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,`/J1(\nd 2kTLj2@o, 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
um@RaU x@F"ZiYD@O 建模任务 b9[KdVsT6^
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'|0Dt|$ "`DCXn#mB 观测倾斜平面 q/,W'lQ\;
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(lhbH]I pa&*n=&cL 观测柱面 &0O1tM*v
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7G oJK]oVX9i 观测球面 9n!<M)E
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p+ymtPF J{=by]-rD, 走进VirtualLab Fusion 3LZ0EYVL
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U S+PI` rUkiwqr~E VirtualLab Fusion的工作流程 x`^~|Q 设置输入场
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~1AL $|!VP'VI 使用表面构造真实元件
0@E[IDmp I<*U^e 定义元件的位置和方向
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A @`U78)] 为非序列场追迹设置合适的通道
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3e"_R @R >4b VirtualLab Fusion技术 3Juhn5&N FqiCzP4