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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
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    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 6J\fF tB@V  
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    建模任务 &?y7I Pp  
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    概述 &iBNO,v  
    H:Y&OZ  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 45<y{8  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9 I{/zKq  
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    光线追迹仿真  R%"K  
    D"^'.DL@wG  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |55dbL$w  
    •单击go! oL-2qtv  
    •获得了3D光线追迹结果。 {$33B'wk  
    Q|c|2byb  
    MA* :<l  
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    光线追迹仿真 R,,Qt TGB  
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    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E oe}l   
    •单击go! ^~1<f1(  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 + >nr.,qo3  
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    场追迹仿真 RB$ z]/=  
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    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 v0LGdX)/Y  
    •单击go! Wekqn!h  
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         h/m6)m.D  
    场追迹仿真(相机探测器) Bm/YgQi  
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    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N'?u1P4G  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Cy@ cLdV  
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    场追迹仿真(电磁场探测器) ^R~~L  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D*2\{W/  
    :_HF j.JW  
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    场追迹仿真(电磁场探测器) L0"~[zB]N  
    J ^ G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *y]+dK&-  
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