b1xpz1 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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>'b=YlUL >I^9:Q 建模任务 &?y7I Pp x#r<,uNn,
*C7F2o 概述 &iBNO,v H:Y&OZ •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
45<y{8 •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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s6n`?,vw @^&7$#jq% 光线追迹仿真 R%"K D"^'.DL@wG •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
|55dbL$w •单击go!
oL-2qtv •获得了3D光线追迹结果。
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:<l RV;!05^< 光线追迹仿真 R,,Qt
TGB J+ts •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
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•单击go!
^~1<f1( •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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>U?v 场追迹仿真 RB$
z]/= IZrk1fh •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
v0LGdX)/Y •单击go!
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24B<[lSK h/m6)m.D 场追迹仿真(相机探测器) Bm /YgQi ].m qxf •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
N'?u1P4G •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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VaR/o# tJU-<{8 场追迹仿真(电磁场探测器) ^ R~~L •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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s&Yi 6:J z 7T0u.4Ss 场追迹仿真(电磁场探测器) L0"~[zB]N J^
G •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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