[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

&7PG.Ff!r  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 gtk7)Uh  
o
U056  
=t9\^RIx)?  
     jcuB  
建模任务 xTj|dza  
([SU:F!uW(  
B@&4i?yJ  
概述 q8/MMKCbX  
=G7m)!  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r^FhTzA=1  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 AgS7J(^&3  
=Je[c,&j$?  
2%LLSa  
g)#W>.Asd  
光线追迹仿真 /|tJ6T1LrB  
JmxH"7hTE  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }&cu/o4  
•单击go！ yE:+Lo`>  
•获得了3D光线追迹结果。 =/s>Q l  
a1C{(f)  
X:HacYqtC  
?[@J8  
光线追迹仿真 W42iu"@  
B"h#C!E  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 NQBpX  
•单击go！ /]K^ rw[  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^2Fei.?T.  
oI }VV6vO  
\.MR""@y`{  
r_ I5.gK  
场追迹仿真 ?zh9d%R  
@.$|w>>T  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /rWd=~[MO  
•单击go！ 8aK)#tNWN  
yA)/Q Yge  
cpL7!>^=  
     _K]_ @Ivh  
场追迹仿真（相机探测器） uatm/o^~,  
(SpX w,:  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 z* ^_)Z  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 z[b@V  
Y~c|hfL  
CAfGH!l!  
ns9U/:L  
场追迹仿真（电磁场探测器） |XQIfW]A  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L-ET<'u  
ck:T,F{}  
6a[}'/  
     @5N]ZQ9  
场追迹仿真（电磁场探测器） \y97W&AN  
5eLtCsHz  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LInz<bc<(  
,]|#[8