[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #0b:5.vy  
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建模任务 j AOy3c  
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概述 Eqz|eS*6  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %AA&n*m  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 A/I\MN|  
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光线追迹仿真 }6-olVg  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +S0aA W
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•单击go！ U[x$QG6m!  
•获得了3D光线追迹结果。 _-y1>{]H  
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光线追迹仿真 D tZ?sG  
gjG SI'M0B  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 GxD`M2  
•单击go！ KF+r25uy[+  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @,.D]43  
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场追迹仿真 8+|W%}  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 C @<T(`o  
•单击go！ H~s8M  
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场追迹仿真（相机探测器） p2 1|  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8]`#ax 5  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 vq(#I
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场追迹仿真（电磁场探测器） Pp!4Ak4TT9  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7BU7sQjs  
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     xD&n'M]  
场追迹仿真（电磁场探测器） 9.\SeJ8c  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T>% 5<P
 
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