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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    G HD^%)T5^  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 LBiowd[  
    Z-)[1+Hs  
    vd}*_d  
         YP[LQ>  
    建模任务 Y4mC_4EU  
    aje^Z=]  
    ?ork^4 $s  
    概述 R? O-x9  
    zwK }7h6]  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?75\>NiR  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ZCm1+Y$  
    mZwi7s&u  
    BlXX:aZv  
    *B0V<mV  
    光线追迹仿真 x6LjcRS|  
    ||uZ bP@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ajW[eyX  
    •单击go! $`|5/,M%QN  
    •获得了3D光线追迹结果。 RCzV5g  
    3&es]1b  
    U.: sK*  
    Bwjg#1E  
    光线追迹仿真 tG/a H%4S  
    +p3 Z#KoC  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 m$,,YKhh  
    •单击go! 1e/L\Y=m  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 o]A XT8  
    tJ"az=?  
    ! ,@ZQS  
    @0$}? 2  
    场追迹仿真 *ksb?|<Ot  
    Vt'L1Wr0v  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !Cw!+fZ\l  
    •单击go! RU6KIg{H  
    2B^~/T<\  
    i^WIr h3a  
         "%VbI P  
    场追迹仿真(相机探测器) O}QFq14<+  
    (^LS']ybc  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &&WDo(r3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 +semfZ)  
    22>;vM."  
    [B,'=,Hbs  
    tRteyNA  
    场追迹仿真(电磁场探测器) ibXe"X/_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =+<d1W`>0  
    i X%[YQ |  
    1Y#HcW&  
         8V-,Xig;`  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 34ha26\np  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bj}=8k0  
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