;JMd(\+- 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
7nB@U$]-Sz QIVpO /@
,x}p1EZ L)JpMf0 建模任务 IC>OxYg* gT*0WgB
Rm 1obP 概述 Q@hx+aM 3!&lio+< •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
J]5sWs •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
x]lv:m\)jT Q4r)TR ,
$;Lb|~ :BG/]7>|V 光线追迹仿真 orCD?vlh @yPa9Ug(V •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
)s(J8J[b*L •单击go!
)nyud$9w' •获得了3D光线追迹结果。
R| t"(6 +Ck F#H ~
M%+l21& oX@nWQBc_ 光线追迹仿真 ufm`h)N 0l !%}E •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
e~jw
YImA •单击go!
D`PnY&ffT •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
l~Je]Qt RekTWIspT/
nk9Kq\2f: qlmz@kTb 场追迹仿真 8;/`uB:zV DbFTNoVR •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
S/v+7oT •单击go!
\^vf`-uG _ In[Z?P}
ww82)m8 o1='Fr 场追迹仿真(相机探测器) cZT;VmC @kC>+4s! •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
|rkj$s, •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
x&7%U gsd9QW
j7=I!<w V K <7#; 场追迹仿真(电磁场探测器) F;Ms6 "K •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
-~ytk= -q\5)nY
QPjmIO jC>l<d_ 场追迹仿真(电磁场探测器) #$7 z ^l;nBD#nJ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
K[Bq,nPo Yf
>SV #