白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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& 2. 建模任务 wYea\^co
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F59 TZI KNl$3nX 3. 干涉条纹的变化 >*bvw~y,
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P55fL-vo|} %d@z39-; 4. 走进VirtualLab Fusion *~`(RV
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Wwo0%<2y u8^lB7!e/ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 T{"(\X$ +@UV?"d
g(g& TO crCJrN= 6. VirtualLab Fusion 技术 Ri'n )7@0[>
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