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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
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    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 W=ar&O~}n  
    RqE|h6/  
    U]W+ers  
         ^E= w3g&  
    建模任务 &0*IN nlc?  
    ]q<Zc>OC  
    }RN&w ]<  
    概述 u!DAeE  
    tC4 7P[b  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 EH~XN9b  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zpM%L:S  
     g1B[RSWv  
    5&N55? G6  
    <j^bk"l p  
    光线追迹仿真 z[bS soK`  
    Jrm 9,7/  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^L +@oS  
    •单击go! kCVA~ %d7  
    •获得了3D光线追迹结果。 g}Esj"7  
    d/!R;,^  
    4;.y>~z  
    ~.L\f%<  
    光线追迹仿真 p`}'-A|@  
    :qL1jnR^  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 L2 ^-t7  
    •单击go! b%"Lwqdr7  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 xv:VW<  
    ,sln0  
    6|AD]/t^K  
    KOHYeiry~A  
    场追迹仿真 2c4x=%  
    v cZg3:j  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2!E@Gbhm5  
    •单击go! i |IG  
    sfw lv^  
    w] =q>p  
         }Rx`uRx\  
    场追迹仿真(相机探测器) 8O_0x)X  
    6x8P}?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 M9scZuj  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Od5I:p]N  
    0}d^UGD  
    H(WRm1i"G  
    Ccx1#^`  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 2qkZ B0[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g7r_jj%ow  
    k}h\RCy%f  
    !.}ZlA  
         GoTJm}[N P  
    场追迹仿真(电磁场探测器) "0edk"hk  
    G378,H  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {} gr\  
    '|JBA.s|  
     
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