[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?wG  
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建模任务 j[gqS%  
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概述 1gK^x^l*f  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "r@#3T$  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 wsB-( 0-  
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光线追迹仿真 6O{QmB0KK  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 .jqil0#)Y"  
•单击go！ W)r|9G8T  
•获得了3D光线追迹结果。 >l)x~Bkf$j  
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光线追迹仿真 TDR|*Cs  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 P{K\}+9F   
•单击go！ >g!$H}\  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 q[qX O5  
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场追迹仿真 z.
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =3'B$PY  
•单击go！ ;U?=YSHk7  
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场追迹仿真（相机探测器） cLL2 '  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 2<J2#}+\  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 -2}ons(  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 6bj77CoB  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zwQ#Yvd  
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场追迹仿真（电磁场探测器） :yJ#yad  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3%9XJ]Qao  
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