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!h\>[ O tb#9TF 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
r1vF/yt( }2@Aj 建模任务 dY|~"6d)
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[w>T.b 观测倾斜平面 \PHbJN:BI
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$q}zW% Kyn[4Bu!? 观测柱面 Q&Q$;s3|Y
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tsGt,]O30 1W@ C]n4 观测球面 ]'
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#ZzFAt ZeB"k)FI> 走进VirtualLab Fusion JI"&3H")g%
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]6)~Sj$ 5 )uG7 DR VirtualLab Fusion的工作流程 .k_>
BD]; 设置输入场
_BC%98:WP `B1r+uTP~ 使用表面构造真实元件
B<V8:vOam \:7G1_o 定义元件的位置和方向
gAFu *O5Ysk^| 为非序列场追迹设置合适的通道
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d3,%Z & uD'GI VirtualLab Fusion技术 AbqeZn 7,^.h<@K