[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 WD! " $  
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建模任务 1(RRjT9  
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概述 <PM.4B@  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 f1sp6S0V\  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 pG'?>]Rt4  
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光线追迹仿真 ,_s.amL3O{  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 _!Pi+l4p/}  
•单击go！ J8ScKMUN2  
•获得了3D光线追迹结果。 Cl3L)  
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光线追迹仿真 $yq76  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ZkO2*;  
•单击go！ ovdaK"q2  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 R%q:].  
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场追迹仿真 (44L8)I.D  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =e0MEV#s.  
•单击go！ B-$zioZ  
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场追迹仿真（相机探测器） R3.w")6  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :UAcS^n7h"  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 a>9_#_hI  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 9I$}=&"  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _a|g >  
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场追迹仿真（电磁场探测器） tF 7u-  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 cIC/3g}]  
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