W#2} EX 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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q:=jv6T# B$qTH5)W 建模任务 w
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]D4lZK>H 概述 p`EgMzVO, rBOH9L •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
- ,?LS w •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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qWf[X' (\o4 c0UzK 光线追迹仿真 -/2B fIq j{D tjV8 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
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0f@9y •获得了3D光线追迹结果。
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Z}{]/=h efE=5%O 光线追迹仿真 } =Xlac_U GFju:8P? •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
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yg/K •单击go!
}9glr]= •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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+TX4," KuW>^mF(I 场追迹仿真 |3 Iug v+}${h9 •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
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Y]5spqG sT "q] 场追迹仿真(相机探测器) &n#yxv4 {> 8?6m- •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
K|OPtYeb •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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_!!Fg%a5"R ?#fm-5WIi 场追迹仿真(电磁场探测器) ^b}Wl0Fn •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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`*" H?!DcUg CC 场追迹仿真(电磁场探测器) QleVW e /1x/v' •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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