[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

Xd+H()nR  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 R@K\  
C*2%Ix18+N  
M)ET1ZM  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） %NQ%6B  
6X@z(EEL  
建模任务 hH`x*:Qja  
<2
)AbI+3  
zgGysjV  
v8-My1toV  
单次FMM仿真结果 naaKAZ!S  
>B{qPrmI  
Z^V;B _  
qO"QSSbZqQ  
参数扫描（1D） z}Cjk6z@  
s^zlBvr|.  
B!Wp=9)G  
tKt}]KHV  
参数扫描（2D） ytY\&m  
   `&A`&-nc=  
$jMA(e`Ye0