白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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$R2%*y 2. 建模任务 <-%OXEG
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0s+pcqOd^ qt&zo5 3. 干涉条纹的变化 9p '#a:
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*]]C.t-cd v<SCh)[-p 4. 走进VirtualLab Fusion D/7hVwMw:
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{24Y1ohK cV+x.)a. 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 N-9qNLSP n>-"\cjV
A;g{H| $,v[<T` 6. VirtualLab Fusion 技术 H;(|&Asq> #ekz>/Im*
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