白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
KAC6Snu1 }R1<
0~g
8dZ0rPd? gg[WlRQK4A 2. 建模任务 V=zi
>o`
,8:(OB|a
%<E$,w> {p;zuCF1 3. 干涉条纹的变化 /<HRwG\w
v5By :z
g6Q !8 QrfG^GID 4. 走进VirtualLab Fusion L{hnU7sY
I|>^1kr8w
yHs-h
k *Q<3@S 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 j<u@j+V TR<<+
]Bm/eRy" Pdt6nzfr 6. VirtualLab Fusion 技术 u:[vaBh91 CACTE
_{r=.W+w