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&(|Ot`el]v = U[$i"+ 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
O&VA79\UO !lM.1gTTC 建模任务 ~4mRm!DP
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JLg/fB3% N0 mhgEA 观测倾斜平面 -av=5hm
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O.-A)S@ J2Qt! - 观测柱面 I<Mb/!TQ
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_c(h{dn 4RH>i+)pS\ 观测球面 G6xNR
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KJs`[,;< u}rJqZ 走进VirtualLab Fusion Cj/!m
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vjA!+_I6 D@]/%; VirtualLab Fusion的工作流程 "EE(O9q 设置输入场
|C0!mU EZT 8^m 使用表面构造真实元件
U_Q;WPJ m9\~dD 定义元件的位置和方向
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% 为非序列场追迹设置合适的通道
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#nmh=G?\Sm 8>xd VirtualLab Fusion技术 B$7Cjv /-(OJN5F^