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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    &sA@!  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ^630%YO  
    FfSKE  
    a +lTAe  
         .ng:Z7  
    建模任务 i_' u:P<t  
    K0 6 E:  
    _mG>^QI.  
    概述 6 _n~E e  
    &Jf67\N  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 -. J@  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?ISv|QpC  
    o|njgmF;\  
    J_@`:l0,z  
    kf -/rC)>  
    光线追迹仿真 q% pjY  
    L=v"5)m2R  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 L9bIdiB7  
    •单击go! )BX-Y@fpA  
    •获得了3D光线追迹结果。 \!J9|  
    \0bZ1"  
    iosL&*'8  
    sqjv3=}  
    光线追迹仿真 Xhk_h2F[  
    PvkHlb^x%  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 o4d[LV4DS  
    •单击go! r$/.x6g//  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 LQ'VhNU  
    fs3jPHZJ#  
    <pp<%~_Z  
    Y)KO*40c  
    场追迹仿真 iTpK:p X  
    RI0 +9YJ  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =7P(T`j  
    •单击go! `7o(CcF6H  
    ?cmv;KV   
    lKA2~o  
         d_!l RQ^N  
    场追迹仿真(相机探测器) nv-_\M   
    R3!3TJ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 jb {5   
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 {z0PB] U  
    (Gp|K6  
    1 z5\>F  
    *s}j:fJ  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 7nOn^f D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )WR*8659e  
    TkjPa};R  
    B_uAa5'  
         ?[~)D}] j  
    场追迹仿真(电磁场探测器) vp#r :+=  
    ^{(i;IVG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m<wEw-1.  
    NX5NE2@^qH  
     
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