fGb}V'x}r 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
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Q66 + y{/7z}d 建模任务 }[Z'Sg]s ("\{=XAQ
] L97k(:Ib 概述 dzEi^*
(8 L/Q[N^ (^ •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
Asv]2> x •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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ks9 光线追迹仿真 GQ;0KIN ss[`*89 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
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}8y •单击go!
T/\RViG3 •获得了3D光线追迹结果。
rw,Ylr:3 Xd=KBB[r?
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'g!T${ 光线追迹仿真 /kY9z~l sSZ)C|Q •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
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T[Zs{S •结果得到点图(二维光线追迹结果)。
qFD ZD)K ,U3
eJ99 W= H"FK(N\ 场追迹仿真 .JPN '; X>8,C^~$1 •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
B:Ts_9* •单击go!
2
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sq!$+=1-X 5Jbwl$mZ 场追迹仿真(相机探测器) 3]l)uoNt/ 1Ng+mT •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
c,4~zN8Ou •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
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g}s$s} j{%;n40$ 场追迹仿真(电磁场探测器) 5dm ~yQN/ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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j(=w4Sd_W XVqOiv) 场追迹仿真(电磁场探测器)
H)Btm `gX|q3K\s •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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