[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xFU*,Y  
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建模任务 $F|3VQ~  
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概述 $9pFRQC'
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 '.jr
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 FL}k0  
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光线追迹仿真 YK[PC]w  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 N=e-"8  
•单击go！ N/ 7Q(^  
•获得了3D光线追迹结果。 V) #vvnq  
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光线追迹仿真 M_-LI4>  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Xr54/.{&@  
•单击go！
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•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Bvke@|]kW  
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场追迹仿真 pBW|d\8  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 S GAu.8Js  
•单击go！ vYT%e:8)q  
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场追迹仿真（相机探测器） +8tdAw  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Y7QIFY's~  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 8Vcg30_+  
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场追迹仿真（电磁场探测器） >Qk4AMIO  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]#n,DU}V  
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场追迹仿真（电磁场探测器） {fi:]|<1h  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5v51:g>c  
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