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;SE*En 摘要 |@_<^cV110 B:X%k/{ MB;rxUbhe3 wb9(aS4 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 FaCW +9B I=dn]}b#P 建模任务 a+HK
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]A }ZaXd 2FZT q6pHL 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Z-lhJ<0/Pa .u\$wJ9Ai v)np.j0V7 \FfqIc9; 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 C7F\Y1Wj 6~sU[thGW l@&-be
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