RXu`DWN 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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5)0'$Xxqa0 u_8Z^T 建模任务 tbfwgK M!%|IKw
Sogt?]HB$ 概述 sWKdqs I SdB5Va •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
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IZm •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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m6A\R KJ' k\g:uIsv$ 光线追迹仿真 KYl!Iw67d ~8-xj6^ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
/*GCuc| •单击go!
[F{P0({%? •获得了3D光线追迹结果。
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F%O+w;J4 gr# |ZK.` 光线追迹仿真 "{2niBx f9)0OHa •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
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IABF_GwF •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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场追迹仿真 +c__U
Qx hf7[<I,jov •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
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IA`Lp3Z 场追迹仿真(相机探测器) |=V~CQ] ToD_9i
}6 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
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2p4!@W •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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p\.IP2+c *9EW&Ek 场追迹仿真(电磁场探测器) \m:('^\6o •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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0]^gT' J@#rOOu 场追迹仿真(电磁场探测器) gP |>gy#e i)$<j!L •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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