3;MjO*- 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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g'ZMV6b?K @f{_=~+ 建模任务 ;Q=GJ5`B b/B`&CIA0"
[OZ=iz. 概述 u'i%~(:$\) i*CQor6|z •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
xs'kO= •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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Bw<zc=% $54=gRo^ 光线追迹仿真 (X(1kj3 6I>5~?# •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
P:(EU s}0 •单击go!
&.Latx •获得了3D光线追迹结果。
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NdsX*o@a zD2.Q%`IM 光线追迹仿真 0^9:KZ.! b>QM~mq3^I •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
dGsS<@G •单击go!
e" Eqi- •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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Jf?S9r5 Q .6#cDrK 场追迹仿真 6KEykw
j lMBX!9z •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
&^&$!Xmu9 •单击go!
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^E$(1><-a OG`|td 场追迹仿真(相机探测器) #9D/jYK1X "[*S?QO(L •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
u3Usq=Ij{ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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s]y-pZ 7deAr$?Wx 场追迹仿真(电磁场探测器) 7`IUMYl#~ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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|5=~(-I>@ K`Bq(z?/ 场追迹仿真(电磁场探测器) -RG8<bI, Z}8k[*. •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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