[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 f\]sz?KY  
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建模任务 S{]x  
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概述 8$")%_1]  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 f%SZg!+t  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 s3~lT.  
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光线追迹仿真 *^g:P^4  
4lr(,nPRD  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l n{e1':$"  
•单击go！ 4]yOF_8h  
•获得了3D光线追迹结果。 J2::'Hw*s  
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光线追迹仿真
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5]NqRI^0  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tX5"UQA  
•单击go！ W=j[V Oq  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 BcL{se9<  
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场追迹仿真 G
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 695V3R 7  
•单击go！ x}_]A$nV  
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场追迹仿真（相机探测器） W?qmp|YD  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 M^O2\G#B  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 v>$'iT~l  
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场追迹仿真（电磁场探测器） lhYe;b(  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %6t2ohO"  
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场追迹仿真（电磁场探测器） H| 8Qp*  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6{"$nF]  
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