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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    Sb^add0dT  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 uQO(?nCi  
    $3lt{ %  
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         >xk lt"*U,  
    建模任务 ex{)mE4Cd  
    }5QZ6i#  
    O}e|P~W  
    概述  b$PT_!d  
    /5&3WG&<u  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &~z+R="=  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 cAYa=}~<  
    6\%r6_.d  
    ,xm;JXJ  
    pM1=U F  
    光线追迹仿真 %g!yccD9  
    0TpBSyx.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?T tQZ  
    •单击go! 3| GNi~  
    •获得了3D光线追迹结果。 #8P#^v]H  
    oH!$eAU?  
    l~`txe  
    ZD$-V 3e`  
    光线追迹仿真 VFQq`!*i  
    NEjPU#@c  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 MtMvpHk  
    •单击go! Z&AHM &,yj  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 45]Ym{]  
    #|)JD@;Q  
    LsuAOB 8  
    8<wtf]x  
    场追迹仿真 Oex{:dO "F  
    #j(q/ T{x  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 c#]'#+aH  
    •单击go! U>e3_td3,  
    23(B43zy  
    w`H.ey  
         ]>]#zu$=c  
    场追迹仿真(相机探测器) MAm1w'ol"  
    hNu>s  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [lDt0l5^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 EuR!yD  
    qat45O4A1  
    9}K(Q=  
    #u}v7{4  
    场追迹仿真(电磁场探测器) ):|G k Sm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gJ)h9e*m^  
    "1gk-  
    T! &[  
         |r)>bY7  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 3{N p 9y.  
    6xDl=*&%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $sd3h\P&R  
    ,d9%Ce.$2  
     
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