[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 H-+U^@w  
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建模任务 G3io!XM)D  
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概述 nPdkvs   
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qnboXGaFu  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 41<h|WA  
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光线追迹仿真 os"R'GYmf  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hmo4H3g!N  
•单击go！ L?+N:G  
•获得了3D光线追迹结果。 :?\29j#*V  
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光线追迹仿真 CLzF84@W=  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 SNO
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•单击go！ H\oxj,+N  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ,HTwEq>-G  
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场追迹仿真 #%k_V+o3  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 DdI%TU K,  
•单击go！ f&4+-w.:V|  
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场追迹仿真（相机探测器） 0.x+ H9z  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 y/Y}C.IWp)  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 U<0Wa>3zj  
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场追迹仿真（电磁场探测器） G{fPQ=  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &,%n  
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场追迹仿真（电磁场探测器） gU+yqT7=  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [k\VUg:P  
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