&sA@! 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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a +lTAe .ng:Z7 建模任务 i_'u:P<t K0 6 E:
_mG>^QI. 概述 6
_n~E e &Jf67\N •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
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J@ •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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J_@`:l0,z kf-/rC)> 光线追迹仿真 q% pjY L=v"5)m2R •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
L9bIdiB7 •单击go!
)BX-Y@fpA •获得了3D光线追迹结果。
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iosL&*'8 sqjv3=} 光线追迹仿真 Xhk_h2F[ PvkHlb^x% •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
o4d[LV4DS •单击go!
r$/.x6g// •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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<pp<%~_Z Y)KO*40c 场追迹仿真 iTpK:pX RI0+9YJ •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
=7P(T`j •单击go!
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lKA2~ o d_!lRQ^N 场追迹仿真(相机探测器) nv-_\M R3!3TJ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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1z5\>F *s}j:fJ 场追迹仿真(电磁场探测器) 7nOn^f D •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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B_uAa5' ?[~)D}] j 场追迹仿真(电磁场探测器) vp#r:+= ^{(i;IVG •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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