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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    K{ P#[X*5  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 *Kkw,qp/  
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    M!l5,ycF  
         `4q}D-'TF8  
    建模任务 F?ebY k1  
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    UhTr<(@  
    概述 nQHd\/B  
    +"cyOC  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Ve1] ECk  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |P7f^0idk  
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    +|<&#b0Xd  
    光线追迹仿真 g0OS<,:  
    o#) !b:/  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -b}S3<15@  
    •单击go! 3/=QZ8HA&-  
    •获得了3D光线追迹结果。 {kH^OZ^(e  
     ?|J+dW  
    gVJ#LJ  
    mRY6[*u  
    光线追迹仿真 UeMe4$m  
    15 11<,  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7 aD&\?  
    •单击go! X/Rx]}[   
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 &:#8ol(n5b  
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    n{r#K_  
    场追迹仿真 08?MS_  
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    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 U hhmG+  
    •单击go! 0_mvz%[J  
    -+>r4P  
    b ]&zDo|8  
         {/xs9.8:JX  
    场追迹仿真(相机探测器) cu`J2vm3  
    gNN" H#=2  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 { DQ E7kI  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 {ah~q}(P  
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    7jH`_58  
    G=5t5[KC  
    场追迹仿真(电磁场探测器) xyjV dD\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <bZm  
    <4e*3WSG  
    9Y%?)t.2  
         :+Q"MIU  
    场追迹仿真(电磁场探测器) =&VXn{e  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Gb|}Su  
    J-\?,4mcP  
     
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