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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    il:+O08_  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 &)rmv  
    L:~ "Vw6]_  
    RlpW)\{j?  
         ^D!UF(H  
    建模任务 ^fRA$t  
    ~V(WD;Mk  
    GLEGyT?~  
    概述 grv 3aa@  
    Zu5`-[mw  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {Bu^%JEn  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .rwZ`MP  
    T,k`WR  
    ?:UDK?  
    ETYw  
    光线追迹仿真 H=B8'N  
    ;hRo} +\l  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1 ,Y-_e)  
    •单击go! L> cTI2NB.  
    •获得了3D光线追迹结果。 `2 {x 8A  
    PE3l2kr  
    >i=mw5`D]  
    =T!M`  
    光线追迹仿真 f\1)BZ'I  
    xqIt?v2c  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0&Zm3(}  
    •单击go! ]Rz]"JZ\S  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 $n!saPpxS  
    IEHAPt'  
    &d=j_9   
    ![ Fb~Egc  
    场追迹仿真 9FK%"s`  
    5_{C \S`T  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }VdohX-  
    •单击go! tZwZZ0]Z  
    @MTm8E6au  
    2B5Z0<  
         GoZr[=d  
    场追迹仿真(相机探测器) 8h}o5B  
    1%t9ic  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^lf{IM-Y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 )y_MI r  
    G-xW&wC-  
    fC52nK&T8  
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    场追迹仿真(电磁场探测器) cd#@"&r  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 vEk jd#  
    &+Xj%x.]  
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         LDx1@a|83  
    场追迹仿真(电磁场探测器) rOEk%kJ  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )u`q41!  
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