^uG^XY&ItC 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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BNA` Cc1VV |q0MM^%" 建模任务 Ojea~Y]Sr }Z^r<-N
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mihWD02 概述 P1\:hh /Q |guJx •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
?U}Ml]0~ •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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6LVJ*sjSy <OYy;s 光线追迹仿真 _6Ex}`fyJ
| dLA D4% •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
-;VKtBXP</ •单击go!
G{4~{{tI •获得了3D光线追迹结果。
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y2XeD=_' BkZmE, 光线追迹仿真 T[$! ^WT aWtyY[= •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
Kz v*` •单击go!
0O_acO4 •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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k{{ iF 场追迹仿真 NrC(.*?m p-KMELB •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
ow,4'f!d •单击go!
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)_7OHV *3 &s]wf 场追迹仿真(相机探测器) Ax'jNol vai.w-}Z •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
ZO^Y9\L •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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M*& tVG =*ZQGM 3w 场追迹仿真(电磁场探测器) c5 jd
q[0 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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{95z\UE} ]w)*8
w.) 场追迹仿真(电磁场探测器) Q@7-UIV|q `2 vv8cg^ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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