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b6VAyTa 摘要 yV`vu/3K 4 .qjTR ;T(^riAEl 3EdPKM j& 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 2/WXdo :W55JD' 建模任务 3e:y?hpeL fW`F^G1R 1uE[ %M )nV x 2m4 由于组件倾斜引起的干涉条纹 -ybupUJcbv % *hBrjbj H2p;J#cv@ wVB8PO8 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 x;/3_"$9>\ B7C6Mau F.9|$g*ip
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