[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Xw&vi\*m  
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建模任务 60r0O5=|Fl  
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概述 ]Ryg}DOQ  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?6 "B4%
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 J/\^3rCB  
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光线追迹仿真 `$yi18F  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3q.HZfN~  
•单击go！ #|F5Kh"  
•获得了3D光线追迹结果。 ?J6\?ct4  
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光线追迹仿真 4\m#:fj %  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7kmd.<  
•单击go！ l42tTD8Awz  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <UbLds{+Uo  
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场追迹仿真 #f }OR
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5
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•单击go！ j "e]Ui  
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场追迹仿真（相机探测器） 7a4h7/  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w %R=kY)o  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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场追迹仿真（电磁场探测器） P5`BrY,hZ  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sYd)r%%AU  
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场追迹仿真（电磁场探测器） 077wk  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :-e[$6}S  
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