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l\<*9m< 6=A 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
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`4< 建模任务 hvCX,^LoJ
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dU },G6IuH% 观测倾斜平面 Bc3(xI'>J
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``KimeA~ N9 @@n:JT 观测柱面 dnt: U!TW@
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VirtualLab Fusion的工作流程 46`(u"RP 设置输入场
9>,$q"M}? Xm,w.|dx 使用表面构造真实元件
@vzv9c[ 40,u(4.m* 定义元件的位置和方向
a{*r^m'N i i&kfy 为非序列场追迹设置合适的通道
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