白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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b94DJzL1z BhGu!Y6f 2. 建模任务 G`61~F%
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hd<c&7|G' F^BS/Yag 3. 干涉条纹的变化 &%DY \*
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.@U@xRu7| _7L-< 4. 走进VirtualLab Fusion E6ElNgL
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D=Gtq6jd WX?IYQ+ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 *)T^ChD, b=NxUd O
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"4n: 6. VirtualLab Fusion 技术 $ @`V IueFx u
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