[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

Nm{+!}cC  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _*l+ze[a  
\wZ 4enm  
qjr:(x/  
     1k)31GEQw  
建模任务 Rb/|ae  
XE#a#  
'zJBp 9a%  
概述 Z=+Tw!wR>  
*x!j:/S`n  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]EN+^i1F[  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]F{F+r  
| )No4fm  
&0b\E73  
O*SJx
.  
光线追迹仿真 5'<J@3B  
\sn wR  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Wq2Bo*[*  
•单击go！ !We9T)e  
•获得了3D光线追迹结果。 /4I9Elr  
iFOa9!_0n  
zQxTPd  
gB<1;_KW  
光线追迹仿真 u+;iR/  
Nf5zQ@o_y  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +@^FUt=tq  
•单击go！ u5.zckV  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <B Vx%  
7VIfRN{5n  
01n7ua*XX  
qV#,]mX  
场追迹仿真 SgWLs%B  
H2S/!Q;K  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  .: Zw6  
•单击go！ /B 53Z[yL  
Pk3b#$+E  
wzj:PS
  
     Q<Q?#v7NX  
场追迹仿真（相机探测器） 'WNq/z"X  
\zJb}NbnT  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 F2>W{-H+  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 'F%h]4|1  
3o2x&v  
>:bXw#w
]  
=B{B?B"r  
场追迹仿真（电磁场探测器） -]Ny-[P  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s7(1|}jh  
!lL~#l:F  
[Mk:Zz%  
     ~}_
S]^br  
场追迹仿真（电磁场探测器） Z817f]l  
d"=)=hm!  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l(pP*2  
(sW$2a