[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _p )NZ7yC  
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建模任务 2zC4nF)>O  
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概述 (`.# n3{  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h@%Xy(/m'  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 <C`bf$ak  
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光线追迹仿真 hr vTFJ  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Bu:%trlgV  
•单击go！ gFaZ ._  
•获得了3D光线追迹结果。 &da=hc,>%  
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光线追迹仿真 =KPmZ,/w  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 w'@gzK  
•单击go！ _(m72o0g>>  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y|tHU'x  
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场追迹仿真 #T)Gkc"{  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
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•单击go！ I}8e"#  
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场追迹仿真（相机探测器） RC_Pj)  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %1#\LRA(  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 UQ0!tFx  
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场追迹仿真（电磁场探测器） H!;N0",]N  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8qe[x\,"8  
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场追迹仿真（电磁场探测器） S m(*<H  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S1=P-Ao  
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