"Kf  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 i
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•单击go！ OX]V)QHVZ  
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场追迹仿真（相机探测器） K>:]Bx#F7  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |KI UgI  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 72uz<i!&$  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ?tdd3ai>  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~+X9g  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 3chPY4~A  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QS.>0i/7l  
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