白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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hgNY[, 2. 建模任务 Un~]Q?w
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[+yGDMLs T$f:[ye]Z 3. 干涉条纹的变化 PZ~`O
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rUGZjLIGqz g52 1Wdtnn 4. 走进VirtualLab Fusion Al)lWD}j2g
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$HP/cKu 9$n+-GSK 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 nqBG]y aI Au~+Zz|mQ
xq8}6Q p|xs|O6{ 6. VirtualLab Fusion 技术 pW`ntE#L cu)@P 0I
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