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&)GlLpaT 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
qJq!0F t;L7H E@Y 建模任务 T%[!m5
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*Y<1KXFU c(r8
F[4w 观测倾斜平面 xXfFi5Eom
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^gdv:[m (8jQdbZU 观测柱面 Y7WU4He L
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4pAav N={0A 观测球面 _ m<@ou7
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`~+[pY1r f3"sKL4| 走进VirtualLab Fusion /Q\|u:oO,
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H0?Vq8I? ,@r 0-gL VirtualLab Fusion的工作流程 ;`:A(yN]T 设置输入场
%w#8t#[,6 H-5h-p k 使用表面构造真实元件
{<L|Z=&k` Ae|bAyAK 定义元件的位置和方向
h7cE"m -cL wjI 为非序列场追迹设置合适的通道
Zil<*(kv{ BfdS3VrZ/ GRj#1OqL }-2U,Xg[ pu,|_N[xq8 VirtualLab Fusion技术 +puF0]TR,i B'!I{LC