eH*i_g' 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
o5+7Lt] 39~WP$GM
VY|UB7,C 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
XCgC^c' )\W}&9 > 建模任务 _S*QIbO
fI.X5c>WK
3c:fYE ulEtZ#O{_ 单次FMM仿真结果 g<w1d{Td
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:IR 参数扫描(1D) !WB3%E,I
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`sv]/8RN 8H3O6ro 参数扫描(2D) or)fx/ %h ?H{?jJj$H
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