[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

4Cd#S9<ed  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3k%fY  
%62W[Oh5  

6snDv4  
     !WTZ=|  
建模任务 :ik$@5wp  
3HtLD5%Q  
\VL_  
概述 )7X+T'?%  
Kmk}Yz  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C-wwQbdG/  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -|1H-[Y(  
G,jv Mb`+  
@k< e]@r  
=O~ J  
光线追迹仿真 t=-t xnlr<  
1/ZvcdYB  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Z.Otci>J  
•单击go！ <5Ye')+  
•获得了3D光线追迹结果。 Yg @&@S]  
.,-,@ZK  
gKp5*  
Z`FEB0$  
光线追迹仿真 "ITC P<+  
YN=dLr([<  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *8QES
F9  
•单击go！ !b !C+ \v  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 NZu\ Ae  
;-aF\}D@n  
R04%;p:k#  
FJ/>=2^B  
场追迹仿真 PZT]H?  
*\-R
&8  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ZsgJ6 Y  
•单击go！ /*V:Lh  
\(4"kY_=  
.Lwp`{F/  
     >AtW  
场追迹仿真（相机探测器） U~;Rzoe)q*  
1v<,nABuJ6  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 fbl8:c)I  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 DH@]d0N  
bF85T(G  
gs xT  
I.4o9Z[?  
场追迹仿真（电磁场探测器） Z+gG.|"k  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^~p^N <  
;^[VqFpeS  
?Aq \Gr  
     6w?l I  
场追迹仿真（电磁场探测器） jX9{Ki"  
B-R& v8F  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @]{+9m8G@  
m'!smSx8