[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5nEvnnx0  
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建模任务 Xf#uK\f  
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概述 iPE-j#|  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 heRQ|n.Dz)  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R$PiF1ffj  
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光线追迹仿真 c L84}1QD  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *6k (xL  
•单击go！ ;/ p)vR  
•获得了3D光线追迹结果。 C10A$=!  
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光线追迹仿真 pQW^lqwZ:6  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 X~W5Z(w(O  
•单击go！ UlQ}   
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %#|S  
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场追迹仿真 ?ILNp`k  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e3',? 5j  
•单击go！ s2&UeYbIs  
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场追迹仿真（相机探测器） .bew,92  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |h8C}P&Z  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {9Y@?  
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场追迹仿真（电磁场探测器） &a1ag
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _U'edK]R  
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场追迹仿真（电磁场探测器） i Ri1E;  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FL0[V,  
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