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PQQU~^ 摘要 4NW!{Vw , Y|Q(JX wpuK?fP ^;<d<V}* 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 'mbLK#q D<d,9 S,) 建模任务 e}1Q+h\ _wK.n.,S~ u+r!;-0i wR@>U.XT@ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 /nQuM05*Z 8
E\zjT!#\ Lo1ySLo$G yy=hCjQ) 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 eZAMV/]jH ,\iHgsZ +4_, , I
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