drB$q[Ak9 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
XE:bYzH =A/$[POr
OV7SLf 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
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o #4& <d.aw' 建模任务 g`H;~ w
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RXhT{Ho(> C7MCMM|S 单次FMM仿真结果 iB{l:
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,Mu"r!MK v*@R U 参数扫描(1D) @p9YHLxLjQ
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fjy2\J! `n%8y I% 参数扫描(2D) 8ao>]5Rs3 {MmK:C
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