[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 D:Rr|m0Tk  
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建模任务 DuvI2ZWP]  
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概述 :*g3PhNE  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u#bd*(  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I%?ia5]H  
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光线追迹仿真 8n'"RaLQ8  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ec4+wRWk85  
•单击go！ ,Nk{AiiN  
•获得了3D光线追迹结果。 9*&RvsrX  
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光线追迹仿真 FBk_LEcX  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7#pu(:T$  
•单击go！ i*l-w4D^U  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 k.@OFkX.  
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场追迹仿真 {37v.4d;  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *p  !F+"  
•单击go！ vCe]iB  
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场追迹仿真（相机探测器） Lbwc2Q,.-  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @b@# o  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 93]67PL#
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场追迹仿真（电磁场探测器） &CcUr#|  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xa&5o`>1G  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ):5M +  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I|eYeJ3  
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