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t6JM% 摘要 -fm1T|># *fj5$T-Z UG5AFZ\ {#o0vWS> 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 tW)KpX , A@uSfC( 建模任务 <QcQ.b d[7B,l:RN 'Jl |-RUd + <4gJoI 由于组件倾斜引起的干涉条纹 iS]4F_|vd ah9P
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