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u%!/-&?wF 摘要 jmPnUn aS=-9P;v XXPn)kmWR 9sG]Q[:.] 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 %PM&`c98z7 dhv?36uE 建模任务 R-LMV }IEwGoDwNs 4Oo{\&( !mHMFwvS 由于组件倾斜引起的干涉条纹 4a}[&zm(5 $>Qq 7 |W_;L6) 2,aH1Xbex 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 o=J-Ju @GUlw[vi txE=AOY5
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