白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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J7$5s =!A_^;NQf 3. 干涉条纹的变化 :A_@,Q
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:uS\3toj oUlY?x1 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 9!\B6=r y4 r.&Vw|*>
9d659iC Xza(k 6. VirtualLab Fusion 技术 ifQ*,+@fxR kd(8I_i@
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