[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

.'$8Hj;@  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~kj96w4eAR  
p~Cz6n  
xB[W8gQ6fa  
     R'6(eA[K  
建模任务 )_n(u3'  
b|@zjh;]A7  
zg@i7T  
概述 x!vyjp  
<L11s%5-  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 B/qN1D]U.  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9W+DW_M  
PkZ1Db  
sDR Av%w  
lkly2|wA  
光线追迹仿真 -QR]BD%J*[  
_~{J."q  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3 {hUp81>  
•单击go！ Z!Z{Gm3  
•获得了3D光线追迹结果。 aMxj{*v7  
$G6kS@A  
k@s<*C  
>mpNn  
光线追迹仿真 Mk=*2=d  
[s\8@5?E  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 C[hNngb7R  
•单击go！ 8a]g>g  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 MK@rx6<9  
wq,&0P-v  
Y<kz+d,C  
!Q<3TfC  
场追迹仿真 6rWq hIaI  
+5I'? _{V  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 .Y^3G7On  
•单击go！ 6d6Dk>(V  
mF!4*k  
=R 4]Kf  
     {O).!  
场追迹仿真（相机探测器） Y2tBFeWY  
yB/F6/B~  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8z7eL>)  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 w|6?A-  
SK&1l`3  
S 1^t;{"  
@8w5Oudvx  
场追迹仿真（电磁场探测器） "#gS?aS  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :is2 &-|x  
iR PE0  
^'du@XCf}  
     (x@J@ GP*  
场追迹仿真（电磁场探测器） YU`k^a7%  
fVa z'R  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7lAJ 0  
$cuBd