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brWt 摘要 q4{ t H ${wE5^ky 5*$Zfuf >y[S?M 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 %u}sVRJ C)w*aU,( 建模任务 0^[6 #F@7>hd1 m##=iB|; sXxO{aeev 由于组件倾斜引起的干涉条纹 "+&<Q d2 ;^]A@WN6_ Y>~JI;Cu` V{{x~Q9 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 (#]KjpIK
Ysu/7o4 Oe`t!&v
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