白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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B)}.%G* Y<0R5rO 2. 建模任务 Q,m1mIf
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%RS8zN 0<C]9[l 3. 干涉条纹的变化 Q&A^(z}
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Td/J6Q90 ^>ICycJ 4. 走进VirtualLab Fusion B
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{N2MskK Ri mz~}+ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 5:sk&0:@U T@)|0M
$"[5]{'J &<RK=e'*x 6. VirtualLab Fusion 技术 &K.js vlS+UFH0
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