[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

y^Lw7  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 Gu=Rf`o  
]^y}}y  
d
,77L  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
|j,Mof  
3jNcL{  
建模任务 u2t<auE9^  
bA)Xjq)Rr  
RA6D dqT~  
,J|};s+  
单次FMM仿真结果 <da! #12L  
wb}tN7~Y;  
4Qv|Z+$i  
t]x HM  
参数扫描（1D） j- A|\:  
[Ue>KG62=  
&[YG\8sxWa  
 lcr=^  
参数扫描（2D） c|7Pnx%gT  
   9K49<u0O  
O!g>
f