Sb^a dd0dT 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
uQO(?nCi $3lt{ %
)gL& >xklt"*U, 建模任务 ex{)mE4Cd }5QZ6i#
O}e|P~W 概述
b$PT_!d /5&3WG&<u •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
&~z+ R="= •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
cAYa=}~< 6\%r6_.d
,xm;JXJ pM1=UF 光线追迹仿真 %g!yccD9 0TpBSyx. •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
?T tQZ •单击go!
3| GNi~ •获得了3D光线追迹结果。
#8P#^v]H oH!$eAU?
l~`txe ZD$-V3e` 光线追迹仿真 VFQq`!*i NEjPU#@c •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
MtMvpHk •单击go!
Z&AHM &,yj •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
45]Ym{] #|)JD@;Q
LsuAOB 8 8<wtf]x 场追迹仿真 Oex{:dO "F #j(q/
T{x •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
c#]'#+aH •单击go!
U>e3_td3, 23(B43zy
w`H.ey ]>]#zu$=c 场追迹仿真(相机探测器) MAm1w'ol" hNu>s •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
[lDt0l5^ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
EuR!yD qat45O4A1
9}K(Q= #u}v7{4 场追迹仿真(电磁场探测器) ):|G
kSm •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
gJ)h9e*m^ "1gk-
T! &[ |r)>bY7 场追迹仿真(电磁场探测器) 3{N p 9y. 6xDl=*&% •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
$sd3h\P&R ,d9%Ce.$2