白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
pCi#9=?N ^h' Sla ^D%Za' W/$Zvl 2. 建模任务 w >; L{
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7fW 3. 干涉条纹的变化 s$ENFp7P
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w'MGA sUJ%x#u}Fk 4. 走进VirtualLab Fusion d\{>TdyF
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?'86d_8 R0ID2:i]F 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 W&*f#E '. Ed`?<p 0sN.H= $vC1 K5sLk 6. VirtualLab Fusion 技术 U*Ge<(v$ :I -V_4b B`*ZsS=R-