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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    O<H5W|cM  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 GadZ!_.f  
    ]O\m(of R  
    Fq-A vU  
         ne~=^IRB  
    建模任务 A.D@21py  
    jTDaW8@L  
    _xHEA2e!  
    概述 <c X\|dM  
    u>YC4&  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a$7}41F[~s  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 + Q $J q  
    7I_1Lnnf  
    BS6UXAf{|Z  
    @77%15_Jz  
    光线追迹仿真 `Tt;)D  
    t/3t69\x  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 t:SME'~.P  
    •单击go! k9'`<82Y  
    •获得了3D光线追迹结果。 {cYS0%Go  
    /c>@^  
    npJyVh47  
    {p70( ]v  
    光线追迹仿真 3fb"1z#  
    5Y#W$Fx($R  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 h"/y$  
    •单击go! -9f> rH\3  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 .5'_5>tkv  
    qZcRK9l]F1  
    @_+B'<2  
    Q#Vg5H4  
    场追迹仿真 HqZ3]  
    !n?8'eqWru  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 HZ+l){u  
    •单击go! Y[8GoqE|  
    6UXDIg=  
    Q)$RE{*-  
         "E6*.EtTN#  
    场追迹仿真(相机探测器) da,Bnze0  
    Ul/Uk n$  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .}O _5b(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 UP})j.z  
    { +$zgg  
    B F,8[|%#  
    X }W4dpU,  
    场追迹仿真(电磁场探测器) k^Gf2%k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p;Lp-9H\33  
    i.(kX`~J1  
    z+k[HE^S  
         )5O E~}>  
    场追迹仿真(电磁场探测器) hA6D*8oXD  
    T- |36Os4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ! /^Jma7n  
    Y]33:c_;Mo  
     
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