[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 kOQ)QX  
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建模任务 w5m/[Z  
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概述 VIp|U{  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 roS" q~GS,  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 oYu xkG  
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光线追迹仿真 f-F=!^.  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 qf0pi&q  
•单击go！ #`SAc`:n  
•获得了3D光线追迹结果。 ^)dsi  
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光线追迹仿真 ,j%\3g`  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tYD8Y  
•单击go！ NljpkeX'  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Dmh$@Uu#F  
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场追迹仿真 nd'D0<%  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !BoGSI  
•单击go！ fV"Y/9}(  
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场追迹仿真（相机探测器） Gld~Gy
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  7UBDd1  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 H1-DK+Q:  
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 P@O_MT  
场追迹仿真（电磁场探测器） 2c Xae  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gvc@q`_]  
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C@qWour  
     6m&GN4Ca  
场追迹仿真（电磁场探测器） ika*w  
aqSOC(jU  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1EV bGe%b  
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