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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    XuJwZN!(  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 sBuJK'  
    "@B! 5s0  
    43rM?_72  
         Qo  
    建模任务 wo2^,Y2z+  
    *lv)9L+0  
    &Pxt6M\d  
    概述 La%\- o  
    A{h hnrr8  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 IyG5Rj2  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 yb/< 7  
    kN9S;o@)  
    DHpU?;|3  
    QxnP+U~N  
    光线追迹仿真 N&NOh|YS  
    oSNB\G<  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8DTk<5mW~  
    •单击go! ..FUg"sSO  
    •获得了3D光线追迹结果。 iM2 EEC  
    3sGrX"0D  
    wlqV1.K  
    L:YsAv  
    光线追迹仿真 QOuy(GY  
    GQqw(2Ub}  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1E$Z]5C9  
    •单击go! /6{`6(p  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 qNHS 1  
    N(Y9FD;H  
    x+B~t4A  
    7~\Dzcfk"P  
    场追迹仿真 :'y  
    oE#HI2X  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !Go(8`>  
    •单击go! Qm`f5-d  
    v ;MI*!E  
    /p\Ymq  
         2?t(%uf]  
    场追迹仿真(相机探测器)  hPr  
    ]&/jvA=\l,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 F/j=rs,*|D  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 N["c*=x  
    C*Ws6s>+z  
    w2]1ftY  
    mMN oR]  
    场追迹仿真(电磁场探测器) TG?;o/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p5F[( H|9  
    vCH>Fj"7  
    9Z*`{  
         H'gPGOd  
    场追迹仿真(电磁场探测器) P05_\ t  
    |D]jdd@!a2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6FEtq,;0w  
    7]e]Y>wZap  
     
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