[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

lY|Jr{+Ln  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %K(<$!  
=]:>"_jN  
;"(foY"L  
     =t6z \WB  
建模任务 :ba5iMa  
K>*a*[t0Sy  
ylt`*|$  
概述 \ [a%('}  
oc8:r  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 N<QXmgqx  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 O_Oj|'bBC  
[9Ss#~  
&u#&@J  
LpR3BP@At  
光线追迹仿真 W 4F\}A  
J,Ks0MA  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7o8{mp'_  
•单击go！ ZDbc  
•获得了3D光线追迹结果。 aN"DkUYZM  
[IK  )  
3B1cb[2y  
6Cn+e.j@  
光线追迹仿真 g!-,]  
eImn+_ N3  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [B+W%g(c-  
•单击go！ `Od5Gh  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 -jMJAYjV  
c%=IL M4  
=JJL[}a|  
)_U<7"~0l  
场追迹仿真 l
sJnI|  
Z)jw|T'X
 
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 lT(oL|{#P  
•单击go！ 1Tu *79A  
qh`t-  
5}`_x+$%(`  
     lV%N  
场追迹仿真（相机探测器） ,_Z+8  
;VWAf;U;B  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'Fm
vu  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Yb E-6|cz  
^<e.]F25M  
0{=`on;  
j$+nKc$  
场追迹仿真（电磁场探测器） y\a1iy  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3D2E?$dX  
b#X^=n2  
~JaA
ii{  
     b j'Xg  
场追迹仿真（电磁场探测器） Zl*X?5u  
5-M&5f.   
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /n>qCuw  
%"P,1&\^