[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,Hik(22  
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建模任务 o{ ,ba~$.w  
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概述 7i-W*Mb:  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u\Nw:Uu i  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9pVf2|5hj  
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光线追迹仿真 "<cB73tY  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 RT.wTJS;  
•单击go！ '_TJ"lOZ  
•获得了3D光线追迹结果。 *@\?}cX  
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光线追迹仿真 S7Iu?R_I  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [[*0MA2Y  
•单击go！ Ux%\Y.PPI  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ="#:=i]  
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场追迹仿真 oP|pOs\$p  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (!XYH@Mz<w  
•单击go！ <tu[cA>  
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场追迹仿真（相机探测器）  H3/Y  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^ RcIE (  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 s0`|G|.}  
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场追迹仿真（电磁场探测器） JEm?26n X  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lH,]ZA./  
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场追迹仿真（电磁场探测器） JT.\f,z&  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q[ 9rA  
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