白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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J*!:ar FT>~ES]cQd 2. 建模任务 oB
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q{/Jw"e s@LNQ|'kO 3. 干涉条纹的变化 /2Lo{v=0[
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bxSKe6l :wZ`>,K"t> 4. 走进VirtualLab Fusion 5MY}(w
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}vc! #pQ"+X 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 FP'lEp pEj^x[b`^
,i?!3oLT 0nn]]B@l 6. VirtualLab Fusion 技术 1DLG]-j} 4ylDD|) rO
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