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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-22
    "~+? xke5z  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 D:Rr|m0Tk  
    v$JhC'  
    a]]>(Txc  
         (6g;FD:"6  
    建模任务 DuvI2Z WP]  
    $_5a1Lq1  
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    概述 :*g3PhNE  
    L!qXt(`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u#bd*(  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I%?ia5]H  
    T*3>LY+bb  
    /$-Tg)o5i  
    'h*^;3@*  
    光线追迹仿真 8n'"RaLQ8  
    ;l$F<CzJay  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ec4+wRWk85  
    •单击go! ,Nk{AiiN  
    •获得了3D光线追迹结果。 9*&RvsrX  
    Et0[HotO  
    _(zPA4q8q  
    WAzn`xGxR"  
    光线追迹仿真 FBk_LEcX  
    ibj3i7G?  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7#pu(:T$  
    •单击go! i*l-w4D^U  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 k. @OFkX.  
    o?]N2e&(  
    GYJ lX  
    Li2-G  
    场追迹仿真 {37v.4d;  
    9\J6G8b>|I  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *p  !F+"  
    •单击go! vCe]iB  
    p*ic@n*G  
    *wu:fb2[(  
         =ICakh!TO  
    场追迹仿真(相机探测器) Lbwc2Q,.-  
    }bA@QEJ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @b@#  o  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 93]67PL#+  
    qh)10*FB  
    SSH 1Ge5|  
    m2esVvP  
    场追迹仿真(电磁场探测器) &CcUr#|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xa&5o`>1G  
    7}%Z>  
    i"Z  
         l.3|0lopX)  
    场追迹仿真(电磁场探测器) ):5M +  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I|eYeJ3  
    +_"AF|  
     
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