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"1UpoF'w 摘要 I]WvcDJ}C yqP=6 >1` '5A}s ?[)V 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 6d3YLb4M$i J.]`l\ 建模任务 xWM?E1@ Xi w 4P#4RB ;s+3#Py 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Qm_;o( .fS{j$ `$3ktQ $ v<mSd2B* 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 .eyJ<b9 [I7=]X v4Kf{9q#
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