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bh[`uRC} bm</qF'T6 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
7,.3'cCL^ [110[i^ 建模任务 }[$qn|
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y{?wxg9 6]Vf`i 观测倾斜平面 q
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daX$=n (]Pr[xB 观测柱面 t&oNC6
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Z [aKic IwTAM9n 观测球面 u>K(m))5W3
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1luRTI8^ g5\EVcHkz 走进VirtualLab Fusion (oUh:w.]Gw
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03!!# 5iJ >U.f`24 VirtualLab Fusion的工作流程 Yp;6.\Z8[ 设置输入场
S,* H2cY}, 使用表面构造真实元件
;7HL/-
W`d\A3v 定义元件的位置和方向
4D4Y.g_x i'\7P-a 为非序列场追迹设置合适的通道
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@ uF$m/g b.4H4LV VirtualLab Fusion技术 Q|CLis- Wpdn^=dhL