[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

QU-7Ch#8  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %JP&ox|^&  
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建模任务 2*~JMbm  
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概述 P#dG]NMf  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 x&hvFG3  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 kjLsk-  
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光线追迹仿真 )0Y #-=.<  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 EmtDrx4!(f  
•单击go！ fWtb mUq  
•获得了3D光线追迹结果。 w6WGFQ_%  
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光线追迹仿真 [OFTP#}c  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 'Yaf\Hp  
•单击go！ Dg9--wI}I9  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 m6~ sKJV  
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场追迹仿真 GsP@ B'  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 n&2=6$*,k  
•单击go！ b:}wR*Adc  
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场追迹仿真（相机探测器） mFgb_Cd  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s]nGpA[!  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 SHXa{-  
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场追迹仿真（电磁场探测器） FT3,k&i  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #"=yQZ6Y  
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场追迹仿真（电磁场探测器） n3HCd-z  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YWcui+4p}  
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