G HD^%)T5^ 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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vd}*_d YP[LQ> 建模任务 Y4mC_4EU aje^Z=]
?ork^4 $s 概述 R?
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}7h6] •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
?75\>NiR •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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BlXX:aZv *B0V<mV 光线追迹仿真 x6LjcRS| ||uZ bP@ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
ajW[eyX •单击go!
$`|5/,M%QN •获得了3D光线追迹结果。
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U.: sK* Bwjg#1 E 光线追迹仿真 tG/aH% 4S +p3 Z#KoC •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
m$,,YKhh •单击go!
1e/L\Y=m •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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! ,@ZQS @0$}?2 场追迹仿真 *ksb?|<Ot Vt'L1Wr0v •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
!Cw!+fZ\l •单击go!
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i^WIr h3a "%VbI P 场追迹仿真(相机探测器) O}QFq14<+ (^LS']ybc •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
&&WDo(r3 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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[B,'=,Hbs tRteyNA 场追迹仿真(电磁场探测器) ibXe"X/_ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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1Y#HcW& 8V-,Xig;` 场追迹仿真(电磁场探测器) 34ha26\np &1_U1 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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