K{P#[X*5 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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M!l5,ycF `4q}D-'TF8 建模任务 F?eb Yk1 1Qu,]i`
UhTr<(@ 概述 nQHd\/B
+"cyOC •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
Ve1] ECk •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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_q_[<{# +|<b0Xd 光线追迹仿真 g0OS<,: o#) !b:/ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
-b}S3<15@ •单击go!
3/=QZ8HA&- •获得了3D光线追迹结果。
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g VJ#LJ mRY6[*u 光线追迹仿真 UeMe4$m 15 11<, •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
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X/Rx]}[ •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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cEjdImAzU n{r#K_ 场追迹仿真 08?MS_ xBfe8lor •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
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b]&zDo|8 {/xs9.8:JX 场追迹仿真(相机探测器) cu`J2vm3 gNN"
H#=2 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
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DQE7kI •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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7jH`_58 G=5t5[KC 场追迹仿真(电磁场探测器) xyjVdD\ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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9Y%?)t.2 :+Q"MIU 场追迹仿真(电磁场探测器) =&VXn{e n_n|^4w •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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