白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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iUxDEt[t* m.HX2(&\3 2. 建模任务 #zSi/r/=1
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0XR;5kd% &w;^m/zP3 3. 干涉条纹的变化 :@QK}qFP
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@\6nXf ,Y g5X 4. 走进VirtualLab Fusion _
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+9 16ZPk liugaRO8J 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 -
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<@U. [$1: &!(! 6. VirtualLab Fusion 技术 j'#jnP*P >Bh)7>`3c
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