pqnZ:'V 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
W=ar&O~}n RqE|h6/
U]W+ers ^E= w3g& 建模任务 &0*IN
nlc? ]q<Zc>OC
}RN&w]< 概述 u!D AeE tC4 7P[b •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
EH~XN9b •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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5&N55?G6 <j^bk"l p 光线追迹仿真 z[bS
soK` Jrm 9,7/ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
^L +@oS •单击go!
k CVA~%d7 •获得了3D光线追迹结果。
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4;.y>~z ~.L\f%< 光线追迹仿真 p`}'-A|@ :qL1jnR^ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
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^-t7 •单击go!
b%"Lwqdr7 •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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6|AD]/t^K KOHYeiry~A 场追迹仿真 2c4x=% v cZg3:j •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
2!E@Gbhm5 •单击go!
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w] =q>p }Rx`uRx\ 场追迹仿真(相机探测器) 8O_0x)X 6x 8P}? •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
M9s cZuj •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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H(WRm1i"G Ccx1#^` 场追迹仿真(电磁场探测器) 2qkZ B0[ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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!.}ZlA GoTJm}[NP 场追迹仿真(电磁场探测器) "0edk"hk G378,H •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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