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5z 1b) 摘要 G|"m-.9F 82?LZ?!PD m|
7v76( gFfKK`)}D' 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Fdq5:v?k /q'-.-bo 建模任务 *19a\m=>oi x-4d VKE*z #CB Kt, J(=y$8xje 由于组件倾斜引起的干涉条纹 V{x[^+w7X~ JeA_mtSQ| o=xMaA {eQijW2Z3 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 +kD JZ kmtkh" J Rj{Q 1J
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