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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    fGb}V'x}r  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 VcGl8~#9  
    <Y."()}GeH  
    Q66 +  
         y{/7z}d  
    建模任务 }[Z'Sg]s  
    ("\{=XA Q  
    ]L97k(:Ib  
    概述 dzEi^* (8  
    L/ Q[N^ (^  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Asv]2> x  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 pd:7K'yaw  
    QuqznYSY{  
    OL>)SJj5  
    M#; ks9  
    光线追迹仿真 GQ;0KIN  
    ss[`*89  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?OLd }8y  
    •单击go! T/\RViG3  
    •获得了3D光线追迹结果。 rw,Ylr :3  
    Xd=KBB[r?  
    0K[]UU=P=  
    'g!T${  
    光线追迹仿真 /kY9z~l  
    sSZ)C|Q  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?>Sv_0  
    •单击go! T[Zs{S  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 qFD ZD)K  
    ,U3  
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    H"FK(N\  
    场追迹仿真 .JPN';  
    X>8,C^~$1  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B:T s_9*  
    •单击go! 2 ^m}5:0  
    G9f6'5 O  
    sq!$+=1-X  
         5Jbwl$mZ  
    场追迹仿真(相机探测器) 3]l)uoNt/  
    1Ng+mT  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 c,4~zN8Ou  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 <Z]#vr q  
    ^O18\a  
    g}s$s}  
    j{%;n40$  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 5dm~yQN/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 053bM)qW  
    #RBrii-,  
    j(=w4Sd_W  
         XVqOiv)  
    场追迹仿真(电磁场探测器) H)Btm  
    `gX|q3K\s  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CIx(SeEF  
    --WQr]U/  
     
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