白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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LJ(n?/z% n1>,#|# 2. 建模任务 ^'[@M'`~L
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#xP!!.DF( $?)3&\)R 3. 干涉条纹的变化 i,IM?+4
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G4`Ut1g^ +:,`sdv6o 4. 走进VirtualLab Fusion ft/^4QcyAM
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},fo+vRM .^LL9{? 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 [Yy\> II-$WJy
9y^kb+ /:y2Up- 6. VirtualLab Fusion 技术 #$t}T@t> t[?a@S~6
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