[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

IMGP
'g  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 k`{7
}zxS  
W# US#<9Y  
)|bC^{kH!l  
      n_nl{  
建模任务 sOU_j:A80;  
&M/>tEZ)  
>~nF=  
概述 kAA>FI6  
OJAIaC\  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 PVOx`<ng  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 qk/:A+  
9uk<&nqx  
]3iH[,KU3  
zDTv\3rZ4X  
光线追迹仿真 BB$oq'  
.L6Zm U  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 bM,1f/^  
•单击go！ 5ETip'<KT6  
•获得了3D光线追迹结果。 gJ$K\[+  
(la[KqqCO  
tWeFEVg  
ZraT3  
光线追迹仿真 LwcIGhy  

DL'iS  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 e4>"92hX  
•单击go！ M<PIeKIEB  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 v *-0M  
2d>hi32I
 
mLV[uhq   
K14^JAdY/  
场追迹仿真 Z6p5*+  
~@ jY[_  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
KJ2Pb"s  
•单击go！ X1{[}!  
(6l+lru[  
nrm+z"7  
     ^~`?>}MJ  
场追迹仿真（相机探测器） Fs_]RfG  
%UUH"  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 z!;1i[|x  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 L|-98]8>  
c9qR'2  
o2z]dTJ}o  
G;NF5`*4mc  
场追迹仿真（电磁场探测器） b$%0.s  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (;Y8pKl1e  
)a@k]#)Skm  
mE`kjmX{E  
     .MQ^
(  
场追迹仿真（电磁场探测器）  X\$ 
0  
40E
#JF#  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 K~=UUB  
6DG@?O