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vP{22P 摘要 "ebm3t@C "NgfdLz k_hV.CV YxUC.2V|7$ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 yIL6Sb V6C*d: 建模任务 $&Ntdn "[rChso `"/s," c:D ,33[/j 由于组件倾斜引起的干涉条纹 qQu}4Ye> R>iRnrn:- '*~_!lE5 5DEK`#* 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 69{BJ]q 1@)kNg)*$ TM1isZ
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