白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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}EYmz/nN ?i V}U 2. 建模任务 .c&&@>m@.
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tzfyS#E e$_gOwB 3. 干涉条纹的变化 _KKux3a
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|d-x2M[ U<;{_!] 4. 走进VirtualLab Fusion UJQTArf
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6"Lyv mtkZF{3Jx 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ~k-' \!30t1EZ
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"5|\ 7w" !"W# 6. VirtualLab Fusion 技术 (T$cw(! ;dMr2y`6
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