,n/]ALz>~ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
GJ,&$@8) F^yW3|Sb 
}>xwiSF? 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
KZppQ0 ( C!p2f 建模任务 u\*9\ G
RQ,# TbAe
$Ll9ak} [3m\~JtS 单次FMM仿真结果 *
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w]wZJ/U` W0gS>L_ 参数扫描（1D） 6@N,'a8r
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Q|(}rIWOQA &6x(%o| 参数扫描（2D） ;I>nA6A @nktD. 
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