O<H5W|cM 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
GadZ!_.f ]O\m(of
R
Fq-AvU ne~=^IRB 建模任务 A.D@21py jTDaW8@L
_xHEA2e! 概述 <c X\|dM u> YC4& •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
a$7}41F[~s •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
+
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BS6UXAf{|Z @77%15_Jz 光线追迹仿真 `Tt;)D t/3t69 \x •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
t:SME'~.P •单击go!
k9'`<82Y •获得了3D光线追迹结果。
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npJyVh47 {p70(
]v 光线追迹仿真 3fb"1z# 5Y#W$Fx($R •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
h"/y$ •单击go!
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rH\3 •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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@_+B'<2 Q#Vg5H4 场追迹仿真 HqZ3] !n?8'eqWru •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
HZ+l){u •单击go!
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Q)$RE{*- "E6*.EtTN# 场追迹仿真(相机探测器) da,Bnze0 Ul/Uk n$ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
.}O _5b( •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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B F,8[|%# X}W4dpU, 场追迹仿真(电磁场探测器) k^Gf2%k •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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z+k[HE^S )5O E~}> 场追迹仿真(电磁场探测器) hA6D*8oXD T-
|36Os4 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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