白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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^^LjI &a~=b, 2. 建模任务 UKB_Yy^Y
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P@ypk^v ;i)KHj' 3. 干涉条纹的变化 NXoK@Y
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ria to3?$-L 4. 走进VirtualLab Fusion _'iDF
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fp !:u /5a;_ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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6. VirtualLab Fusion 技术 .j 'wQ+_ XL"=vbD
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