il:+O08_ 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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RlpW)\{j? ^D!UF(H 建模任务 ^fRA$t ~V (WD;Mk
GLEGyT?~ 概述 grv 3aa@ Zu5`-[mw •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
{Bu^%JEn •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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?:UDK? ETYw 光线追迹仿真 H=B8'N ;hRo}
+\l •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
1,Y-_e) •单击go!
L>cTI2NB. •获得了3D光线追迹结果。
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>i=mw5`D] =T!M` 光线追迹仿真 f\1)BZ'I xqIt?v2c •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
0&Zm3(} •单击go!
]Rz]"JZ\S •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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&d=j_9 ![ Fb~Egc 场追迹仿真 9FK%"s` 5_{C \S`T •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
}VdohX- •单击go!
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2B5Z0< GoZr[=d 场追迹仿真(相机探测器) 8h}o5B 1%t9ic •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
^lf{IM-Y •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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fC52nK&T8 3`$- 场追迹仿真(电磁场探测器) cd#@"&r •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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{|bf` LDx1@a|83 场追迹仿真(电磁场探测器) rOEk%kJ QVsOB$ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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