白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
?J6J#{LRd WJ=eV8Uk !4]wb!F EmVE<kY. 2. 建模任务 PRWS[2[yk
vDv:3qN7(
4[Hf[. hqD]^P>l1 3. 干涉条纹的变化 FuLP{]Y+AM
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ZnI_<iFR* -fT]}T6= 4. 走进VirtualLab Fusion p_)V@7
dilRL,
j2=jD G ygWo9? 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 2^E.sf$f LylB3BM GFYAg 75jq+O_: 6. VirtualLab Fusion 技术 /al(=zf 7^ITedW@ >ys>Q)