)Ra:s> 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
YXp\C"~g $]LS!@ Rm 
frcX 'M}% 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
Lyc6nP; F
N7s0Ua'-v 建模任务 B=]j=\o
6 ZRc|ZQ
F`4W5~` :Fhk$?/r 单次FMM仿真结果 n> )aw4
Vja 4WK*
K{d3)lVYCS %ap]\o$^4 参数扫描（1D） 6],?Y+_;)L
"&H'?N%9Up
-n 7 @r v/
Ge+o0K 参数扫描（2D） 3!9JXq%Hl ovN3.0tAI 
Ar\fA)UQ`
