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1sgI,5liUs 摘要 7 lc - JgQ,,p_V? c:(Xkzj /<7'[x< 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 #!="b8F , TL8` 建模任务 -?L~\WJAL gXZl3 m{T:<:q~ w1tWyKq 由于组件倾斜引起的干涉条纹 E(]39B"i [\eh$r\ XS+2OutVo z2'3P{#s 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 zf+jQ jpijnz{M -JgN$Sf
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