[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

Umt ia~x=&  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |P7f^0idk  
r3_gPK  
_q_[<{#  
     yjR O9  
建模任务
(NC>[  
;T+U&U0d|  
* _lo;  
概述 -\$cGIL  
D*gVS  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 pe%)G6@G  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 gVJ#LJ  
8m6nw0  
h}>/Z3*  
PEt8,,x<"  
光线追迹仿真 7 aD&\?  
X/Rx]}[   
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 &:#8ol(n5b  
•单击go！ 32LB*zc  
•获得了3D光线追迹结果。 cEjdImAzU  
l1Q+hz5"*U  
5@+Ei25  
pNQkKDbL+  
光线追迹仿真 hr6e1Er  
=DTOI  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 KBqaI((  
•单击go！ cu?(P;mQi  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {4aY}= -Q*  
]"g >>N  
vW-`=30  
sg"D;b:X  
场追迹仿真 `$SEkYdt  
_xgVuJ  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
&N_c-@2O  
•单击go！ [Um4\QvUx  
j~*Z7iu  
kz;_f  
     :U.)YHY  
场追迹仿真（相机探测器） i!$^NIcJ  
h4\6
h  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 '
b?.\Bm;  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 c_bVF 'Bz  
`h9)`*  
YQ@6innT  
Rw\C0'  
场追迹仿真（电磁场探测器） %SO%{.}Zf  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^%%5  
5Vo}G %g  
ERRT_G?  
     fTHun?Vn  
场追迹仿真（电磁场探测器） _RL-6jw#o  
%;\G@q_p{  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 k gu[!hD1  
+'qX sfc