[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

mg^I=kpk  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 EN$2,qf  
K&vF0*gN3  
\|H!~)h$1  
     f,h
 J~  
建模任务 x'+T/zw  
15%w 8u  
`|6'9  
概述 XC4X-j3
 
{IxA)v-`  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Z,sv9{4r  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 7E!IF>`  
k.5u  
%-)H^i~]%  
$;
1#To  
光线追迹仿真 &~8oQC-eF  
-e_hrCW&9  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^N7e76VwR  
•单击go！ v=0(~<7B  
•获得了3D光线追迹结果。 oC<.=2]  
fKeT
,U`W  
0t Fkd  
O{QA  
光线追迹仿真 7op`s5i  
1,6}_MA  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #yI mKEYX  
•单击go！ k3u"A_"c  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 J3e96t~u  
GC>e26\:  
FG%X~L<d,)  
0xxg|;h.,g  
场追迹仿真 -K q5i  
FKIw!m ~  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :yRo3c  
•单击go！ 5~r33L%  
3jGWkby0  
w1hPc!I  
     Tu
$f?  
场追迹仿真（相机探测器） tQ
8.f  
GC?ON0g5s  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `7 vHt`  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ruc++@J@  
w\(.3W7  
).Fpgxs  
>OL3H$F  
场追迹仿真（电磁场探测器） z2MWN\?8  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v/](yT  
=7w\ 7-.m  
/.3}aj;6  
     }j^i}^Du,  
场追迹仿真（电磁场探测器） S4'  
UELy"z R  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]ro*G"-_1#  
d*jMZ%@uS