[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2Dw}o;1'  
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建模任务 MuF{STE>->  
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概述 Mz: "p.  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 dmPAPCm%y  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 #n.XOet<\  
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光线追迹仿真 Bmv5yc+;  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 'Esz#@R  
•单击go！ ( 9(NP_s  
•获得了3D光线追迹结果。 "{x+ \Z\  
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光线追迹仿真 Q.g44>  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 n
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•单击go！ O{Y*a )"  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 OZ4%6/  
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场追迹仿真 n!h952"  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 u-R;rf5%k  
•单击go！ ]SUW"5L-  
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场追迹仿真（相机探测器） O'S9y  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZM_-g4[H  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 MCTTm^8O  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ;!B>b)%  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ntn ~=oL  
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场追迹仿真（电磁场探测器） z'}z4^35,  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z9zsvg  
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