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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    W#2} EX  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Z!3R  
    /D964VR1M\  
    q:=jv6T#  
         B$qTH5)W  
    建模任务 w c  
    bd H+M?k  
    ]D4lZK>H  
    概述 p`EgMzVO,  
    rBOH9L  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 - ,?LS w  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }rUAYr~VZ  
    CY.4>,  
    qWf[X'  
    (\o4 c0UzK  
    光线追迹仿真 -/2B fIq  
    j{D tjV8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  O*.n;_&  
    •单击go! 0f@9y  
    •获得了3D光线追迹结果。 +d7 Arg!m  
    UA(4mbz+  
    Z}{]/=h  
    efE=5%O  
    光线追迹仿真 }=Xlac_U  
    GFju:8P?  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 OZC yg/K  
    •单击go! }9glr]=  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ;&'ryYrex  
    ZH*h1?\X  
    +TX4,"  
    KuW>^mF(I  
    场追迹仿真 |3 Iug  
    v+}${h9  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e=aU9v L  
    •单击go! S^ D7}  
    *}T|T%L4)  
    Y]5spqG  
         sT "q]  
    场追迹仿真(相机探测器) &n#yxv4  
    {> 8?6m-  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 K|OPtYeb  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 e]CoYuPr  
    8vtembna4  
    _!!Fg%a5"R  
    ?#fm-5WIi  
    场追迹仿真(电磁场探测器) ^b}Wl0Fn  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 74N3wi5B  
    qozvNJm)  
    _*n `*"  
         H?!DcUg CC  
    场追迹仿真(电磁场探测器) QleVW  
    e /1x/v'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #ti%hm  
    k{=dV  
     
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