XuJwZN!( 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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43rM?_72 Qo 建模任务 wo2^,Y2z+ *lv)9L+0
&Pxt6M\d 概述 La%\-o A{h
hnrr8 •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
IyG5Rj2 •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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DHpU?;|3 QxnP+U~N 光线追迹仿真 N&NOh|YS oSNB\G< •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
8DTk<5mW~ •单击go!
..FUg"sSO •获得了3D光线追迹结果。
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EEC 3sGrX"0D
wlqV1.K L:YsAv 光线追迹仿真 QOuy(GY
GQqw(2Ub} •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
1E$Z]5C9 •单击go!
/6{`6(p •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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N(Y9FD;H
x+B~ t4A 7~\Dzcfk"P 场追迹仿真 :'y oE#HI2X •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
!Go(8`> •单击go!
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/p\Ymq 2?t(%uf] 场追迹仿真(相机探测器) hPr ]&/jvA=\l, •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
F/j=rs,*|D •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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w2]1ftY mMN oR] 场追迹仿真(电磁场探测器) TG?;o/ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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9Z*` { H'gPGOd 场追迹仿真(电磁场探测器) P05_\
t |D]jdd@!a2 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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