[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

6(x53y__  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 uF1&m5^W  
lMG+,?<uK&  
1wH
6 hN,  
     1k^$:'  
建模任务 q[+h ~)  
_CTg")0o  
c`&g.s@N\  
概述 NpCQ4K  
on"ENT  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 O}(sn  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 cMCM>*X  
cK2;)
&U7  
1B:5O*I!J  
,0ilNi>  
光线追迹仿真 q#I'@Jbj  
G9V2(P  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Zy.A9Bh~  
•单击go！ wt;`_}g  
•获得了3D光线追迹结果。 iz)r.TJ  
$06('
Hg&  
=HJ7tele  
K:kb&W  
光线追迹仿真 @'5*jXd  
p~Cz6n  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 xB[W8gQ6fa  
•单击go！ zGNW5S9G  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 mP/#hwzB&q  
PIXqd,  
^*+M9e9Z  
SSTn|  
场追迹仿真 xWqV~NnE  
}Y|M+0   
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Slj U=,  
•单击go！ lrwQ >N  
mdQe)>  
~c] q:pU2  
     !`4ie  
场追迹仿真（相机探测器） 2VUN  
k.2GIc:5  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
-3ANNj  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 l_$>$d  
UjLq[,_!  
EVBOubV  
UZmUYSu;  
场追迹仿真（电磁场探测器） #_`p 0wY  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0%%y9;o  
7=yjd)Iy9m  
j
JNl{nyq  
     O!hp=`B,jf  
场追迹仿真（电磁场探测器） n/ :#:  
{Rb;1 eYj  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FGie*t  
|Kjfh};-C