o q'J*6r 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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f6aT[Nw< o to
wvm 建模任务 MU^xu &MB y [ rB" 
nfCd*f 概述 4BUK5) B }fa%JN %E •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
L3h xe]mr •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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.k!k-QO5La ngH~4HyT 光线追迹仿真 l#5k8+s EL)/5-=S •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
07G*M ] •单击go！
|
xErA •获得了3D光线追迹结果。
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U}C#:Xi>$ OrKT~JQVC& 光线追迹仿真 Al-%j- j@- +ke42Jwt •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
a?Qcf ;o •单击go！
%q\P 'cK •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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`sp'Cl! (qc!-Isd~[ 场追迹仿真 ePcI^}{ %imBGh •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
}s)&/~6 •单击go！
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7.1E mJ +/UXy2VRt$ 场追迹仿真（相机探测器） x#}eC'Q N=?kEX
O •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
tEs[zo+DR- •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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+\(ay"+ d }W>[OY0^A 场追迹仿真（电磁场探测器） d}B_ll#j- •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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V;+$/>J`vB ug3lM N4UX 场追迹仿真（电磁场探测器） ah$7
Oudj +Gwe%p Q •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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