[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 dQG=G%W  
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建模任务  _','
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概述 f,Ghb~y  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4{Z)8;QX  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &6k3*dq  
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光线追迹仿真 VG~Vs@c(  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]JR +ayk7  
•单击go！ EBmt9S
 
•获得了3D光线追迹结果。 A_UjC`  
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光线追迹仿真 U`s{Jm  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 k|f4Cf,  
•单击go！ CTA3*Gn  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 x$(f7?s] 1  
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场追迹仿真 S5EK~#-L[  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
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•单击go！ kAGBdaJ"  
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场追迹仿真（相机探测器） 9(<@O%YU  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 g#E-pdY  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^LzF@{ G  

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场追迹仿真（电磁场探测器） |(^PS8wG  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <ZR9GlIr  
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场追迹仿真（电磁场探测器） Jj%K=
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P{^6v=8)  
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