k~%j"%OB 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
i(qZ#oN WuuF&0?8C Q{[l1: 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
,,G[360 ,A%p9 建模任务 aS! If >
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\>$3'i=mQ 'fjouO 单次FMM仿真结果 I+{2DY/}
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x^zw1e,y 4`e[gvh 参数扫描(1D) X$2f)3
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~pT1,1 6gs0Vm 参数扫描(2D) 5,R4:y ?cK X5pb9zRq 5) q_Aro