,@2d<d] 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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YnZV.&4{ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
OyVdQ". kJP
fL s 建模任务 '\ec ,&4Z
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W2Y%PD9a #7OUqp 单次FMM仿真结果 M%H<F3
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%H\i}}PTe qv<[f=X9| 参数扫描(1D) X^4HYm
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A@^e4\ BR5r K 参数扫描(2D) F-%wOn / HpI[Af}l
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