[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 A'1AU:d  
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2. 建模任务 oB R(7U~0  
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3. 干涉条纹的变化 /2Lo{v=0[  
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4. 走进VirtualLab Fusion 5MY}(w  
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5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 FP'lEp  
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•             输入场设置

• Z/= %J3f  
  

• 定义元件的位置和方向

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• 正确设置非序列追迹通道

• 使用“参数运行”检查影响/变化

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6. VirtualLab Fusion 技术 1D
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