白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
`~KAk tQCj)Ms 'X X?_v+'G $WM8tF?H 2. 建模任务 ;lk f+,;
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&09 3. 干涉条纹的变化 ^zkd{ov
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ur`V{9g s!=!A 4. 走进VirtualLab Fusion %0Vc\M@"G
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q2D`1nT }cyq'mi 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ?~]>H A: g<