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HGB96,o f9 摘要 M{zzXE[@ eGvHU ;@ mT5d[lz Vlce^\s; 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 d7^:z%Eb| { LJwW*? 建模任务 A2Rr*e )qD%5} t #@Zz
Bf uwQ{y>SG 由于组件倾斜引起的干涉条纹 tHXt*tzq H]"Z_n_ M\,0<{ y .S0^ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 1]fqt[*) x+nrdW+ Hy|$7]1
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