白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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-V/y~/]J tO M$'0u 2. 建模任务 TEz;:* ,CG
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?+t;\ LZV- E=` 3. 干涉条纹的变化 0cS$S Mn{
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id 4. 走进VirtualLab Fusion _J1\c~ke"
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jJ#D`iog5 DBAyc# 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 fsL9d} t1w5U+z
4 Ej->T. 6$urrSQ`N0 6. VirtualLab Fusion 技术 A9xeOy8e Tb i?AJa}
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