白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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=RUy4+0>F OX.5olb 2. 建模任务 GipiO5)1C
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npeL1zO-$ Y1lUO[F j 3. 干涉条纹的变化 8@vq.z}
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$l)RMP} PoZ$3V$(Lz 4. 走进VirtualLab Fusion !43nL[]
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5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 r7VBz_Q QH><!
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!_Y%+Rkp0 TS#1+f]9J< 6. VirtualLab Fusion 技术 {31X &5jc
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