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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    3;MjO*-  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 `%M-7n9Y  
    {R-82%X  
    g'ZMV6b?K  
         @f{_=~+  
    建模任务 ;Q=GJ5`B  
    b/B`&CIA0"  
    [OZ=iz.  
    概述 u'i%~(:$\)  
    i*CQor6|z  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 xs'kO=  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {kPe#n>xT  
    eh:}X}c=J]  
    Bw<zc=%  
    $54=gRo^  
    光线追迹仿真  (X(1kj3  
    6I>5~?#  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P:(EU s}0  
    •单击go! &.Latx  
    •获得了3D光线追迹结果。 E8-fW\!F  
    |Vwc/9`t]>  
    NdsX*o@a  
    zD2.Q%`IM  
    光线追迹仿真 0^9:KZ.!  
    b>QM~mq3^I  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 dGsS<@G  
    •单击go! e" Eqi-  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 LMFK3Gd[  
    G7Z vfLR{:  
    Jf?S9r5Q  
    .6#cDrK  
    场追迹仿真 6KEykw j  
    lMBX!9z  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 &^&$!Xmu9  
    •单击go! 7k[pvd|L  
    4r1<,{gCS  
    ^E$(1><-a  
         OG`|td  
    场追迹仿真(相机探测器) #9D/jYK1X  
    "[*S?QO(L  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 u3Usq=Ij{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 "mPSA Z  
    w dGpt_  
    s]y-pZ  
    7deAr$?Wx  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 7`IUMYl#~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C}mYt/  
    X-kXg)!Bg  
    |5=~(-I>@  
         K`Bq(z?/  
    场追迹仿真(电磁场探测器) -RG8<bI,  
    Z}8k[*.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @s%X  
    %n05 Jitl  
     
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