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Ww~C[8q 摘要 alxIc.[ 5~>j98K )a!f")@uz d~.hp 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Gqq<-drR <bn|ni|c" 建模任务 x`2dN/wDhf b L.Xby<Y 0(C[][a*u c.Izm+9k 由于组件倾斜引起的干涉条纹
w@mCQ$ rD6NUS 2/ )~$0 >;G7ty[RX7 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 n\7>_ J;V#a=I K7$Q.
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