"~+?xke5z 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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a]]>(Txc (6g;FD:"6 建模任务 DuvI2ZWP] $_5a1Lq1
G?$0OU 概述 : *g3PhNE L!qXt(` •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
u#bd*( •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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/$-Tg)o5i 'h*^;3@* 光线追迹仿真 8n'"RaLQ8 ;l$F<CzJay •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
Ec4+wRWk85 •单击go!
,Nk{AiiN •获得了3D光线追迹结果。
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_(zPA4q8q WAzn`xGxR" 光线追迹仿真 F Bk_LEcX ibj3i7G? •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
7#pu(:T$ •单击go!
i*l-w4D^U •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
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lX Li2-G 场追迹仿真 {37v.4d; 9\J6G8b>|I •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
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=ICakh!TO 场追迹仿真(相机探测器) Lbwc2Q,.- }bA@QEJ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
@b@# o •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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SSH 1Ge5| m2esVvP 场追迹仿真(电磁场探测器) &CcUr#|
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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i"Z l.3|0lopX) 场追迹仿真(电磁场探测器) ):5M + r&0IhE •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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