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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    ^uG^XY&ItC  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 # MpW\yX  
    Xgq-r $O2X  
    BNA`Cc1VV  
         |q0MM^%"  
    建模任务 Ojea~Y]Sr  
    }Z^r<-N  
    M mihWD02  
    概述 P1 \:hh  
    /Q|guJx  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?U}Ml]0~  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I @sXmC2$\  
    QtF'x<cB  
    6LVJ*sjSy  
    <OYy ;s  
    光线追迹仿真 _6Ex}`fyJ  
    |dLA D4%  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -;VKtBXP</  
    •单击go!  G{4~{{tI  
    •获得了3D光线追迹结果。 [1Os.G2  
    Yh^~4S?  
    y2XeD=_'  
    BkZmE,  
    光线追迹仿真 T[$! ^WT  
    aWtyY[=  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Kzv*`  
    •单击go! 0O_acO 4  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 VW," dmC  
    ;'\#+GZ9p  
    .bwKG`F  
    k{{iF  
    场追迹仿真 NrC (.*?m  
    p-KMELB  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ow,4'f!d  
    •单击go! QvPG 6A]T  
    vmV<PK-  
    )_7OHV *3  
         &s]wf  
    场追迹仿真(相机探测器) Ax'jNol  
    vai.w-}Z  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZO^Y9\L  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 O@n1E'S/  
    y)5U*\b  
    M*& tVG   
    =*ZQGM3w  
    场追迹仿真(电磁场探测器) c5jd q[0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9/La _ :K  
    5LPyPL L  
    {95z\UE}  
         ]w)*8 w.)  
    场追迹仿真(电磁场探测器) Q@7-UIV|q  
    `2 vv8cg^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #D{jNSB  
    aN87^[  
     
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