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-<R" 摘要 9PU9BYBG 01/? zW,Nv>Ac5 (Wj2%*NT 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 |L@9qwF v(ATbY75 建模任务 3eq VY0q yf KJpy l7.W2mg @V9qbr=Z 由于组件倾斜引起的干涉条纹 w6^X*tE =:|fN3nJ2 @YH<Hc
D<.zdTo 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 C< :F<[H x vi&d1 v,\2$q/
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