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Nl7"|()e 摘要 u(? l?B\TA^ jjkiic+tDN &?*M+q34 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 q[l},nw U\y];\~H 建模任务 /+Xv(B w/N.#s^ l.lXto.6) `w]=xe 由于组件倾斜引起的干涉条纹 (M6B$: 0W9,uC2:N uU6+cDp S(Xab_DT)H 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Jk|c!,! $\$5::}r |qJQWmJO&U
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